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Argomenti trattati
Di fondo
Campioni
Strumentazione
Compito
Fasi di valutazione
Misure
Sub-Micron risoluzione laterale
Costante di proporzionalità
Spessore di misura
Risultati
Conclusione
Riconoscimento
Referenze
Di fondo
Per la produzione di stampa microstrutture microcontatto [1] è una semplice alternativa economici per la fotolitografia piuttosto complicato e costoso. Per mezzo di stampa microcontact (fig.1) SAM (monostrati selfassembled), ad esempio, un tiolo possono essere stampati su un substrato adatto, per esempio oro.
Il SAM protegge la superficie da essere incisa quando in una fase successiva la superficie è inciso per produrre una struttura laterale. La funzione chimica di un tiolo dipende dalla sua gruppi funzionali, che possono essere modificate. In questo modo la superficie può essere modificato in modo da legare particolari classi di molecole. Stampa microcontatto di SAM in grado di produrre Microarrays portando migliaia di immobili di diversa entro un sensore cm 2. Microarray sono applicabili in Genomica e Proteomica nella biotecnologia. Ellissometria Imaging è economico, veloce, e marker senza metodo di rilevazione su microarray [2].
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Figura 1. Microcontatto stampa
Campioni
SAM microcontatto stampa di due diversi tioli su oro (50 pellicole nm su vetrino)
Strumentazione
Imaging Ellipsometer EP 3-SW (532 nm) opzionale microscopio a scansione a sonda ellissometrico (SPEM) da Accurion compresi microscopio a scansione di sonda (SPM)
Compito
Controllo di qualità del SAM microcontatto stampato per mezzo di mappe spessore
Fasi di valutazione
- Ottimizzare il contrasto ellissometrico immagine con gli angoli di analizzatore e polarizzatore
- Cerca punti di interesse in contrasto con l'immagine ellissometrico in tempo reale
- Lasciate che il PE 3 record una mappa di Delta, da cui viene calcolata la mappa dello spessore del tiolo (fig.2).
- Impostare la Regione di interesse (scatola bianca, fig.2 A) se per ingrandire con il microscopio a scansione di sonda (fig. 2 B, C) (opzionale)
Misure
Il Ellipsometer Imaging ha il vantaggio di poter identificare variazioni di spessore in SAM strutturato con sub-monostrato risoluzione verticale (tip. 0,01 nm) in tempo reale, mentre il campione può essere spostato dall'operatore con una fase di traduzione automatica. Al contrario microscopio a scansione di sonda bisogno di molti minuti per la preparazione, ottimizzazione e registrazione. SPM produrre artefatti durante la scansione di un grande campo di vista (80 | Ìm come in fig.2 B) a causa della curvatura del campione e la risposta non lineare piezoelettrico. In fig.2 B il segnale di crescente verso i bordi sinistro e destro è un artefatto, il che rende la ricerca di strutture con nm-passo dimensioni molto difficile con SPM. Al fine di individuare interventi nm nello strato con SPM è anche necessario per eliminare le vibrazioni ad esempio da una fase antivibranti, che non è necessario per ellissometria.