Microcontact は Accurion によってイメージ投射 Ellipsometry および SPM と点検された単一層を印刷しました

カバーされるトピック

Microcontact の印刷

サンプル

器械使用

イメージ投射 Ellipsometer EP-SW³ (532 nm) のスキャンのプローブの顕微鏡を含む Accurion (SPEM) からの任意選択スキャンのプローブの Ellipsometric 顕微鏡 (SPM)

タスク

評価のステップ

検光子および偏光子の角度の ellipsometric 画像の対照を最適化して下さい
リアルタイムの ellipsometric 対照の画像の興味のポイントを捜して下さい
EP を³ チオール (fig.2) の厚さのマップが計算されるデルタのマップを記録することを許可して下さい。
興味 (ホワイトボックス、 A) fig.2 どこにスキャンのプローブのの領域を顕微鏡 (fig.2 B 急上昇するためにによって (任意選択) C) セットして下さい

測定

副単一層の縦解像度 (typ の構成された SAMs の厚さの変化を識別できることイメージ投射 Ellipsometer に利点があります。サンプルは自動変換の段階を持つオペレータによって移動することができるが、リアルタイム 0.01 nm)。対照のスキャンのプローブによって顕微鏡写真は準備、最適化および記録のための多くの分を必要とします。大きい視野を (サンプル湾曲および非線形圧電気の応答による fig.2 B) の 80 ¦Ìm スキャンする場合の SPMs の農産物の人工物。 fig.2 B では左右の端の方の増加するシグナルは SPM と困難な nm ステップサイズの構造の検索を非常にする人工物です。 SPM の層の nm のステップを識別するためには ellipsometry のために必要の antivibration 段階によって振動を例えば除去することもまた必要です。

ミクロ以下の側面解像度

ellipsometer は光学回折限界 (およそ 1 つの ¦Ìm) によって限定されます。目盛りを付けられた SPM および ellipsometer の層の両方の測定のステップサイズ非常に正確に。 ellipsometer だけ層のステップのための必要性なしで厚さを絶対に測定できます。これを受けて ellipsometer は単一層の厚さに比例している位相ずれのデルタを測定します。

比例の定数

厚さの測定

ellipsometer は屈折率の相違が通常のガラスの SAMs に事実である場合もある 0.01 より小さいとき厚さを絶対に測定できません。絶対厚さの測定は SAM と基板の屈折率が知られているとき、引きつけられる基板、すなわち金およびケイ素の SAMs のために可能常にです。マップ (fig.2 の A) は屈折率の厚さのスケールにのために典型的な値目盛りを付けるため仮定されました。

金、厚さのマップ (A、 5x 目的、 1 最少記録タイム) のの Microcontact 印刷されたチオール、 15 Min. ののスキャンのプローブの顕微鏡写真記録タイム (B の A および C の B) のホワイトボックスに相当する 10 ¦Ìm X の 10 ¦Ìm のホワイトボックスに相当する 80 ¦Ìm X の 80 ¦Ìm、