Weergave van de Lasten die van het Oxyde EasyPLL Van Nanosurf Gebruiken

AZoNano - A aan Z van Nanotechnologie Online - embleem Nanosurf

Besproken Onderwerpen

Achtergrond

De Constante Beelden van de Gradiënt van de Kracht

Het Potentiële Verschil van het Contact

Achtergrond

De Uiterst Dunne die 2.5nm hoog-k films van het aluminiumoxyde (2Al3O) op p-type silicium (001) door atoomlaagdeposito (ALD) wordt werden gedeponeerd onderzocht met microscopie van de noncontact de atoomkracht (nc-AFM) in ultrahoog vacuüm, gebruikend een geleidend uiteinde.

De Constante Beelden van de Gradiënt van de Kracht

De Constante beelden van de krachtgradiënt openbaarden de aanwezigheid van oxydelasten en experimentele observaties aangezien verschillende het uiteinde-steekproef potentieel vermogen met berekeningen van de elektrische die krachtgradiënt vergeleken werd op een sferisch uiteindemodel wordt gebaseerd. dit model zou wezenlijk door de integratie van het beeld van het uiteinde in het halfgeleidersubstraat kunnen worden verbeterd.

Het Potentiële Verschil van het Contact

Gebaseerd op de signalen van verschillende waargenomen oxydelasten, werd een homogene dieptedistributie van die lasten afgeleid. De Toepassing van een potentieel verschil tussen steekproef en uiteinde werd gevonden om in een netto elektrische kracht afhankelijk van het contact potentiële verschil en (CPD) efficiënte de uiteinde-steekproef capacitieve weerstand te resulteren, die van de uitputting of accumulatielaag afhangt die door het bias voltage wordt veroorzaakt. CPD beelden zouden van hoogte-voltage spectrums met actief kunnen worden geconstrueerd terugkoppelen.

AZoNano - A aan Z van Nanotechnologie Online - 1ìm x 1ìm topografiebeeld van een 2.5 NMAl2O3 film op Si

Figuur 1. 1ìm x 1ìm topografiebeeld van een 2.5 NMAl2O3film op Si

Behalve oxyde werden de lasten op grote schaal (150 - 300 NM zijgrootte) en de kleinschalige (50 - 100 NM) CPD schommelingen waargenomen, de laatstgenoemden die een hoge graad van correlatie met topografieeigenschappen tonen. Deze correlatie zou een resultaat van de oppervlakte-verboden de groeiwijze van de onderzochte lagen kunnen zijn.

Bron: Nanosurf

Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Nanosurf

Date Added: Feb 23, 2007 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:31

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit