| WITec는 광학 및 스캐닝 탐사기 현미경 검사법을 위한 새로운 해결책에 집중된 과학 및 산업 응용을 위한 고성능 기계 사용의 제조자입니다. 소개 스탠포드 대학에 교수의 Brongersma Photonics Nanoscale 전자공학 그리고 단의 연구 이 구조물은 금속 표면에 플라스몬 흥분의 유일한 사건 광양자의 파장 보다는 더 작은 가늠자에 빛 수감하고, 전달하고 조작하기의 가능성을 멀리 제공하기 위하여 속성을 이용합니다. 통신 채널을 제공하는 나노 과학에 있는 미래 발달 나노 과학에 있는 미래 발달을 위해, 나노미터 수준에 제어 정보 및 에너지 수송을 허용하는 통신 채널을 제공하는 것이 필수적 입니다. 아닌 하찮은 업무가 칩에 nanoscale 장치의 거대한 수를 함께 연결할 수 있는 전자의 조밀한 통신망의 디자인은 상호 연락합니다. 금속의 피치 그리고 단면에 있는 감소는 초래합니다 상호 연락한 구조물의 RC 시간 상수 (지연)에 있는 현지 난방 그리고 증가를 상호 연락합니다. 광학 나타나지 않습니다 그 같은 문제를 상호 연락합니다. 더욱, 광학 있습니다 그들의 더 높은 동작 주파수 때문에 매우 더 높은 정보 수용력이 상호 연락합니다. 전통적인 광학 규모를 축소에 대한 문제는 상호 연락합니다 불행히도, 전통적인 광학은 잘 규모를 축소하지 않습니다 상호 연락합니다. 절연성 광학적인 분대의 감소는 크기로 빛의 회절 한계에 의해 기본적으로 제한됩니다. 회절에 의하여 한계 세트 저쪽에 개별적인 nanodevices와의 광학적인 상호 연락을 허용하는 기계장치를 제공하는 것은 굉장히 nanoscale 구조물의 정보 처리 기능을 확장할 것입니다. 금속 nanostructures는 수시로 전자와 광학적 성질의 이 현저하게 더 단단 프로세싱 속도의 꿈을 실현하기 위하여 문제점을 다루도록 정확한 배합을 정확하게 소유합니다. Cu와 알루미늄과 같은 전기 상호 연락에서 통용되는 금속은 지상 플라스몬 polaritons의 흥분을 허용합니다 (SPPs). SPPs는 금속 유전체 공용영역에 따라서 전파하는 전자기파이고 금속에 있는 자유로운 전자에 결합됩니다. Nanoscale 연구를 위한 WITec에서 기계 사용 이들을 조사하기 위하여는 지상 플라스몬 polaritons는 (SPPs), 교수의 Brongersma 단 WITec 스캐닝 nearfield 광학적인 현미경 alpha300 S.를 사용합니다. plasmonic 도파관에 실험을 위해, 스탠포드에 Photonics Nanoscale 전자공학 그리고 단은 광양자 스캐닝 터널을 파 현미경으로 alpha300 S를 변경했습니다 (PSTM). PSTM에서는, SPPs는 현미경 목적을 사용하여 구조물에 흥분 레이저를 집중해서 금속 구조물 또는 내부 연락에 따라서 흥분할 수 있습니다. SPPs의 번식은 WITec microfabricated SNOM 공가 탐사기를 사용하여 imaged 일 수 있습니다. 이 탐사기에는을 통해 빛이 광검출기로 뿌려지고, 집합되고, 그 후에 지시될 수 있는 광전 증배관과 같은 빈 각추 모양 끝의 정점에 이하 파장 가늠구멍 (대략 50 nm 직경)가 있습니다. 검출한 신호는 끝 밑에 현지 가벼운 강렬의 측정을 직접 제공하고, 금속 표면에 끝을 검사해서, SPPs의 번식은 imaged 일 수 있습니다. alpha300 S에 성취 할 수 있는 광학 해상은 50 - 100 nm의 범위 안에 입니다. 
