Carbón Creciente Nanotube y Materiales de Nanowire con la grandes Precisión y Repetibilidad Usando La Herramienta del Incremento de Nanotube del Carbón de NanoGrowth 1000n de Surrey NanoSystems

Temas Revestidos

Antecedentes

La Deposición y el Plasma de Vapor Químico Aumentaron Capacidad de Tramitación del CVD

Herramienta del Incremento de Nanotube del Carbón

Opciones de la Extensión

Antecedentes

NanoGrowth 1000n es una herramienta extremadamente versátil y probada para crecer los materiales del nanotube y del nanowire del carbón con la grandes precisión y repetibilidad. Convertido expreso para las aplicaciones de Nanotube del Carbón, con la investigación innovadora por el Instituto de la Tecnología Avanzada (ATI), y el plasma marginal que tramita conocimientos técnicos de Surrey NanoSystems, la herramienta provee de la comunidad de la investigación y desarrollo un sistema altamente práctico del incremento de Nanotube del Carbón, y viene con recetas de proceso probadas.

La Deposición y el Plasma de Vapor Químico Aumentaron Capacidad de Tramitación del CVD

Como patrón, el NanoGrowth 1000n viene con la capacidad de tramitación del CVD (deposición de vapor químico) y de PECVD (CVD plasma-aumentado). Estas dos técnicas proporcionan a la gran flexibilidad para los utilizadores, permitiendo incremento material en las temperaturas “estándar” en y alrededor 500-1000 del rango de los grados C, e incremento en temperaturas más bajas. Una amplia gama de la extensión y de opciones del catalizador (véase abajo) proporciona a la flexibilidad enorme del incremento y de las aplicaciones materiales para los utilizadores.

Cuadro 1.

Herramienta del Incremento de Nanotube del Carbón

La adición de NanoGrowth (TM) ToolIn a ser una herramienta del incremento de Nanotube del Carbón del diseñar-para-propósito, Surrey NanoSystems ha desarrollado un sistema de mando y un interfaz antropomecánico que permite a utilizadores con el conocimiento limitado del tramitación basado plasma o del equipo del CVD para utilizar la herramienta fácilmente y eficazmente. Este atributo proviene NanoSoft™, una interfaz de la pantalla táctil SCADA (mando y de adquisición de datos de supervisión). NanoSoft utiliza el “IMITADOR” y otras visualizaciones altamente gráficas de la herramienta para proporcionar a mando fino sobre todos los escenarios del tramitación. Proporcionan los Utilizadores típicamente los programas de tramitación listos para utilizar, que proporcionan a los modelos de la receta que se pueden adaptar fácilmente por los utilizadores para sus propias aplicaciones. Los Utilizadores también tienen mando manual completo de la herramienta, y pueden crear sus propios procesos de encargo usando una interfaz de usuario controlada por menú para controlar los flujos del gas, voltaje y los niveles actuales, la potencia del RF, las temperaturas, el datalogging, el tender y el tratamiento por lotes Sofisticados Etc. que siguen su trayectoria recursos ayudan a utilizadores a desarrollar y a documentar sus propios procesos, para optimizar las recetas para la producción comercial. Este software ha sido campo probado en las herramientas científicas de la fino-película por más de seis años, y es común al rango completo de NanoGrowth.

Opciones de la Extensión

La Herramienta de NanoGrowth (TM) La configuración de dotación física detrás de las ventajas de NanoGrowth a partir de muchos años de diseñar y de fabricar las herramientas de gama alta de la película fina para el revelado y la producción, y es altamente modular, permitiendo que los utilizadores desplieguen la herramienta en gran medida, incluyendo:

módulos Interno-Ajustados (cualquiera o todos los puede ser ajustado):

·         Transportador Auto del fulminante (carga/bloqueo) - automatización para utilizar aplicaciones de la alto-producción

·         Chisporrotee el grabado de pistas del ión - proporcionar a capacidad integrada de la aguafuerte

·         Salida del catalizador del vapor de la Sublimación - permitiendo que esta única herramienta introduzca los catalizadores de la fase de vapor tales como ferrocene (la nota que metal los catalizadores puede estar también sea manipulada por el Catalizador de NanoGrowth)

opciones Acceso-Interconectadas (solamente una se puede conectar en cualquier momento):

·         ICP (plasma inductivo acoplada) - otro proceso del plasma que proporciona a otro grado de adaptabilidad sobre la deposición

·         PECVD para los materiales del silicio - permitiendo que esta única herramienta crezca otros materiales (Si, SiO2, SiNx…)

(La Nota que los utilizadores pueden instalar/quitan/reinstalación todas las opciones ellos mismos, a excepción del transporte del fulminante.)

Fuente: Surrey

Para más información sobre esta fuente visite por favor Surrey Nanosystems

Date Added: Oct 8, 2007 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 15:19

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