Suss MicroTec, Pemasok Global Produksi Semikonduktor dan Peralatan Uji

:: AZoNanotechnology Pasal

Daftar Topik

Latar belakang
Nano-up MA6 Masker Anda Aligner UV-NIL Baru Memungkinkan toolset Resolusi nm
Fitur dan Manfaat
UV-NIL: Masa Depan nanoimprinting

Latar belakang

Suss MicroTec mesin yang digunakan oleh produsen semikonduktor serta lembaga penelitian terkenal untuk membuat dan menguji negara-of-the-microchip seni dan sensor. Banyak dari produk yang Anda gunakan dalam kehidupan sehari-hari Anda seperti PDA, sistem GPS, ponsel dll memiliki suatu tersentuh oleh peralatan dari Suss MicroTec .

Sebagai pemasok global produksi dan alat uji untuk industri semikonduktor dan terkait Suss terutama hadir di pasar termasuk Advanced Packaging , MEMS , Nanoteknologi, Compound Semiconductor , Silicon-On-Insulator dan Interconnect 3D . Produk termasuk alat litografi presisi ( aligners topeng , berputar & semprot coaters ), pengikat wafer dan sistem pengujian .

Nano-up MA6 Masker Anda Aligner UV-NIL Baru Memungkinkan toolset Resolusi nm

Kemampuan Suss MA6 / 8 Aligners Topeng sekarang ditingkatkan dengan perkakas baru yang memungkinkan Anda untuk membangun struktur dengan fitur pada tingkat skala nano. Tooling baru untuk menanamkan satu sisi UV-NIL (Litografi Nanoimprint) dapat ditingkatkan dengan bidang usaha yang sangat terbatas, menawarkan jalur upgrade yang mudah bagi Suss pelanggan untuk memasuki dunia nano.

Para Suss teknologi pencetakan mendukung berbagai bahan seperti lem UV, photoresists atau polimer.

Suss UV-NIL aligners ditingkatkan mampu mencetak menolak ketebalan dari kurang dari 100 nm sampai beberapa ratus beberapa mikron dengan resolusi pencetakan ke beberapa nm (cap tergantung). In-situ atas atau sisi bawah keselarasan dan spesifik panjang gelombang UV-curing dapat dipilih. Biasanya cap atau cetakan terbuat dari bahan transparan UV seperti kuarsa. Perangko buram seperti Ni atau Si juga dapat digunakan dengan UV-transparan wafer.

Gambar 1. Suss MicroTec Logo dicetak dalam Amonil MMS 4 pada Suss MA6 Masker Aligner

Gambar 2. Pembesaran bagian logo Suss atas

Gambar 3. SEM pengukuran jari gerbang untuk transistor efek medan terbuat dari polysilicon. Dicetak oleh SET NPS300 Stepper, lebar: 100nm UV-litograf konvensional penataan daerah drain dan source dengan Suss Aligner MA6 Masker Courtesy Fraunhofer IISB, Jerman

Gambar 4. Kunci untuk masa depan! Template Suss pemegang dan chuck untuk Nanoimprint Litografi memungkinkan resolusi cetak dalam rentang nanometer

Fitur dan Manfaat

• Baru UV-NIL toolset sekarang dapat dengan mudah fieldinstalled pada Suss MA6/MA8 Aligners Masker
• Cap variabel dan ukuran substrat memungkinkan fleksibilitas proses tertinggi
• Mudah dan cepat beralih antara UV-litografi dan litografi nanoimprint
• "Resist" ketebalan dari <100 nm sampai beberapa 100μm
• Di situ sub-pM alignment untuk penyelarasan presisi tertinggi
• Sepenuhnya dikendalikan mencetak siklus (tekanan, jarak, kecepatan, pemisahan paralel) dengan intervensi operator diminimalkan
• Meratakan tertinggi presisi dan keseragaman lapisan residu

UV-NIL: Masa Depan nanoimprinting

Biaya produksi rendah UV-NIL solusi untuk struktur nano dalam pengembangan saat ini mungkin bisa teknik memungkinkan untuk semikonduktor generasi berikutnya, dan teknologi optoelektronik MOEMS. Secara khusus, nanoimprint litografi dan variasinya telah dikembangkan sebagai alternatif biaya-efektif untuk resolusi tinggi e-beam lithography untuk mencetak sub-50 nm geometri (resolusi bergantung pada perangko dan menolak).

UV-NIL adalah metode nanoimprint yang didasarkan pada UV-curing. Tergantung pada persyaratan aplikasi, UV-sensitif polimer dilapisi setelah atau sebelum keselarasan. Setelah cap / template telah diratakan dengan substrat dan dicantumkan ke dalam materi UVNIL cairan dengan kekuatan dan kecepatan terkontrol, UV curing resin mengeras. Selanjutnya, cap / template dipisahkan dari substrat dicetak, menghasilkan replika mengeras cap pada permukaan substrat.

Gambar 5. Kombinasi handal, Suss serbaguna MA6 dan Aligners Masker MA8 dengan teknologi NIL membuat paket ekonomis dan inovatif untuk R & D

Suss MicroTec adalah pemasok global produksi dan alat uji untuk industri semikonduktor. Produk kami meliputi alat litografi presisi, pengikat wafer serta sistem uji. Komitmen kami untuk kinerja yang unggul, solusi biaya-efektif dan tingkat tinggi layanan pelanggan membuat Suss pemimpin pasar dan teknologi.

Sebuah layanan di seluruh dunia dan jaringan dukungan lebih dari 30 perwakilan lokal siap membantu Anda dengan segala aspek dari pemrosesan wafer dan kebutuhan pengujian. Dari instalasi untuk pelatihan dan pemeliharaan rutin untuk solusi khusus, kami ada untuk Anda. Itu hanya contoh lain dari solusi kami menetapkan standar.

Sumber: Suss MicroTec
Untuk informasi lebih lanjut tentang sumber ini silakan kunjungi Suss MicroTec