숫자 1. (a) Bragg 격자판이 거짓말을 사용하여 (날조된 Au 필름의 SEM 심상은 떠났습니다). (b) 의 PSTM 심상은 SPP Bragg 격자판으로 금속 필름에 따라서 발사해 물결칩니다. (맞은) 정상 파동 간섭 무늬의 관측에 있는 Bragg 삐걱거리는 결과에서 SPP의 후방 반사. PSTM 최빈값에 있는 WITec Alpha300 S의 작동 PSTM 최빈값에 있는 alpha300 S의 작동은 모방한 Au 필름 (FIG. 1a)에 SPPs의 번식을 조사해서 설명될 수 있습니다. 여기에서, 집중된 이온살은 (FIB) SPP 파를 반영하는 것을 Bragg 격자판으로 봉사하는 일련의 평행한 강저를 정의하기 위하여 이용되었습니다. FIG. 1b 쇼 780 nm 파장 레이저로 흥분하고 Bragg 격자판으로 지시되는 SPP 파의 PSTM 심상. 심상에서 관찰되는 정상 파동 간섭 무늬에 있는 삐걱거리는 결과에서 SPP의 후방 반사. 실험의 이 모형에서, SPPs의 파장은 똑바른 방법에서 결정되고 이론과 비교될 수 있습니다. 유리 슬라이드에 지구를 생성하는 전자빔 석판인쇄술 전자빔 석판인쇄술은 50 nm에서 5 μm에 구역 수색하는 줄무늬 폭을 가진 SiO2 유리 슬라이드에 55 nm 두꺼운 Au 줄무늬를 생성하기 위하여 이용되었습니다. Au 줄무늬는 날조하기 쉽기 때문에 기본적인 도파관 수송 연구 결과에 대하 이상적, 산화하지 않으며, 전시합니다 Cu와 알루미늄에 품질로 유사한 plasmonic 반응을입니다 FIG. 2a는 SPPs가 다양한 폭의 금속 줄무늬에 발사될 수 있는 큰 Au 지역으로 이루어져 있는 전형적인 장치의 광학적인 현미경 사진을 보여줍니다. 250 nm 넓은 (SEM) 줄무늬의 스캐닝 전자 현미경 검사법 심상은 삽입물로 보입니다. 빨간 화살은 빛이 μm 넓은 줄무늬 1개로 집중된 레이저 반점에서 어떻게 발사되는지 개요로 보여줍니다. 3.0 μm에 따라서 780 nm와 전파에, 1.5 μm 및 0.5 μm 넓은 Au 줄무늬 흥분하는, Figs. 2b, 2c 및 제 2 SPPs의 쇼 PSTM 심상 각각. 3.0 μm 넓은 줄무늬는 미크론의 몇몇 10에 신호를 전파하기 위하여 이용될 수 있습니다. 
숫자 2. (a) 광학적인 전자빔 석판인쇄술에 의해 생성되는 큰 LaunchPad에 붙어 있는 Au 줄무늬의 소집을 가진 SiO2 기질의 현미경 검사법 심상. 빨간 화살은 μm 넓은 줄무늬 1개로의 발사를 SPP 설명합니다. (SPPs의 b, c 및 d) 3.0 μm에 따라서 780 nm와 전파에, 1.5 μm 및 0.5 μm 넓은 Au 줄무늬 흥분하는, PSTM 심상 각각. WITec Alpha300 S를 가진 달성된 개선 PSTM 최빈값에서 사용된 alpha300 S가, 더 복잡한 아키텍쳐의 plasmonic 구조물 그리고 장치에서 심상 SPP 번식에 가능합니다 직접 그들의 행동을 결정하기 위하여. 이것은 장치가 입출력 포트를 가진 비행 기록 장치로 보이는 photonic 장치를 위한 전형적인 특성 절차와 확실히 다릅니다. 그러한 경우에, 장치 작동은 출력 포트에 측정된 입력 포트에 제공된 다른 자극에 반응에서 추정됩니다. PSTM는 직접 상자 안쪽에 엿봄을 제안하는 plasmonic 장치의 안 작업을 관찰하기 위하여 방법을 제공해서 명확한 이점을 제공합니다. |