There is 1 related live offer.

5% Off SEM, TEM, FIB or Dual Beam

SUSS MicroTec, Globale Leverancier van de Productie van de Halfgeleider en de Apparatuur van de Test

De Lijst van het Onderwerp

Achtergrond
Nano-Op uw MA6 Aligner van het Masker Nieuwe Laat Toolset van de uv-NUL NM- Resolutie toe
Eigenschappen en Voordelen
Uv-NUL: De Toekomst van Nanoimprinting

Achtergrond

De machines SUSS worden MicroTec gebruikt door belangrijke halfgeleiders fabrikanten evenals beroemde onderzoekinstituten om overzichtsmicrochips en sensoren te maken en te testen. Veel van de producten u gebruiken in uw dagelijks leven zoals PDA, de systemen van GPS, hebben de celtelefoons enz. bij ooit geraakt door apparatuur van SUSS MicroTec.

Aangezien een globale leverancier van productie en testapparatuur voor de halfgeleider en de verwante industrieën SUSS in markten met inbegrip van Geavanceerde Verpakking vooral aanwezig zijn, Verbinden MEMS, Nanotechnologie, de Halfgeleider van de Samenstelling, Silicon-On-Insulator en 3D onderling. De Producten omvatten de hulpmiddelen van de precisielithografie (maskeraligners, rotatie & nevelcoaters), wafeltjebonders en proefsystemen.

Nano-Op uw MA6 Aligner van het Masker Nieuwe Laat Toolset van de uv-NUL NM- Resolutie toe

De mogelijkheden van Aligners van het Masker worden SUSS MA6/8 nu verbeterd met het nieuwe bewerken die u toelaat om structuren met eigenschappen op het nano-schaalniveau te bouwen. Het nieuwe bewerken voor enige opgeruimde afdruk uv-NUL (Lithografie Nanoimprint) kan gebied zijn promotie met zeer beperkte inspanning, die een ongecompliceerde verbeteringsweg voor klanten SUSS aanbieden om de nano wereld in te gaan.

SUSS die technologie stempelen steunt een verscheidenheid van materialen zoals UVlijm, photoresists of polymeren.

Uv-NUL verbeterde zijn aligners SUSS geschikt voor druk verzetten zich tegen dikten van minder dan 100 NM aan een paar honderd microns met een drukresolutie neer aan een paar NM (afhankelijke zegel). Bovenkant of bodem de zijgroepering In situ en de specifieke uv-Geneest golflengten kunnen worden geselecteerd. Typisch worden de zegel of de vorm gemaakt van UV transparant materiaal zoals kwarts. De Ondoorzichtige zegels zoals Ni of Si kunnen ook met uv-Transparante wafeltjes worden gebruikt.

Figuur 1. Embleem SUSS MicroTec in Amonil MMS 4 op MA6 Aligner van het Masker wordt afgedrukt dat SUSS

Figuur 2. Vergrote secties van bovengenoemd embleem SUSS

Figuur 3. De meting van SEM van een poortvinger voor een gebiedseffect transistor van polysilicon wordt gemaakt die. Gestempeld door S.E.T NPS300 Stepper, breedte: 100nm het Conventionele uv-Lithografische structureren van de afvoerkanaal en brongebieden door SUSS MA6 Aligner van het Masker Hoffelijkheid Fraunhofer IISB, Duitsland

Figuur 4. De sleutel tot de toekomst! SUSS de de malplaatjehouder en klem voor Lithografie Nanoimprint staan toe afdrukkend resoluties in de nanometerwaaier

Eigenschappen en Voordelen

  • Nieuwe toolset van de uv-NUL kan nu gemakkelijk zijn fieldinstalled op Aligners van het Masker SUSS MA6/MA8
  • De Veranderlijke zegel en substraatgrootte staat hoogste procesflexibiliteit toe
  • Gemakkelijke en snelle omschakeling tussen uv-Lithografie en nanoimprint lithografie
  • „Verzet me“ tegen dikte van < 100 NM aan weinig 100µm
  • Groepering sub-µm In situ voor hoogste groeperingsprecisie
  • Volledig gecontroleerde afdrukkende cyclus (druk, afstand, snelheid, parallelle scheiding) met geminimaliseerde exploitantinterventie
  • Hoogste nivellerende precisie en overblijvende laaguniformiteit

Uv-NUL: De Toekomst van Nanoimprinting

De oplossingen van de uv-NUL van de Lage kostenproductie voor nanostructures in ontwikkeling kunnen vandaag de machtigingstechniek voor volgende generatiehalfgeleider, MOEMS en optoelectronic technologie zijn. In het bijzonder, nanoimprint zijn de lithografie en zijn variaties ontwikkeld als rendabel alternatief voor high-resolution e-straal lithografie aan af:drukken sub 50 NMmeetkunde (de resolutie hangt van zegels af en verzet tegenzich).

De uv-NUL is een nanoimprintmethode die bij uv-Geneest gebaseerd is. Afhankelijk van toepassingsvereisten, is het uv-Gevoelige polymeer met een laag bedekt na of vóór de groepering. Nadat de zegel/het malplaatje aan het substraat zijn genivelleerd en in het vloeibare materiaal UVNIL met een gecontroleerde kracht en een snelheid gestempeld, het UV verhardt genezen de hars. Daarna, zijn de zegel/het malplaatje gescheiden van het gestempelde substraat, die een vaste vorm gegeven replica van de zegel op de oppervlakte van het substraat veroorzaken.

Figuur 5. De combinatie van betrouwbare, veelzijdige SUSS MA6 en MA8 Aligners van het Masker met de technologieën van de NUL maakt een economisch en innovatief pakket voor R&D

SUSS MicroTec is een globale leverancier van productie en testapparatuur voor de halfgeleiderindustrie. Onze producten omvatten de hulpmiddelen van de precisielithografie, wafeltjebonders evenals proefsystemen. Onze verplichting aan superieure prestaties, rendabele oplossingen en de hoge niveaus van de klantendienst maken tot SUSS een markt en technologieleider.

Een de dienst en steunnetwerk wereldwijd van meer dan 30 lokale vertegenwoordigers is klaar om u bij om het even welk aspect van uw wafeltje verwerking en het testen behoeften te helpen. Van installatie aan opleiding en routineonderhoud aan aangepaste oplossingen, zijn wij daar voor u. Het is enkel een ander voorbeeld van onze oplossingen die normen bepalen.

Bron: SUSS MicroTec
Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve SUSS MicroTec

Date Added: Apr 10, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:43

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit