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Themen Umfaßt
Hintergrund
Proben
Instrumentierung
Aufgabe
Schritte der Bewertung
Maße
Submikron Seitenteil-Auflösung
Konstante von Proportionalität
Stärke Maß
Ergebnisse
Schlussfolgerung
Quittung
Bezüge
Hintergrund
2. Microarrays sind im Genomics und in Proteomics in der Biotechnologie anwendbar. Die ellipsometry Darstellung ist billige, schnelle und Markierung-freie Nachweismethode auf Microarrays [2]. .jpg)
Microcontact-Drucken
Proben
Instrumentierung
WahlweiseScannen-Fühler-3Ellipsometric Mikroskop Darstellung Ellipsometer EP-SW (532 nm) (SPEM) von Accurion einschließlich Scannenfühlermikroskop (SPM)
Aufgabe
Schritte der Bewertung
- Optimieren Sie den ellipsometric Bildkontrast mit den Winkeln des Analysegeräts und des Polarisators
- Suchen Sie nach Sehenswürdigkeiten im ellipsometric Kontrastbild in der Istzeit
- Lassen Sie den EP3 eine Karte des Deltas aufzeichnen, von der die Karte der Stärke des Thiolalkohols (fig.2) berechnet wird.
- Stellen Sie die Region von Zinsen ein (weißer Kasten, fig.2 A), wohin man herein mit dem Scannenfühlermikroskop laut summt (fig.2 B, C) (wahlweise)
Maße
Darstellung Ellipsometer hat den Vorteil, dass sie Stärkeschwankungen strukturierten Samss mit vertikaler Auflösung kennzeichnen kann der Untermonomolekularen Schicht (Baumuster. 0,01 nm) in der Istzeit, während die Probe vom Operator mit einer Stufe der automatischen Übersetzung verschoben werden kann. Durch Kontrastscannenfühler benötigen Mikrographen viel Protokoll für Vorbereitung, Optimierung und Aufnahme. SPMs-Erzeugnisartefakte, wenn ein großes Blickfeld gescannt wird (¦Ìm 80, wie in fig.2 B) wegen der Beispielbiegung und der nichtlinearen piezoelektrischen Antwort. In fig.2 B ist das zunehmende Signal in Richtung zu den linken und rechten Rändern ein Artefakt, das die Recherche nach Zellen mit Nmschritt Größe macht, die mit SPM sehr schwierig ist. Um nm-Schritte in der Schicht mit SPM zu kennzeichnen ist es auch notwendig Schwingungen z.B. durch eine Anti-Vibrationsstufe zu beseitigen, die nicht für ellipsometry erforderlich ist. Submikron Seitenteil-Auflösung
ellipsometer wird durch die optische Beugungsgrenze begrenzt (herum 1 ¦Ìm). Ein kalibriertes SPM und das ellipsometer, beide MaßnahmeSchrittgrößen in den Schichten sehr genau. Nur das ellipsometer kann Stärke ohne Bedarf an einem Schritt in der Schicht absolut messen. Zu diesem Zweck misst das ellipsometer ein Phasenänderung Delta, das zur Stärke der monomolekularen Schicht proportional ist. Konstante von Proportionalität
Stärke Maß
ellipsometer kann die Stärke nicht absolut messen, wenn der Unterschied der Brechungskoeffizienten kleiner als 0,01 ist, das der Fall bei Sams auf Normalglas sein kann. Absolutes Stärkemaß ist immer für Sams auf absorbierenden Substratflächen, d.h. Gold und Silikon möglich, wenn die Brechungskoeffizienten der SAM und der Substratfläche bekannt. Zwecks die Stärkeschuppe der Karte kalibrieren (typische Werte fig.2 sind A) für die Brechungskoeffizienten angenommen worden. .jpg)
Microcontact-Druckthiolalkohol auf Gold, Lernziel A, 5x der Stärkekarte (, 1 min. Aufnahmezeit), Scannenfühlermikrographen mit 15 der Min. Aufnahmezeit (B, ¦Ìm 80 ¦Ìm x 80, entsprechend dem weißen Kasten in A und in C, ¦Ìm 10 ¦Ìm x 10, entsprechend weißem Kasten in B)
Ergebnisse
Schlussfolgerung
Darstellung Ellipsometer EP3 kennzeichnet Schritte in den monomolekularen Schichten viel schneller und mit weniger Bemühung als ein SPM. Nur das Darstellung ellipsometer kann eine Stärkekarte mit einem Blickfeld zwischen 0,1 und 2 mm abhängig von dem Lernziel aufzeichnen. Um in das ellipsometric Bild mit seitlicher Auflösung des Submikrons laut zu summen ist ein SPM gut geeignet. Das ellipsometric Mikroskop des Scannenfühlers (SPEM) vereinheitlicht SPM und EP3 in einem Instrument. Der EP3 und die SPEM sind tadellos geeignet, strukturiertes Sams zu kennzeichnen. .jpg)
Microcontact-Druckthiolalkohol auf Gold, Stärkeprofil entsprechend der Stärkekarte (fig.2 A)
Quittung
Bezüge
[1] J.L. Wilbur, A. Kumar, E. Kim, G.M. Whitesides, Microfabrication durch Microcontact-Drucken von Selbst-Zusammengebauten Monomolekularen Schichten, Adv. Mater., Vol. 6, 600 (1994)
[2] Markierung-Freier Befund auf Microarrays durch M.Vaupel et al., P. 181-207, in der Microarray-Technologie und Seine Anwendungen, ¹ U.R.M¨ ller und D.V. Nicolau (Eds.), Springer (2005), ISBN 3-540-22931-0
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