att Avbilda av Oxiden Laddar genom Att Använda EasyPLLen Från Nanosurf

AZoNano - Aet till Z av Nanotechnology Direktanslutet - Nanosurf logo

Täckte Ämnen

Bakgrund

Den Konstant StyrkaLutningen Avbildar

Potentiell Skillnad för Kontakt

Bakgrund

Filmar den aluminium oxiden för den Ultrathin kicken-K 2.5nm (2Al3Nolla) på p-typ silikoner (001) som sättas in av atom- lagraravlagring, (ALD) utforskades med noncontact atom- styrkamicroscopy (NC-AFM) i ultrahigh dammsuger, genom att använda en ledande spets.

Den Konstant StyrkaLutningen Avbildar

Den Konstant styrkalutningen avbildar avslöjde närvaroen av oxidladdningar, och experimentella observationer, som olikt, spets-tar prov potentiality jämfördes med beräkningar av den elektriska styrkalutningen som baseras på en sfärisk spets, modellerar. detta modellerar kunde väsentligen förbättras av inkorporeringen av avbilda av spetsen i halvledaresubstraten.

Potentiell Skillnad för Kontakt

Baserat på signalerar av olika observerade oxidladdningar, en homogen djupfördelning av de laddningar härleddes. Applikationen av en potentiell skillnad between tar prov, och spetsen fanns för att resultera i en netto elektrisk styrka beroende av den potentiella skillnaden för kontakten, (CPD) och effektivt spets-ta prov kapacitensen, som beror på uttömmnings- eller ackumulationslagrar, som framkallas av den bias spänningen. CPD avbildar kunde konstrueras från höjd-spänning spectra med aktivåterkoppling.

AZoNano - Aet till Z av Nanotechnology Direktanslutet - 1ìm x 1ìm topografi avbildar av 2,5 som nm Al2O3 filmar på Si

Figurera 1. 1ìm x 1ìm topografi avbildar av en 2,5 nm-Al2Nolla3filmar på Si

Frånsett observerades storskaliga oxidladdningar (150 - för 300 nm lateralen storleksanpassar) och småskaliga (50 - 100 nm) CPD-växlingar, den mer sistnämnda visningen som en kickgrad av korrelationen med topografi presenterar. Denna korrelation kan är ett resultat från detförhindrade tillväxtfunktionsläget av de utforskade lagrarna.

Källa: Nanosurf

För mer information på denna källa behaga besök Nanosurf

Date Added: Feb 23, 2007 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:59

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit