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Temas Revestidos
Antecedentes
Muestras
Instrumentación
Tarea
Pasos De Progresión de la Evaluación
Mediciones
Resolución del Lateral del Submicron
Constante de la Proporcionalidad
Medición del Espesor
Resultados
Conclusión
Acuse De Recibo
Referencias
Antecedentes
2. Los Microarrays son aplicables en Genómica y Proteomics en biotecnología. La Proyección De Imagen ellipsometry es método de detección barato, rápido, y etiqueta de plástico-libre en los Microarrays [2]. .jpg)
Impresión de Microcontact
Muestras
Instrumentación
Microscopio Elipsométrico de la Antena3 opcional de la Exploración de Ellipsometer EP-SW (532 nanómetro) de la Proyección De Imagen (SPEM) de Accurion incluyendo el microscopio de la antena de la exploración (SPM)
Tarea
Pasos De Progresión de la Evaluación
- Optimice el contraste elipsométrico de la imagen con los ángulos del analizador y del polarizador
- Explore para las puntas del interés en la imagen elipsométrica del contraste en tiempo real
- Permita al EP3 registrar una correspondencia del Delta, de la cual la correspondencia del espesor del tiol (fig.2) se calcula.
- Fije la Región de Interés (rectángulo blanco, fig.2 A) adonde empinadura hacia adentro con el microscopio de la antena de la exploración (fig.2 B, C) (opcional)
Mediciones
La Proyección De Imagen Ellipsometer tiene la ventaja que puede determinar variaciones del espesor en Sams estructurado con la resolución vertical de la sub-capa monomolecular (tipo. 0,01 nanómetros) en tiempo real, mientras que la muestra se puede mover por el operador con un escenario de la traslación automática. Por la antena de la exploración del contraste los micrográfos necesitan muchos minutos para la preparación, la optimización, y el registro. Artefactos de la producción de SPMs al explorar un campo visual grande (¦Ìm 80 como en fig.2 B) debido a la curvatura de la muestra y a la reacción piezoeléctrica no lineal. En fig.2 B la señal cada vez mayor hacia los bordes izquierdos y derechos es un artefacto, que hace la búsqueda para las estructuras con la talla del nanómetro-paso de progresión muy difícil con SPM. Para determinar pasos de progresión del nanómetro en la capa con SPM es también necesario eliminar vibraciones e.g por un escenario antivibraciones, que no es necesario para ellipsometry. Resolución del Lateral del Submicron
el ellipsometer es limitado por el límite de difracción óptico (alrededor 1 ¦Ìm). Un SPM calibrado y el ellipsometer, ambas tallas de paso de progresión de la dimensión en capas muy exacto. Solamente el ellipsometer puede medir espesor absolutamente sin la necesidad de un paso de progresión en la capa. Con este fin el ellipsometer mide un Delta del desplazamiento de fase, que es proporcional al espesor de la capa monomolecular. Constante de la Proporcionalidad
Medición del Espesor
el ellipsometer no puede medir el espesor absolutamente cuando la diferencia de los índices refractivos es más pequeña de 0,01, que puede ser el caso en Sams sobre el cristal ordinario. La medición Absoluta del espesor es siempre posible para Sams en los substratos absorbentes, es decir oro y silicio, cuando los índices refractivos del SAM y del substrato se saben. Para calibrar la escala del espesor de la correspondencia (valores típicos de fig.2 A) se ha asumido para los índices refractivos. .jpg)
Tiol Microcontact-Impreso en el oro, objetivo A, 5x de la correspondencia del espesor (, 1 vez de registro mínima), micrográfos de la antena de la exploración con 15 Min. de tiempo de registro (B, 80 ¦Ìm del ¦Ìm x 80, correspondiente al rectángulo blanco en A, y C, 10 ¦Ìm del ¦Ìm x 10, correspondiente al rectángulo blanco en B)
Resultados
Conclusión
El EP de Ellipsometer de la Proyección De Imagen3 determina pasos de progresión en capas monomoleculares mucho más rápidamente y con menos esfuerzo que un SPM. Solamente el ellipsometer de la proyección de imagen puede registrar una correspondencia del espesor con un campo visual entre 0,1 y 2 milímetros dependiendo del objetivo. Para empinadura en la imagen elipsométrica con la resolución lateral del submicron un SPM es bien conveniente. El microscopio elipsométrico de la antena de la exploración (SPEM) unifica SPM y al EP3 en un instrumento. El EP3 y los SPEM son perfectamente convenientes caracterizar Sams estructurado. .jpg)
Tiol Microcontact-Impreso en el oro, perfil del espesor según la correspondencia del espesor (fig.2 A)
Acuse De Recibo
Referencias
[1] J.L. Wilbur, A. Kumar, E. Kim, G.M. Whitesides, Microfabrication por la Impresión de Microcontact de las Capas Monomoleculares Uno mismo-Ensambladas, Adv. Mater., Vol. 6, 600 (1994)
[2] Detección Etiqueta de plástico-Libre en Microarrays por M.Vaupel y otros, P. 181-207, en la Tecnología y Sus Aplicaciones, ller y D.V. Nicolau (Eds.), Saltador (2005), ISBN 3-540-22931-0 del Microarray del ¹ de U.R.M¨
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