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SUSS MicroTec 의 반도체 생산과 시험 장비의 글로벌 공급자

토픽 명부

배경
Nano 위로 MA6 가면 동기기 새로운 UV-NIL 연장 세트는 nm 해결책을 가능하게 합니다
특징과 이득
UV-NIL: Nanoimprinting의 미래

배경

SUSS MicroTec 기계는 주요한 반도체 제조자 뿐 아니라 명망이 있던 연구소에 의해 최신식 마이크로 칩 및 센서를 만들고 시험하기 위하여 사용됩니다. 당신이 PDA와 같은 일상 생활에서 이용하는 제품의 많은 것 GPS 시스템, 언젠가에 등등이 SUSS MicroTec에서 장비에 의해 만져진 셀룰라 전화.

반도체를 위한 생산 그리고 시험 장비의 글로벌 공급자 및 관련 기업으로 SUSS는 향상된 포장, MEMS, 나노 과학, 합성 반도체, 실리콘 온 인슐레이터3D 내부 연락을 포함하여 시장에서 특히 나타나. 제품은 정밀도 석판인쇄술 공구 (가면 동기기, 회전급강하 & 살포 coaters), 웨이퍼 bonders시험 시스템을 포함합니다.

Nano 위로 MA6 가면 동기기 새로운 UV-NIL 연장 세트는 nm 해결책을 가능하게 합니다

SUSS MA6/8 가면 동기기의 기능은 지금 nano 가늠자 수준에 특징을 가진 구조물을 건설하는 가능하게 하는 새로운 장식새김으로 강화됩니다. 단 하나 편들어진 인장 UV-NIL (Nanoimprint 석판인쇄술)를 위한 새로운 장식새김은 nano 세계를 입력하기 위하여 SUSS 고객을 위한 똑바른 향상 경로를 제안하는 아주 한정된 노력으로 필드-업그레이드될 수 있습니다.

기술 지원을 찍는 SUSS UV 접착제 감광저항 또는 중합체와 같은 다양한 물자.

SUSS UV-NIL에 의하여 강화된 동기기는 약간에 인쇄 nm (우표 종) 도 할 수 있습니다 저항합니다 간격을에서 100 이하 nm에 아래로 인쇄 해결책을 가진 몇백개 미크론. 제자리 상단 또는 밑바닥 옆 줄맞춤 및 특성 UV 치료 파장은 선정될 수 있습니다. 전형적으로 우표 또는 형은 석영 같이 UV 투명한 물자로 만듭니다. Ni Si와 같은 불투명한 우표는 또한 UV 투명한 웨이퍼와 함께 이용될 수 있습니다.

Amonil MMS 4에서 인쇄되는 SUSS MA6 가면 동기기에 숫자 1. SUSS MicroTec 로고

숫자 2.는 SUSS 로고의 위의 단면도를 확대했습니다

숫자 3. polysilicon로 만드는 전계효과 트랜지스터를 위한 문 핑거의 SEM 측정. 댄서 S.E.T NPS300에 의해 찍는, 폭: SUSS MA6에 의하여 하수구와 근원 지구의 100nm 전통적인 UV 석판 인쇄 구축은 동기기 의례 Fraunhofer IISB, 독일을 복면합니다

숫자 4. 미래에 키! Nanoimprint 석판인쇄술을 위한 SUSS 템플렛 홀더 그리고 물림쇠는 나노미터 범위에 있는 해결책을 인쇄하는 허용합니다

특징과 이득

  • 새로운 UV-NIL 연장 세트는 지금 SUSS MA6/MA8 가면 동기기에 쉽게 fieldinstalled 할 수 있습니다
  • 변하기 쉬운 우표와 기질 규모는 가장 높은 가공 융통성을 허용합니다
  • UV 석판인쇄술과 nanoimprint 석판인쇄술 사이 쉽고 단단 엇바꾸기
  • < 100 nm에서 몇몇 100µm에 간격을 "저항하십시오"
  • 가장 높은 줄맞춤 정밀도를 위한 제자리 이하 µm 줄맞춤
  • 극소화된 통신수 내정간섭을 가진 완전히 통제되는 인쇄 주기 (압력, 거리, 속도, 평행한 별거)
  • 가장 높은 수평하게 하는 정밀도 및 잔여 층 균등성

UV-NIL: Nanoimprinting의 미래

발달에 있는 nanostructures를 위한 저가 생산 UV-NIL 해결책은 오늘 차세대 반도체, MOEMS 및 광전자 공학 기술을 위한 가능하게 하는 기술일지도 모릅니다. 특히, 이하 50 nm 기하학을 인쇄하기 위하여 nanoimprint 석판인쇄술과 그것의 변이는 때문에 고해상도 e 光速 석판인쇄술에 비용 효과적인 대안 개발되기 (해결책은 우표에 달려 있고 저항합니다).

UV-NIL는 UV 치료에 근거를 두는 nanoimprint 방법입니다. 애플리케이션 요건에 따라서, UV 과민한 중합체는 줄맞춤 후에 또는의 앞에 입힙니다. 우표/템플렛이 기질에 수평하게 하고 조종력 및 속도를 가진 유동성 UVNIL 물자로 찍힌 후에, UV 치료는 수지를 강하게 합니다. 다음으로, 우표/템플렛은 찍힌 기질에서 분리되, 기질의 표면에 우표의 강하게 한 복사를 일으키.

숫자 5. 없음 기술과의 믿을 수 있는, 다재다능한 SUSS MA6와 MA8 가면 동기기의 조합은 연구 및 개발을 위한 경제 및 혁신적인 포장을 만듭니다

SUSS MicroTec는 반도체 산업을 위한 생산 그리고 시험 장비의 글로벌 공급자입니다. 우리의 제품은 정밀도 석판인쇄술 공구, 웨이퍼 bonders 뿐 아니라 시험 시스템을 포함합니다. 우량한 성과에 우리의 투입, 소비자 봉사의 비용 효과적인 해결책 및 상부는 SUSS에게 시장과 기술 지도자를 만듭니다.

매우 30명의 현지 담당자의 세계적인 서비스 와 지원 통신망은 웨이퍼 가공 및 시험 필요의 어떤 양상든지에 지원하게 준비되어 있습니다. 임명에서 교육훈련에 일상적인 정비 주문을 받아서 만들어진 해결책에, 우리는 당신을 위해 거기 있습니다. 표준규격을 설정하는 우리의 해결책의 다만 또 다른 보기입니다.

근원: SUSS MicroTec
이 근원에 추가 정보를 위해 SUSS MicroTec를 방문하십시오

Date Added: Apr 10, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 18:04

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