Caractérisation des Défauts et de la Contamination sur les Disques Utilisant des Compétences de Nanotechnologie et le Matériel de CEMMNT

Sujets Couverts

Mouvement Propre

Inspection En Cristal de Disque par XRT

Effets de Préparation de Surface sur le Silicium : Caractérisation de XPS

Mouvement Propre

Le Micro et la mesure et la caractérisation de nanoscale accélèrent le développement des produits nouveaux de la conceptualisation initiale au bilan et au test des prototypes et la fabrication des dispositifs finaux. Le Centre D'excellence En Métrologie pour les Technologies Micro et Nanoes (CEMMNT) permet d'accéder au matériel et aux compétences pour accélérer la commercialisation de produit comme illustrée par les exemples suivants.

Inspection de Disque par XRT

L'image de Topographie (XRT) de Rayon X d'un disque de carbure de silicium de 30 millimètres de diamètre indique des dislocations, des défauts sous la surface et des joints de grain. XRT peut être appliqué pour les monocristaux faussés ou défectueux de représentation et recenser les défauts sous la surface et la tension résiduelle dans les disques et des dispositifs modelés (Droit d'auteur QinetiQ).

Le Schéma 1.

Effets de Préparation de Surface sur le Silicium : Caractérisation de XPS

Spectres d'enquête de la Spectroscopie de Photoélectron de Rayon X (XPS) des disques de silicium, permettant l'identification des contaminants extérieurs résiduels après que dérivatisation de traitement initial (traçage rouge), et de confirmation après la réaction ultérieure d'organosilane (traces vertes et de bleu). Le XPS est un outil pertinent pour obtenir une analyse ainsi qu'une information compositionnelles de métallisation de produit chimique des couches atomiques extérieures premières (profondeur de nanomètres jusqu'à 5-10). La cornière Variable de décollage (TOA) permet à différentes profondeurs extérieures d'être échantillonnées dans cette marge (les Données Garantissent Les Droits D'auteur QinetiQ).

Le Schéma 2.

Source : Le Centre D'excellence En Métrologie pour les Technologies Micro et Nanoes (CEMMNT)

Pour plus d'informations sur cette source visitez s'il vous plaît Le Centre D'excellence En Métrologie pour les Technologies Micro et Nanoes (CEMMNT)

Date Added: Feb 12, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:47

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