There is 1 related live offer.

5% Off SEM, TEM, FIB or Dual Beam

SUSS MicroTec, Global Leverantör av HalvledareProduktionen och Testar Utrustning

Ämnet Listar

Bakgrund
Nano-upp Maskerar dina MA6 Tillrättaren som den Nya UV--NILToolseten Möjliggör nm-Upplösning
Särdrag och Gynnar
UV-NIL: Framtiden av Nanoimprinting

Bakgrund

SUSS MicroTec bearbetar med maskin används av ledande halvledareproducenter såväl som berömda forskningsinstitut för att göra och testa statlig - av - - konstmicrochips och avkännare. Många av produkterna som du använder i din dagligt liv liksom PDA, GPS-system, cell ringer Etc. på sometime har varit berörda vid utrustning från SUSS MicroTec.

Som en global leverantör av produktionen och testa utrustning för halvledaren, och släkta branscher SUSS är speciellt närvarande marknadsför in inklusive Avancerat Paketera, MEMS, Nanotechnology, den Sammansatt Halvledaren, Silikon-På-Isolatorn och Interconnecten 3D. Produkter inkluderar precisionlithography bearbetar (maskera tillrättar-, snurrande- & sprejcoaters), rånobligationsförsäljare och testar system.

Nano-upp Maskerar dina MA6 Tillrättaren som den Nya UV--NILToolseten Möjliggör nm-Upplösning

Kapaciteterna av SUSS MA6/8 Maskerar Tillrättare förhöjs nu med nytt bearbeta det möjliggör dig för att bygga strukturerar med särdrag på det jämna nano-fjäll. Nytt bearbeta för den enkelsidiga imprinten UV-NIL (Nanoimprint Lithography) kan vara sätter in förbättrat med mycket inskränkt försök som erbjuder att en rättfram förbättringsbana för att SUSS-kunder ska ska skriva in den nano världen.

SUSSEN som imprinting teknologi, stöttar en variation av material liksom UV limmar, photoresists eller polymrer.

Förhöjda tillrättare för SUSS är UV-NIL kapabla av printing motstår tjocklekar från mer mindre, än 100 nm till några hundra mikroner med en printingupplösning besegrar till några nm (stämpelanhörig). I-situ bästa eller nedersta UV-avvänjning för sidojustering och närmare detaljkan våglängder vara utvalda. Typisk göras stämpeln eller formen av UV genomskinliga materiella lika kvartar. Täckande stämplar liksom Ni eller Si kan också användas med UV-genomskinliga rån.

Figurera 1. Logoen för SUSS MicroTec skrivev ut i Amonil EN MM 4 på en SUSS MA6 Maskerar Tillrättaren

Figurera 2. Förstorat delar upp av ovanför SUSS-logo

Figurera 3. SEM 2000mätningen av en utfärda utegångsförbud för fingrar för en sätta in verkställer transistorn som göras av polysilicon. Imprinted av Gradvis S.E.T NPS300, bredd: Konventionellt UV-lithographic Maskerar strukturera 100nm av avrinning- och källregionerna vid SUSS MA6 TillrättarArtighet Fraunhofer IISB, Tyskland

Figurera 4. Det nyckel- till framtiden! SUSS-mallhållaren och kastar för Nanoimprint Lithography låter utskrift upplösningar i nanometeren spänner

Särdrag och Gynnar

  • Den Nya UV--NILtoolseten kan nu lätt fieldinstalleds på SUSS MA6/MA8 Maskerar Tillrättare
  • Den Variabelstämpeln och substraten storleksanpassar låter highest processaa böjlighet
  • Lätt och fasta växling mellan UV-lithography och nanoimprintlithography
  • ”Motstå” tjocklek från < 100 nm till fåtal 100µm
  • I situunder-µmjusteringen för högst justeringsprecision
  • Fullständigt kontrollerad printing cyklar (pressa, distansera, rusa, jämföra avskiljandet), med minimerat operatörsingripande
  • Högst utjämning precision och resterande lagrarlikformighet

UV-NIL: Framtiden av Nanoimprinting

Lowen kostar lösningar för produktionen UV-NIL för nanostructures i utveckling i dag kan vara den möjliggöra tekniken för nästa generationhalvledare, MOEMS och optoelectronic teknologi. I synnerhet har nanoimprintlithography och dess variationer framkallats, som etteffektivt alternativ till med hög upplösning e-strålar lithography för att skriva ut under50 nm-geometrier (upplösning beror på stämplar och motstår).

UV-NIL är en nanoimprintmetod som baseras på UV-avvänjning. Beroende av applikationkrav täckas denkänsliga polymern efter eller för justeringen. Efter stämpeln/mallen har blivit utjämnind till substraten och har imprinted in i den fluid UVNILEN som är materiell med en kontrollerad styrka och, har rusat, hårdnar UV avvänjningen kådan. Därefter avskiljs stämpeln/mallen från den imprinted substraten och att producera en härdad kopia av stämpeln på ytbehandla av substraten.

Figurera 5. Kombinationen av pålitlig mångsidig SUSS MA6 och MA8 Maskerar Tillrättare med NOLLteknologier gör ett ekonomiskt och innovativt att paketera för R&D

SUSS MicroTec är en global leverantör av produktionen och testar utrustning för halvledarebranschen. Våra produkter inkluderar precisionlithography bearbetar, rånobligationsförsäljare såväl som testar system. Vår förpliktelse till den överlägsna kapaciteten, kosta-effektiva lösningar och hög nivå av kundtjänst gör SUSS en marknadsföra- och teknologiledare.

Ett världsomspännande servar, och service knyter kontakt av mer, än 30 lokaltekniker är ordnar till för att hjälpa dig med någon aspekt av ditt rån som bearbetar och testar behov. Från installation till utbildning och rutinmässigt underhåll till skräddarsy lösningar är vi där för dig. Det är precis ett annat exempel av våra lösningar som ställer in normal.

Källa: SUSS MicroTec
För mer information på denna källa behaga besök SUSS MicroTec

Date Added: Apr 10, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 18:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit