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包括的事宜
背景
範例
手段
任務
步驟評估
評定
亞顯微側向解決方法
比率性常數
厚度評定
結果
結論
鳴謝
參考
背景
2. 微陣列是可適用的在染色體組的和 Proteomics 在生物工藝學方面。 ellipsometry 的想像是在微陣列 [2 的] 便宜，快速和標記自由的探知方法。 .jpg)
Microcontact 打印
範例
手段
從 Accurion 的想像3 Ellipsometer EP-SW (532 毫微米) 選項掃描探測 (SPEM) Ellipsometric 顯微鏡包括掃描探測顯微鏡 (SPM)
任務
步驟評估
- 優選與分析程序和偏振鏡角度的 ellipsometric 圖像對比
- 搜索問題的興趣在 ellipsometric 對比圖像上在實時
- 讓 EP3 記錄 Delta 映射，硫烴 (fig.2) 厚度映射被計算。
- 設置地區利益 (白色箱子， fig.2 A) 何處放大與掃描探測顯微鏡 (fig.2 B， (選項) 的 C)
評定
想像 Ellipsometer 有這個好處它可能識別在構建的 SAMs 上的厚度變化與子單層垂直分辨率 (typ。 0.01 毫微米) 在實時，而這個範例可以由有一個自動轉換階段的運算符移動。 相反掃描探測微寫器需要準備、優化和記錄的許多分鐘。 SPMs 產物人工製品，當瀏覽大視野時 (80 ¦Ìm 如在 fig.2 B) 由於範例曲度和非線性壓電回應。 在 fig.2 B 往左右邊緣的增長的信號是人工製品，做搜索與 nm 步驟範圍的結構非常困難與 SPM。 即為了識別在層的 nm 步驟與 SPM 由一個防振階段消滅振動也是必要的，為 ellipsometry 不是需要的。 亞顯微側向解決方法
ellipsometer 由光學衍射極限 (大約 1 ¦Ìm) 限制。 被校準的 SPM 和 ellipsometer，在層的兩評定步長非常精密地。 仅 ellipsometer 可能绝對評定厚度，不用需要對於在層的一個步驟。 為此 ellipsometer 評定一移相 Delta，與單層厚度是按比例。 比率性常數
厚度評定
ellipsometer 不可能绝對評定這個厚度，當折射率的區別小於 0.01 時，可以是實際情形在普通的玻璃的 SAMs。 當 SAM 的折射率和這個基體知道時，绝對厚度評定為在引人入勝的基體，即金子和硅的 SAMs 總是可能的。 為了校準映射 (fig.2 A) 典型的值的厚度縮放比例為折射率假設。 .jpg)
在金子，厚度映射 (A， 5x 目的， 1 個最少的記錄時間) 的 Microcontact 被打印的硫烴，掃描有 15 Min. 的探測微寫器記錄時間 (B， 80 ¦Ìm x 80 ¦Ìm，與白色箱子相應用 A 和 C， 10 ¦Ìm x 10 ¦Ìm，與在 B) 的白色箱子相應
結果
結論
想像 Ellipsometer EP3 比 SPM 快速地識別步驟在單層和用較少工作成績。 仅想像 ellipsometer 可能根據這個目的記錄與視野的厚度映射在 0.1 和 2 mm 之間。 要迅速移動到與亞顯微側向解決方法的 ellipsometric 圖像 SPM 很好是適當。 掃描探測 ellipsometric 顯微鏡 (SPEM)統一 SPM 和 EP3 在一臺儀器。 EP3 和 SPEM 是完全適當分析構建的 SAMs。 .jpg)
在金子，根據厚度映射 (fig.2 A) 的厚度配置文件的 Microcontact 被打印的硫烴
鳴謝
參考
[1] J.L. Wilbur， A. Kumar， E. 金， G.M. Whitesides，由自被彙編的單層，副詞 Microcontact 打印的 Microfabrication。 Mater。，第6捲， 600 (1994)
[2] 在微陣列的標記自由的檢測由等 M.Vaupel， P. 181-207，在微陣列技術和其應用、 U.R.M ¹ ller 和 D.V. Nicolau (編輯。)，蹦跳的人 (2005)，國際標準書號 3-540-22931-0
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