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Sujets Couverts
Mouvement Propre
Échantillons
Instrumentation
Tâche
Phases de Bilan
Mesures
Définition Transversale Submicronique
Constante de la Proportionnalité
Mesure d'Épaisseur
Résultats
Conclusion
Remerciement
Références
Mouvement Propre
2. Les Puces ADN s'appliquent dans la Génomique et la Protéomique en biotechnologie. La Représentation ellipsometry est méthode de dépistage bon marché, rapide, et repère repère sur les Puces ADN [2]. .jpg)
Impression de Microcontact
Échantillons
Instrumentation
Microscope Ellipsométrique de Sonde3 optionnelle de Lecture d'Ellipsometer EP-SW (532 nanomètre) de Représentation (SPEM) d'Accurion comprenant le microscope de sonde de lecture (SPM)
Tâche
Phases de Bilan
- Optimisez le contraste ellipsométrique d'image avec les cornières de l'analyseur et du polariseur
- Recherchez les points d'intérêt dans l'image ellipsométrique de contraste en temps réel
- Laissez le PE3 enregistrer un plan dont de Triangle, à partir le plan de l'épaisseur du thiol (fig.2) est prévu.
- Réglez la Région d'Intérêt (boîtier blanc, fig.2 A) où changer de plan dedans avec le microscope de sonde de lecture (fig.2 B, C) (optionnel)
Mesures
La Représentation Ellipsometer a l'avantage qu'elle peut recenser des variations d'épaisseur de Sams structuré avec la définition verticale de sous-couche unitaire (type. 0,01 nanomètres) en temps réel, alors que l'échantillon peut être déménagé par la téléphoniste avec un stade de traduction automatique. En Revanche la sonde de lecture les micrographes ont besoin de beaucoup de minutes pour la préparation, l'optimisation, et l'enregistrement. Artefacts de produit de SPMs en balayant un grand champ de vision (¦Ìm 80 comme dans fig.2 B) dû à la lordose d'échantillon et à la réaction piézoélectrique non linéaire. Dans fig.2 B le signe croissant vers les arêtes gauches et droites est un artefact, qui effectue la recherche des structures avec la taille de nanomètre-phase très difficile avec SPM. Afin de recenser des phases de nanomètre dans la couche avec SPM il est également nécessaire d'éliminer des vibrations par exemple par un stade antivibration, qui n'est pas nécessaire pour ellipsometry. Définition Transversale Submicronique
l'ellipsometer est limité par la limite de diffraction optique (environ 1 ¦Ìm). Un SPM et l'ellipsometer, les deux tailles étalonné de phase de mesure dans les couches très avec précision. Seulement l'ellipsometer peut mesurer l'épaisseur absolument sans besoin de phase dans la couche. À cet effet l'ellipsometer mesure une Triangle de déphasage, qui est proportionnelle à l'épaisseur de couche unitaire. Constante de la Proportionnalité
Mesure d'Épaisseur
l'ellipsometer ne peut pas mesurer l'épaisseur absolument quand la différence des indices de réfraction est plus petite que 0,01, qui peut être le cas chez Sams sur la glace normale. La mesure Absolue d'épaisseur est toujours possible à Sams sur les substrats absorbants, c.-à-d. or et silicium, quand les indices de réfraction du SAM et du substrat sont connus. Afin d'étalonner l'échelle d'épaisseur du plan (valeurs particulières de fig.2 A) ont été assumés pour les indices de réfraction. .jpg)
Thiol Microcontact-Estampé sur l'or, objectif A, 5x de plan d'épaisseur (, 1 fois d'enregistrement mn), micrographes de sonde de lecture avec 15 Mn de temps d'enregistrement (B, 80 ¦Ìm de ¦Ìm X 80, correspondant dans le boîtier blanc en A, et C, 10 ¦Ìm de ¦Ìm X 10, correspondant dans le boîtier blanc en B)
Résultats
Conclusion
Le PE d'Ellipsometer de Représentation3 recense des phases dans les couches unitaires beaucoup plus rapidement et avec moins d'effort qu'un SPM. Seulement l'ellipsometer de représentation peut enregistrer un plan d'épaisseur avec un champ de vision entre 0,1 et 2 millimètres selon l'objectif. Pour changer de plan dans l'image ellipsométrique avec la définition transversale submicronique un SPM est bien adapté. Le microscope ellipsométrique de sonde de lecture (SPEM) unifie SPM et PE3 dans un instrument. Le PE3 et les SPEM sont parfaitement adaptés pour caractériser Sams structuré. .jpg)
Thiol Microcontact-Estampé sur l'or, profil d'épaisseur selon le plan d'épaisseur (fig.2 A)
Remerciement
Références
[1] J.L. Wilbur, A. Kumar, E. Kim, G.M. Whitesides, Microfabrication par l'Impression de Microcontact des Couches Unitaires Auto-Assemblées, Adv. Mère., Vol. 6, 600 (1994)
[2] Dépistage Repère Repère sur des Puces ADN par M.Vaupel et autres, P. 181-207, en Technologie de Puce ADN et Ses Applications, ller et D.V. Nicolau (Eds.), Springer (2005), ISBN 3-540-22931-0 de ¹ d'U.R.M¨
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