| Эта статья выделяет типичный пример результатов которые можно получить при интегрированный микроскоп усилия скеннирования (SFM) установленный на Nano Измерителе Твердости (NHT) от Аппаратур CSM. Работа расширяет на предыдущей пользе NHT для проверки качества пусковых площадок выпуска облигаций IC которые типично составлены тонкого алюминиевого фильма sputtered на субстрат Si. Поверхностный Профилировать Отдельно от просто характеризовать твердость и модуль материала, польза SFM измерить поверхностный профиль остаточного отпечатка может снабдить полезную дополнительную информацию относительно реакции материала шершавость вмятия (например, кучи-вверх, раковин-в влияниях), поверхностных вокруг отпечатка, и идея поверхностной структуры. Этого можно все достигнуть на касании кнопки с ПО приема легк-к-работать SFM. Результаты Типичный комплект результатов показан в FIG. 1 для низкого вмятия нагрузки (mN 3) в фильм Al пусковой площадки выпуска облигаций. Изображение SFM ясно показывает остаточный отпечаток и размер сложенного-вверх материала вокруг впечатления. Зернистую структуру фильма можно также увидеть так же, как радиальная релаксация на краях отпечатка Vickers. Крест-секционный профиль (FIG. 1 (b)) подтверждает остаточную глубину как измерено с NHT (258 nm) и позволяет любой куче-вверх точно быть квантифицированным. Кривый нагрузк-глубины (FIG. 1 (c)) включил твердость и модуль пластичности, котор нужно высчитать, соответственно 1,157 GPa и 112 GPa Vickers. Предыдущая работа уже показала что envisaged, что расследуют преимущества SFM профилируя для характеризации пусковых площадок выпуска облигаций и будущей работы влияния кучи-вверх на площади фактического контакта используемой в вычислении твердости. Это потому что запроектированная площадь контакта высчитана от кривого нагрузк-глубины и таким образом не учитывает увеличенную область в результате кучи-вверх. .gif)
Диаграмма 1. Типичные данные для вмятия 3 mN в алюминиевый тонкий фильм (толщину = 2 m m); (a) Изображение SFM остаточного отпечатка; (b) крест-секционный профиль через отпечаток; кривый нагрузк-глубины (c) давая H = 1,157 GPa и E = 112 GPa. |