Este artigo destaca um exemplo típico de resultados que podem ser obtidas com o microscópio de varredura integrado força (SFM) montado na Dureza Nano Tester (NHT) da CSM Instruments . O trabalho expande uso anterior da NHT para controle de qualidade de pastilhas de ligação IC que são tipicamente composto por uma película fina de alumínio sputtered sobre um substrato de silício. Profiling superfície Para além da simples caracterização da dureza e módulo do material, o uso do SFM para medir o perfil da superfície da impressão residual pode fornecer informações adicionais úteis sobre a resposta do material a indentação (por exemplo, pilha-up, pia-in efeitos ), rugosidade da superfície em torno da marca, e uma idéia da estrutura de superfície. Isso tudo pode ser alcançado com o toque de um botão com o software de aquisição fácil de operar SFM. Resultados Um conjunto típico de resultados é mostrado na figura. 1 para uma baixa carga (3 mN) recuo em um filme de ligação Al pad. A imagem mostra claramente SFM a marca residual ea extensão da amontoados de material em torno da impressão. A estrutura de grãos do filme também pode ser visto, assim como o relaxamento radial nas bordas da impressão Vickers. O perfil transversal (Fig. 1 (b)) confirma a profundidade residual, medida com a NHT (258 nm) e permite que qualquer pilha-up a ser precisamente quantificado. A curva de carga de profundidade (Fig. 1 (c)) habilitado a dureza Vickers e módulo de elasticidade a ser calculada, respectivamente, 1,157 GPa e 112 GPa. Trabalho anterior já mostrou as vantagens de profiling SFM para a caracterização de pastilhas de colagem e trabalhos futuros prevê-se a investigar os efeitos da pilha-up na área de contato verdadeiro utilizados no cálculo de dureza. Isso ocorre porque a área de contato projetada é calculado a partir da curva de carga de profundidade e, portanto, não leva em conta a área aumentou como resultado da colisão. .gif)
Figura 1 Dados típicos para um recuo mN 3 em um filme fino de alumínio (espessura = 2 mm);. (A) imagem de marca SFM residual; (b) o perfil transversal através da marca, (c) curva de carga de profundidade dando-H = 1,157 GPa e E = 112 GPa. |