Suss Microtec, global leverandør af Semiconductor Produktion og Testudstyr

:: AZoNanotechnology artikel

Emnelisten

Baggrund
Nano-up din MA6 Mask Aligner Ny UV-NIL Toolset Aktiverer nm opløsning
Funktioner og fordele
UV-NIL: Fremtiden for Nanoimprinting

Baggrund

Suss Microtec maskiner anvendes af førende halvlederproducenter samt anerkendte forskningsinstitutter til at foretage og afprøve state-of-the-art mikrochips og sensorer. Mange af de produkter, du bruger i dit daglige liv, såsom PDA'er, GPS-systemer, mobiltelefoner osv. har på et tidspunkt blevet berørt af udstyr fra Suss Microtec .

Som en global leverandør af produktions-og testudstyr til halvleder-og beslægtede industrier Suss er især til stede på markeder, herunder Advanced Packaging , MEMS , Nanoteknologi, sammensat halvleder , Silicon-on-insulator og 3D Interconnect . Produkterne omfatter præcision litografi værktøjer ( maske aligners , spin-& spray coaters ), wafer bonders og testsystemer .

Nano-up din MA6 Mask Aligner Ny UV-NIL Toolset Aktiverer nm opløsning

Funktionerne i Suss MA6 / 8 Mask aligners er nu forbedret med nye værktøj, der giver dig mulighed for at opbygge strukturer med funktioner på nano-skala niveau. Det nye værktøj til enkeltsidet aftryk UV-NIL (nanoimprint litografi) kan felt opgraderes med meget begrænset indsats, der tilbyder en enkel opgraderingssti for Suss kunder at komme ind i nano verden.

Den Suss prægning teknologien understøtter en bred vifte af materialer såsom UV-lim, fotoresister eller polymerer.

Suss UV-NIL forbedret aligners er i stand til at udskrive modstå tykkelser fra mindre end 100 nm til et par hundrede mikrometer med en udskrivningsopløsning ned til nogle få nm (stempel afhængige). In-situ toppen eller i bunden justering og specifikke UV-hærdende bølgelængder kan vælges. Typisk stempel eller formen er lavet af UV-gennemsigtigt materiale som kvarts. Uigennemsigtige frimærker såsom Ni eller Si kan også bruges sammen med UV-transparent vafler.

Figur 1. Suss Microtec Logo trykt i Amonil MMS 4 på en Suss MA6 Mask Aligner

Figur 2. Forstørret dele af ovenstående Suss logo

Figur 3. SEM måling af en port finger for et felt effekt transistoren lavet af polysilicium. Præget af SET NPS300 Stepper, bredde: 100nm Konventionelle UV-litografiske strukturering af dræn og kilde regioner ved Suss MA6 Mask Aligner Courtesy Fraunhofer IISB, Tyskland

Figur 4. Nøglen til fremtiden! Suss skabelon holder og borepatron til nanoimprint litografi giver print resolutioner i nanometer området

Funktioner og fordele

• Ny UV-NIL værktøjssæt kan nu nemt fieldinstalled på Suss MA6/MA8 Mask aligners
• Variabel stempel og substrat størrelser giver størst proces fleksibilitet
• Nem og hurtig skift mellem UV-litografi og nanoimprint litografi
• "Modstå" tykkelse fra <100 nm til få 100μm
• In-situ sub-μm tilpasning for højeste tilpasning præcision
• Fuldt kontrolleret udskrivning cyklus (tryk, distance, hastighed, parallelt separation) med minimeret operatørindgreb
• Højeste nivellering præcision og restlag ensartethed

UV-NIL: Fremtiden for Nanoimprinting

Lavpris produktion UV-NIL løsninger til nanostrukturer i udviklingen i dag kan være den gør det muligt for teknik til næste generation af halvledere, MOEMS og optoelektroniske teknologi. Især har nanoimprint litografi og dens variationer er udviklet som et omkostningseffektivt alternativ til høj opløsning e-beam litografi for at udskrive sub-50 nm geometrier (opløsning afhænger af frimærker og modstå).

UV-NIL er en nanoimprint metode, der er baseret på UV-hærdning. Afhængig af krav til ansøgningen, er UV-følsom polymer belagt efter eller før justeringen. Efter stempel / skabelon er blevet jævnet med underlaget og trykt i væsken UVNIL materiale med en kontrolleret kraft og hastighed, UV-hærdende hærder harpiksen. Dernæst er det stempel / template adskilt fra imprintede substrat, der producerer en hærdet kopi af det stempel på overfladen af ​​underlaget.

Figur 5. Kombinationen af ​​troværdige, alsidige Suss MA6 og MA8 Mask aligners med NIL teknologier gør en økonomisk og innovativ pakke til R & D

Suss Microtec er en global leverandør af produktions-og testudstyr til halvlederindustrien. Vores produkter omfatter præcision litografi værktøjer, wafer bonders samt testsystemer. Vores engagement i overlegen ydelse, omkostningseffektive løsninger og et højt niveau af kundeservice gør Suss et marked og teknologisk førende.

En verdensomspændende service og support netværk på mere end 30 lokale repræsentanter er klar til at hjælpe dig med ethvert aspekt af din wafer behandling og testning behov. Fra installation til uddannelse og rutinemæssig vedligeholdelse til kundetilpassede løsninger, er vi der for dig. Det er blot endnu et eksempel på vores løsninger fastsættelse af standarder.

Kilde: Suss Microtec
For mere information om denne kilde kan du besøge Suss Microtec