.gif)
Покрытые Темы
Предпосылка
Образцы
Измерительное Оборудование
Задача
Шаги Оценки
Измерения
Разрешение Боковой Части Субмикрона
Коэффициент Пропорциональности
Измерение Толщины
Результаты
Заключение
Подтверждение
Справки
Предпосылка
2. Microarrays применимы в Геномике и Proteomics в биотехнологии. Воображение ellipsometry дешевый, быстрый, и отметк-свободный метод обнаружения на Microarrays [2]. .jpg)
Печатание Microcontact
Образцы
Измерительное Оборудование
Зонда Скеннирования Ellipsometer3 EP-SW Воображения (532 nm) Микроскоп опционного Ellipsometric (SPEM) от Accurion включая микроскоп зонда скеннирования (SPM)
Задача
Шаги Оценки
- Оптимизируйте ellipsometric контраст изображения с углами анализатора и поляризатора
- Ищите для пунктов интереса в ellipsometric изображении контраста в реальное временя
- Препятствуйте EP3 записать карту Перепада, от которой высчитана карта толщины тиола (fig.2).
- Установите Зону Интереса (белой коробки, fig.2 A) куда просигналить внутри с микроскопом зонда скеннирования (fig.2 B, C) (опционными)
Измерения
Воображение Ellipsometer имеет преимущество что оно может определить изменения толщины в составленном SAMs с разложением в вертикальном направлении sub-монослоя (типом. 0,01 nm) в реальное временя, пока образец может быть двинут оператором с этапом машинного перевода. зондом скеннирования контраста микрорисункам нужны много минут для подготовки, оптимизирования, и записи. Артефакты продукции SPMs просматривая большую область видимости (¦Ìm 80 как в fig.2 B) должную к погнутости образца и нелинейной пьезоэлектрической реакции. В fig.2 B увеличивая сигнал к левым и правым краям артефакт, который делает поиск для структур с размером nm-шага очень трудным с SPM. Для того чтобы определить шаги nm в слой с SPM также необходимо исключить вибрации например antivibration этапом, который не необходим для ellipsometry. Разрешение Боковой Части Субмикрона
ellipsometer ограничено оптически пределом огибания (вокруг 1 ¦Ìm). Откалибрированное SPM и ellipsometer, оба размера шага измерения в слоях очень точно. Только ellipsometer может измерить толщину совершенно без потребности для шага в слой. К этому концу ellipsometer измеряет Перепад сдвига фазы, который пропорциональн к толщине монослоя. Коэффициент Пропорциональности
Измерение Толщины
ellipsometer не может измерить толщину совершенно когда разница рефрактивных индексов более мала чем 0,01, которое может быть случаем на SAMs на обычном стекле. Абсолютное измерение толщины всегда возможно для SAMs на absorbing субстратах, т.е. золоте и кремнии, когда знаны рефрактивные индексы СЭМ и субстрата. Откалибрировать маштаб толщины значений карты (fig.2 A) типичных примите, что для рефрактивных индексов. .jpg)
Microcontact-Напечатанный тиол на золоте, задачи A, 5x карты толщины (, 1 минимального времени записи), просматривая микрорисунки зонда с 15 MIN. времени записи (B, 80 ¦Ìm ¦Ìm x 80, соответствие к белой коробке в A, и C, 10 ¦Ìm ¦Ìm x 10, соответствие к белой коробке в B)
Результаты
Заключение
EP Ellipsometer Воображения3 определяет шаги в монослои очень более быстро и с меньше усилия чем SPM. Только ellipsometer воображения может записать карту толщины с областью видимости между 0,1 и 2 mm в зависимости от задачи. Для того чтобы просигналить в ellipsometric изображение с разрешением субмикрона боковым SPM хорошо соответствующе. Микроскоп зонда скеннирования ellipsometric (SPEM) унифицирует SPM и EP3 в одной аппаратуре. EP3 и SPEM совершенно соответствующи для того чтобы характеризовать составленное SAMs. .jpg)
Microcontact-Напечатанный тиол на золоте, профиле толщины согласно карте толщины (fig.2 A)
Подтверждение
Справки
[1] J.L. Wilbur, A. Kumar, E. Ким, G.M. Whitesides, Microfabrication Печатанием Microcontact Собственн-Собранных Монослоев, Adv. Mater., VOL. 6, 600 (1994)
[2] Отметк-Свободное Обнаружение на Microarrays M.Vaupel et al., P. 181-207, в Технологии Microarray и Своих Применениях, ller ¹ U.R.M¨ и D.V. Nicolau (Eds.), Спрингере (2005), ISBN 3-540-22931-0
Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите Accurion