本文着重介绍了一个典型的例子瑞士CSM仪器可与集成的扫描力显微镜（SFM），纳米硬度测试仪（NHT）安装取得的成果。这项工作拓展了质量控制IC焊盘，这是典型的薄铝薄膜溅射在Si衬底上组成NHT以前使用。 表面轮廓除了简单地表征材料的硬度和弹性模量，使用的SFM表面轮廓测量残余的印记可以提供有用的其他有关材料的反应缩进（例如，堆积，下沉效果），周围的印记，表面粗糙度和表面结构的想法。这都可以实现在触摸一个按钮，易于操作的SFM采集软件。 结果一个典型的结果如图。低负荷（3分钟）到一个焊盘铝薄膜的缩进1。 SFM图像清楚地显示残留的印记和堆砌材料周围的印象的程度。 影片的粮食结构也可以被看作以及径向放宽维克斯印记边缘。横断面剖面（图1（b））证实了剩余的深度与NHT（258纳米）的测量，并允许任何桩被精确量化。启用负载深度曲线（图1（c）），维氏硬度和弹性模量来计算，分别为1.157 GPa和112 GPa的。 以前的工作已经显示出焊盘和今后的工作特性分析可持续森林管理的优势，预计调查桩的影响，真正的接触在硬度计算使用面积。这是因为预计的接触面积计算的负载深入曲线，因此不考虑桩的面积增加。 .gif)
图1典型的数据为3分钟到压痕铝薄膜（厚度为2毫米）;（一）可持续森林管理的图像残留的印记;（二）横断面通过印记的形象;（三）深入负荷曲线给H = 1.157 GPA和E = 112 GPa压力。 |