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讨论主题
背景
样品
仪器仪表
任务
评价的步骤
测量
亚微米横向分辨率
相称性常数
厚度测量
结果
结论
鸣谢
参考文献
背景
显微微接触印刷[1]生产是一个简单的廉价替代品相当复杂和昂贵的光刻。通过微接触印刷（图1）自组装膜（selfassembled单层），如巯基，可以在一个合适的基板，如金印。
SAM防止表面被蚀刻时，在下一步的表面蚀刻产生一个横向结构。巯基的化学功能取决于其官能团，可以修改。在这样的表面可以修改绑定特定类别的分子。微接触印刷的地对空导弹，可以产生一平方厘米之内数千种不同的传感器属性的微阵列。微阵列是适用于生物技术基因组学和蛋白质组学。成像椭偏便宜，速度快，无标记微阵列检测方法[2]。
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微接触印刷图1。
样品
微接触印刷两种不同的金硫醇（玻片上的50纳米薄膜的自组装）
仪器仪表
可选的扫描探针 成像椭偏仪 EP 3 - SW（532纳米） 的椭偏显微镜（SPEM ） Accurion包括扫描探针显微镜（SPM ）
任务
微接触印刷地空导弹的质量控制手段的厚度地图
评价的步骤
- 优化与分析仪和偏光镜的角度椭偏图像的对比度
- 在椭偏对比度的图像实时兴趣点搜索
- 让EP 3条记录的三角洲，从巯基（图2）厚度的地图计算地图。
- 设置感兴趣区域（白盒，图2）放大与扫描探针显微镜（图B，C）（可选）
测量
成像椭偏仪的优点，它可以识别与分单层垂直分辨率实时（典型值0.01纳米）结构自组装膜的厚度变化，而 样品可以通过移动运营商的自动翻译阶段。相比之下，扫描探针显微需要多少分钟的准备，优化，并记录。 SPMS的大视场（80 | IM在图乙）由于样本曲率和非线性压电响应扫描时产生的文物。在图乙中增加对左，右边缘的信号是一个人工制品，这使得搜索与纳米步长，很难与SPM结构。为了确定在层与SPM纳米步骤，也是必要的，以消除防震的阶段，这是不需要椭偏如振动。