SUSS MicroTec, fornecedor global de produção de semicondutores e equipamentos de teste

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Nano-up seu MA6 Máscara alinhador New Toolset UV-NIL Ativa Resolução nm
Características e Benefícios
UV-NIL: O Futuro da nanoimpressão

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SUSS MicroTec máquinas são utilizadas pelos principais fabricantes de semicondutores, bem como institutos de pesquisa de renome para fazer e testar state-of-the art microchips e sensores. Muitos dos produtos que você usa em sua vida diária, tais como PDAs, sistemas de GPS, telefones celulares etc, em algum momento foi tocado por equipamento de SUSS MicroTec .

Como um fornecedor global de produção e equipamentos de teste para as indústrias de semicondutores e relacionados SUSS é especialmente presente em mercados como Advanced Packaging , MEMS , Nanotecnologia, semicondutores compostos , Silicon-On-Insulator e Interconnect 3D . Os produtos incluem ferramentas de precisão litografia ( alinhadores máscara , coaters girar e spray ), wafer bonders e sistemas de teste .

Nano-up seu MA6 Máscara alinhador New Toolset UV-NIL Ativa Resolução nm

As capacidades de SUSS MA6 / 8 alinhadores Máscara estão agora reforçada com novas ferramentas que lhe permite construir estruturas com características ao nível nano-escala. A novas ferramentas para impressão frente e verso único UV-NIL (litografia de nanoimpressão) pode ser atualizado em campo com um esforço muito limitado, oferecendo um caminho de atualização simples para SUSS clientes para entrar no mundo nano.

O SUSS tecnologia imprinting suporta uma variedade de materiais como cola UV, fotorresistentes ou polímeros.

SUSS UV-NIL alinhadores maior são capazes de resistir a impressão de espessuras de menos de 100 nm para algumas centenas de microns com uma resolução de impressão para baixo a um nm poucos (carimbo dependente). In-situ top ou alinhamento lado inferior e específicos de cura UV comprimentos de onda pode ser selecionado. Tipicamente, o selo ou molde é feito de material transparente UV como o quartzo. Selos opacos tais como Ni ou Si também pode ser usado com UV-transparente wafers.

Figura 1. Logo SUSS MicroTec impresso em Amonil MMS 4 em um MA6 SUSS Máscara alinhador

Figura 2. Seções alargada do logotipo SUSS acima

Figura 3. SEM medição de um dedo portão para um transistor de efeito de campo feita de silício policristalino. Impresso pela SET NPS300 Stepper, width: 100 nm UV-estruturação litografia convencional das regiões de dreno e fonte, SUSS MA6 Máscara alinhador Cortesia IISB Fraunhofer, na Alemanha

Figura 4. A chave para o futuro! SUSS titular modelo e chuck para litografia de nanoimpressão permitir resoluções de impressão em escala nanométrica

Características e Benefícios

• Conjunto de ferramentas de UV-NIL novas podem agora ser facilmente fieldinstalled em SUSS MA6/MA8 alinhadores Máscara
• Selo variável e tamanhos substrato flexibilidade maior processo
• Troca fácil e rápida entre UV litografia e litografia de nanoimpressão
• "Resist" espessura de <100 nm para 100μm poucos
• Em alinhamento sub-M situ para maior precisão o alinhamento
• Ciclo de impressão totalmente controlada (pressão, velocidade, distância, separação paralelo) com a intervenção do operador minimizado
• Maior precisão de nivelamento e uniformidade da camada residual

UV-NIL: O Futuro da nanoimpressão

Baixo custo de produção UV-NIL soluções para nanoestruturas em desenvolvimento hoje pode ser a técnica favorável para semicondutores da próxima geração, MOEMS e tecnologia optoeletrônicos. Em particular, litografia de nanoimpressão e suas variações têm sido desenvolvidos como uma alternativa rentável para litografia de alta resolução e-beam para imprimir sub-50 geometrias nm (resolução depende de selos e resistir).

UV-NIL é um método de nanoimpressão que se baseia na cura UV. Dependendo dos requisitos de aplicação, UV-sensíveis polímero é revestido antes ou depois do alinhamento. Após o carimbo / modelo foi nivelado ao substrato e impressa no material UVNIL fluido com uma força controlada e velocidade, cura UV endurece a resina. Em seguida, o selo / template é separado do substrato impresso, produzindo uma réplica do selo endurecido sobre a superfície do substrato.

Figura 5. A combinação de confiança, SUSS versátil MA6 e MA8 alinhadores Máscara com tecnologias NIL faz um pacote econômico e inovadoras para R & D

SUSS MicroTec é um fornecedor global de produção e equipamentos de teste para a indústria de semicondutores. Nossos produtos incluem ferramentas de precisão litografia, wafer bonders bem como sistemas de teste. Nosso compromisso com desempenho superior, soluções de baixo custo e altos níveis de serviço ao cliente fazer SUSS um mercado e líder em tecnologia.

Um serviço de todo o mundo e rede de apoio de mais de 30 representantes locais está pronto para ajudá-lo com qualquer aspecto de seu processamento de wafer e necessidades de testes. Desde a instalação à formação e manutenção de rotina para soluções personalizadas, estamos lá para você. É apenas mais um exemplo das nossas soluções de estabelecimento de normas.

Fonte: SUSS MicroTec
Para mais informações sobre essa fonte por favor visite SUSS MicroTec