Défauts Caractériser et la contamination sur des plaquettes en utilisant l'expertise et l'équipement de la nanotechnologie
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 Thèmes abordés |
Contexte Inspection cristal plaquette par XRT Effets du traitement de surface sur silicium: Caractérisation XPS |
Contexte |
Mesure des micro et nanométriques et la caractérisation d'accélérer le développement de nouveaux produits de la conceptualisation initiale à l'évaluation et l'essai de prototypes et de fabrication de dispositifs finaux. Le Centre d'excellence en métrologie des Micro et Nano Technologies ( CEMMNT ) donne accès à l'équipement et l'expertise pour accélérer la commercialisation de produits comme l'illustrent les exemples suivants. Gaufrette Cristal Inspection par XRT La topographie aux rayons X (XRT) image d'un diamètre de 30 mm en carbure de silicium plaquette révèle dislocations, défauts de sub-surface et des joints de grains. XRT peut être appliqué pour l'imagerie déformée ou défectueux monocristaux et d'identifier les défauts de sub-surface et de la contrainte résiduelle dans les plaquettes et les appareils à motifs (Copyright QinetiQ).  Figure 1. Topographie aux rayons X des cartes de défauts cristallins dans une plaquette de carbure de silicium Effets du traitement de surface sur silicium: Caractérisation XPS X-spectroscopie de photoélectrons (XPS) spectres enquête à partir de wafers de silicium, permettant l'identification des contaminants de surface résiduelle après le traitement initial (tracé rouge), et confirmant dérivatisation après la réaction subséquente organosilane (traces vert et bleu). XPS est un outil efficace pour l'obtention d'une analyse de la composition ainsi que des informations de liaison chimique de la surface de quelques premières couches atomiques (jusqu'à une profondeur de nanomètres 5-10). Varier le décollage d'angle (TOA) permet des profondeurs de surface différentes à échantillonner au sein de cette gamme (données Copyright QinetiQ).  Figure 2. Spectres enquête rayons X Spectroscopie photoélectronique (XPS) de plaquettes de silicium, après pré-traitement (rouge) et la réaction avec organosilane (vert et bleu). |
Source: Le Centre d'excellence en métrologie des Micro et Nano Technologies (CEMMNT) Pour plus d'informations sur cette source s'il vous plaît visitez le Centre d'excellence en métrologie des Micro et Nano Technologies (CEMMNT) |
Last Update: 9. October 2011 15:23