酸化性環境にさらされると、鉄、チタン、ニッケルなど多くの一般的に使用される金属および合金は、受動的膜を形成する。多くの場合、安定した酸化物であると考えられているこれらの受動的な膜は、、かなり腐食や酸化を減少させる能力のために利用されています。 パッシベーション層のテスト これらの材料およびそれらの種々の合金の電気化学的試験は、今与えられた環境の中で特定の金属の耐食性を評価するための一般的な方法です。しかし、これらパッシブ映画と映画が形成されている材料の機械的性質を徹底的に調査されていません。これは部分的に一般的にナノメートルスケールで厚さを有する酸化物層である薄膜、の小さな規模によるものです。材料のシリコンの家族と、パッシベーション層とサービスの彼らのパフォーマンスは、今日の"マイクロエレクトロニクスとマイクロマシニング産業の重要性の増大のトピックです。このアプリケーションノートでは、SiO 2、SiNおよびSiCのパッシベーション層の耐擦傷性の評価に焦点を当てています。コーティングのこれらのタイプは、はっきりと再現性に重大な障害ポイントのおかげで理想的な例です。 アプリケーション 結果は図13に示す。 1 SIN / SiCのパッシベーション層は0〜15Nの進歩的な負荷範囲と半径20μmのダイヤモンドチップに傷が付いているときに発生する四季の障害のポイントを要約。 コーティングの厚さは約400nmである。スクラッチパスの両側に沿って傷つけないように3.26N相当の最初の重要な力の値。で9.77N第一クラックが連続的な剥離が10.60Nで発生した後、発生します。まもなくして、コーティングが完全にスクラッチのパス（図1（D））の周りに散らばっされる実質的な破片を引き起こし、11.74 N の重要な力で剥離することが分かる。 %20From%20C_files/image003.jpg) 図1。 すなわち四季と再現性のある重大な障害ポイントを、（）最初の損傷、（b）最初の割れ、（c）の連続的なクラッキング及び（d）完全な剥離が示すのSiN / SiC複合層のためのプログレッシブロードのスクラッチデータ。 追加のテスト に加えて、 テストを掻く 、パッシベーション層は、導電性のヒントとサンプルの電位制御による字下げのテストによって特徴付けられ得る。先端がロードされ、電気抵抗は、チップと試料との間で測定されます。特に多くのシステムで、金属の場合、抵抗値の急激な低下は、酸化膜 の破壊と二つの導体の間に生じた接触に起因することができます。今後の作業は、テストに傷を付けないように定電位制御を適応に期待されている。 |