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Themen Umfaßt

Hintergrund

Konstante Kraft-Steigungs-Bilder

Kontaktspannung

Hintergrund

Ultradünnes hoch--K Aluminiumoxid 2.5nm (Al2wurden3O) Filme auf dem P-artigen Silikon (001) abgegeben durch Atomschicht (ALD)absetzung mit berührungsfreier Atomkraftmikroskopie (NC-AFM) im Ultrahochvakuum, unter Verwendung einer leitfähigen Spitze nachgeforscht.

Konstante Kraft-Steigungs-Bilder

Konstante Kraftsteigungsbilder deckten das Vorhandensein von Oxidladungen und von experimentellen Beobachtungen auf, während unterschiedliche Spitzeprobe Potenzialität mit Berechnungen der Steigung der elektrischen Kraft verglichen wurden, die auf einem kugelförmigen Spitzenbaumuster basierte. dieses Baumuster konnte durch die Inkorporation des Bildes der Spitze in der Halbleitersubstratfläche im Wesentlichen verbessert werden.

Kontaktspannung

Basiert auf den Signalen von den verschiedenen beobachteten Oxidladungen, lädt eine homogene Tiefenverteilung von denen wurde berechnet auf. Anwendung einer Spannungsdifferenz zwischen Probe und Spitze wurde gefunden, um eine elektrische Nettokraft abhängig von der Kontaktspannung und (CPD) effektiven der Spitzeprobe Kapazitanz zu ergeben, die von der Entleerungs- oder Aufspeicherungsschicht abhängt, die durch die Vorspannung verursacht wird. CPD-Bilder konnten aus Höhespannung Spektren mit aktivem Feed-back hergestellt werden.

AZoNano - das A bis Z der Nanotechnologie Online - 1ìm x 1ìm Topographiebild eines 2,5 Filmes nm Al2O3 auf Si

Abbildung 1. 1ìm x 1ìm Topographiebild eines 2,5 nm Filmes2des Als3O auf Si

Abgesehen von den umfangreichen Oxidladungen (die 150 - 300 nm seitliche Größe) und kleinräumigem (50 - 100 nm) CPD-Fluktuieren wurden, die letzteren beobachtet, die ein hohes Maß Wechselbeziehung mit Topographiemerkmalen zeigen. Diese Wechselbeziehung wäre möglicherweise ein Ergebnis vom Oberfläche-gesperrten Wachstumsmodus der nachgeforschten Schichten.

Quelle: Nanosurf

Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte Nanosurf

Date Added: Feb 23, 2007 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:37

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