.gif)
Besproken Onderwerpen
Achtergrond
Steekproeven
Instrumentatie
Taak
Stappen van Evaluatie
Metingen
De ZijResolutie van het submicron
Constante van Evenredigheid
De Meting van de Dikte
Resultaten
Conclusie
Erkenning
Verwijzingen
Achtergrond
2. Microarrays is toepasselijk in Genomica en Proteomics in biotechnologie. Ellipsometry de Weergave is goedkope, snelle, en teller-vrije opsporingsmethode op Microarrays [2]. .jpg)
De Druk van Microcontact
Steekproeven
Instrumentatie
Ellipsometrische Microscoop van de Sonde3 van het Aftasten van Ellipsometer EP-SW van de Weergave (532 NM) de facultatieve (SPEM) van Accurion met inbegrip van de microscoop van de aftastensonde (SPM)
Taak
Stappen van Evaluatie
- Optimaliseer het ellipsometrische beeldcontrast met de hoeken van analysator en polarisator
- Zoek naar aandachtspunten in het ellipsometrische contrastbeeld in echt - tijd
- Laat het3 EP- verslag een kaart van Delta, waarvanaf de kaart van de dikte van thiol (fig.2) wordt berekend.
- Plaats het Gebied van Belang (witte doos, fig.2 A) waar te binnen met de microscoop van de aftastensonde te zoemen (fig.2 B, (facultatief) C)
Metingen
De Weergave Ellipsometer heeft het voordeel dat het diktevariaties in gestructureerd Sams met sub-monolayer verticale resolutie kan identificeren (type. 0.01 NM) in echt - tijd, terwijl de steekproef door de exploitant met een automatische vertaalstadium kan worden bewogen. Door de sonde van het contrastaftasten vergen de micrografen vele notulen voor voorbereiding, optimalisering, en opname. De opbrengsartefacten van SPMs wanneer het aftasten van een groot gebied van mening (80 ¦Ìm zoals in fig.2 B) wegens steekproefkromming en niet-lineaire piezoelectric reactie. In fig.2 B is het stijgende signaal naar de linker en juiste randen een artefact, dat het onderzoek naar structuren met NM-stap grootte zeer met SPM moeilijk maakt. om NMstappen in de laag met SPM te identificeren is het ook noodzakelijk om trillingen b.v. door een antivibration stadium te elimineren, dat niet nodig voor ellipsometry is. De ZijResolutie van het submicron
ellipsometer wordt beperkt door de optische diffractiegrens (rond 1 ¦Ìm). Een gekalibreerde SPM en ellipsometer, beide grootte van de maatregelenstap in lagen zeer precies. Slechts kan ellipsometer dikte zonder behoefte aan een stap in de laag absoluut meten. Daartoe meet ellipsometer een Delta van de faseverschuiving, die aan de monolayer dikte evenredig is. Constante van Evenredigheid
De Meting van de Dikte
ellipsometer kan niet de dikte absoluut meten wanneer het verschil van de brekingsindexen kleiner is dan 0.01, die het geval kan zijn in Sams op gewoon glas. De Absolute diktemeting is altijd mogelijk voor Sams bij het absorberen van substraten, d.w.z. goud en silicium, wanneer de brekingsindexen van SAM en van het substraat worden gekend. om de dikteschaal van de kaart (fig.2 A) te kalibreren de typische waarden zijn verondersteld voor de brekingsindexen. .jpg)
Microcontact-gedrukt thiol op goud, diktekaart (A, 5x doelstelling, 1 min. opnametijd), de micrografen van de aftastensonde met 15 van de opnamemin. tijd (B, 80 die ¦Ìm x 80 ¦Ìm, aan de witte doos in A, en C, 10 die ¦Ìm x 10 ¦Ìm beantwoorden, aan witte doos in B beantwoorden)
Resultaten
Conclusie
EP van Ellipsometer van de Weergave3 identificeert sneller stappen in monolayers veel en met minder inspanning dan een SPM. Slechts kan weergaveellipsometer een diktekaart met een gebied van mening tussen 0.1 en 2 mm afhankelijk van de doelstelling registreren. Om in het ellipsometrische beeld met submicron zijresolutie te zoemen is een SPM goed geschikt. De ellipsometrische microscoop van de aftastensonde (SPEM) verenigt SPM en EP3 in één instrument. EP3 en SPEM zijn volkomen geschikt om gestructureerd Sams te kenmerken. .jpg)
Microcontact-gedrukt thiol op goud, dikteprofiel volgens de diktekaart (fig.2 A)
Erkenning
Verwijzingen
[1] J.L. Wilbur, A. Kumar, E. Kim, G.M. Whitesides, Microfabrication door Microcontact Printing van zelf-Geassembleerde Monolayers, Adv. Mater., Volume 6, 600 (1994)
[2] teller-Vrije Opsporing op Microarrays door M.Vaupel et al., p. 181-207, in Technologie Microarray en Zijn Toepassingen, U.R.M¨ ¹ ller en D.V. Nicolau (Eds.), Aanzetsteen (2005), ISBN 3-540-22931-0
Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Accurion