納米壓痕 在樣品表面的壓痕是流離失所的壓力探針的尖端應用。 應用“力-位移”依賴的分析提供了一個樣品的硬度在一個給定的點（圖1 ）數據。 分析曲線以及地形圖像，通過掃描縮進的樣品（圖2） 。  圖1。 裝卸曲線。 P - H -位移，載荷，S -接觸剛度。  圖2。 藍寶石表面與縮進。掃描尺寸：5 × 5微米 Sclerometry 不同於常見的矽原子力顯微鏡探針懸臂， 探頭 NTEGRA基於壓電陶瓷控制台Sclerometry具有更大的硬度（104-105牛頓/米） 。 這使得武力的程度，適用於樣本比普通原子力顯微鏡系統要大得多 。 Nanoscratching Nanoscratching是一種技術基礎上，在樣品表面的划痕，並測量其參數：深入，尤其是寬度。 這給出了一個定量評估材料的硬度（圖3，4）的機會 。 在某些情況 下所取得的成果可以提供超過壓痕獲得的信息，因為一個從無到有的寬度，彈性恢復的結果，修改小於其深度。  圖3 三種不同深度，在石英劃傷。圖像尺寸4 × 4微米。  圖4 的曲線顯示了石英的划痕的深度和寬度。 Sclerometry，動態的非破壞性測試 探頭連接到僵硬，但靈活的懸臂，從而被迫探頭振盪幅度和頻率，可用於地形成像和測試材料的彈性性質（圖5） 。特別是，這種方法提供了在每個點掃描樣品的楊氏模量的量化值 。 由於高共振頻率的壓電陶瓷探頭，它是可能的地圖比硬度和彈性性能，具有較高的負載（如使用標準的壓痕技術快得多NTEGRA + Hysitron TriboScope ）。 另一方面，不像傳統的矽探針SPMS，一個NTEGRA基於Sclerometry允許測試非常硬的材料和薄膜（圖6） 。  圖5。 頻率的改變是一個探頭位置的功能記錄 。 一個曲線ΔF的斜率的特點楊氏模量的樣本 。  圖6 複合材料（金屬+ fullerite C60的）的圖像 。 平均粒徑〜0.4-0.8微米。圖像尺寸：3.5 × 3.5微米）的表面地形，B）的楊氏模量地圖。 NTEGRA基於Sclerometry 設計中使用的探頭NTEGRA基於Sclerometry允許使用各種預製提示：鑽石Berkovich提示，半導體金剛石提示等 基板薄膜附著力的調查可以認為納米摩擦學應用的一個例子。 納米摩擦學涉及的輔助力量的劃傷的電影和電影支隊或磨損（圖7）確定負載 。  圖7。 一絲了一個從無到有的45 °為導向，以碳納米管薄膜，垂直碳納米管斜坡 。 圖像尺寸：5.9 × 5.9微米 NTEGRA基於Sclerometry使我們能夠與各類型的電影工作在範圍寬（從幾納米到幾微米）的厚度和硬度。 為什麼是很重要的合併與SPM的納米壓痕？ 因為它有可能使一個SPM的圖像使用相同的探頭，它是必不可少的： 1。 查找縮進，輕載，這是非常小，很難看到與常規光學。 2。 精確的定量測量壓痕和劃傷參數和縮進發現缺陷（樁UPS等）。 3。 確保所需的對象來衡量的情況下，它具有體積小，是不是在光學技術，如納米粒子，對電影nanoscratches，等看到 掃描修改後的樣品具有相同的提示是精確的，因為縮進總是比針尖由於彈性恢復寬 NTEGRA平台 NTEGRA平台已專門設計整合不同的技術，以最終實現新的和獨特的材料測試方法 。 例如，共焦顯微拉曼光譜可用於可視化的壓力後，壓痕和nanoscratching（圖8） 。表面改性和考試既可以在同一台儀器。  圖8。 縮進和砷化鎵（一），拉曼光譜移（B，C）的映射獲得的壓力圖像的表面劃傷。 圖像尺寸：A）。 80 × 100微米; B）。 25 × 25微米; C）。 6 × 6微米。 NTEGRA + Hysitron TriboScope Hysitron TriboScope壓痕系統可以配備任何NTEGRA系統。它提供了高負荷（1N），可與各種商業探頭以及安裝NTEGRA - Sclerometry。以及可以進行非破壞性的動態測試和楊氏模量映射 。 sclerometry所有模式-壓痕，nanoscratching和納米摩擦學-可應用於與NTEGRA + Hysitron TriboScope集成測試。 原子力聲學顯微鏡（AFAM） AFAM背後的主要想法是AFM探針振盪的註冊，當懸臂尖端振盪的聲波成像sample.Simultaneously形式的地形，因為它是由接觸式AFM技術做接觸。 測繪的楊氏模量，不會造成樣本銷毀（既不是縮進，也不划痕表面上左）。 AFAM提供剛柔樣本成像鮮明的對比，而原子力顯微鏡技術（如相位成像和力量調製）僅適用於相對較軟的材料（圖9，11）的支持對比度 。  圖9 不同彈性低和高密度聚乙烯的條紋 。 掃描尺寸：47x47微米。 在某些情況 下可以可視化的樣品體積內內在非，對共性。它是可能的，因為整個標本是“震撼”聲的頻率和整個卷是在探頭的振盪（圖10）代涉及 。  圖10。 硬盤的表面。 AFAM地形（A）及（B）在中間的AFAM圖像的亮線，標誌著一種內在的裂紋，這是不可見地形圖像。 圖像尺寸：0.8x0.8微米。  圖11。 拋光的壓電陶瓷樣品 。 可以看出，AFAM獲得最佳的對比度。掃描尺寸：4X4微米。 原子力譜 推進由常規的原子力顯微鏡探針表面時，一個可以預期的線性關係彎曲的懸臂施加的力。這可能的情況下，如果樣品是絕對的，它是不是由探頭流離失所 。 實際上，軟樣品的力-距離曲線是非線性的。它的參數可以被用來計算表面上是流離失所，當一個特定的力施加何種程度。反過來，這是楊氏模量（圖12）的定量估計的路徑。 這種方法是成功的軟，很軟樣本，因為傳統的原子力顯微鏡的懸臂彈簧常數相對較小（通常不 超過10 2 個N / M ）。 懸臂，對於研究的活細胞和自然細胞器（圖13）等微妙對象，必須盡可能為軟，以防止大量的樣品變形。 在這種情況下，彈簧常數的典型值是10 -2 -10 -1 /米。  圖12。 力曲線，為材料的彈性性能的定量估計使用參數 。 F -負荷; D -懸臂位移; K -懸臂彈簧常數;δ -壓痕;ΔZ -樣品位移。  圖13。 楊氏模量，作為一個活細胞的表面，並在培養皿底部的估計。 細胞表面的一個點幾乎是另一個硬盤的兩倍，而在培養皿6個數量級更難。 掃描尺寸：25X25微米 技術比較 見表1。 | NTEGRA基於scleronmetry | 0.1-100 GPA | 破壞性和非破壞性 | 很難很難 | 200百萬 | NTEGRA + Hysitron Triboscope | 0.1-100 GPA | 破壞性和非破壞性 | 很難很難 | 1個N | AFAM股權 | 10kPa - 10GPa | 無損 | 剛柔 | - | 原子力顯微鏡 | 1千帕- 1 GPA | Desctructive及非破壞性 | 柔軟，非常柔軟 | 2分鐘 |
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