SUSS MicroTec,半导体生产和试测器材的全球供应商

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背景
纳诺您的 MA6 屏蔽直线对准器新的 UV-NIL 成套工具启用 nm 解决方法
功能和福利
UV-NIL : 远期 Nanoimprinting

背景

主导的半导体制造商以及使有名望的研究所用于 SUSS MicroTec 设备做和测试科技目前进步水平微芯片和传感器。 您在您的日常生活中使用例如 PDA 的许多产品, GPS 系统,等在某时由从 SUSS MicroTec 的设备涉及的移动电话。

作为生产和试测器材的一个全球供应商这个半导体的和相关行业 SUSS 是特别存在市场上包括先进包装MEMS、纳米技术、化合物半导体绝缘体上硅薄膜3D 互连。 产品包括精确度石版印刷工具 (屏蔽直线对准器空转 & 浪花涂料工),薄酥饼 bonders测试系统

纳诺您的 MA6 屏蔽直线对准器新的 UV-NIL 成套工具启用 nm 解决方法

SUSS MA6/8 屏蔽直线对准器的功能现在提高与使您建立与功能的结构在纳诺缩放比例级别的新的凿出的装饰。 单边的版本记录的 UV-NIL (Nanoimprint 石版印刷) 新的凿出的装饰可以现场升级用非常有限工作成绩,提供 SUSS 客户的一个直接的升级路径能输入这个纳诺世界。

印技术支持的 SUSS 各种各样的材料例如紫外胶浆、光致抗蚀剂或者聚合物。

SUSS UV-NIL 改进的直线对准器有能力在打印上抵抗厚度从少于 100 毫微米对与下来打印解决方法的几百微米对一些 nm (印花税受抚养者)。 原地顶层或底部副对准线和特定紫外治疗的波长可以被选择。 典型地这个印花税或模子由象石英的紫外透明材料制成。 不透明的印花税例如 Ni 或 Si 可能也使用与紫外透明薄酥饼。

在 SUSS MA6 屏蔽直线对准器的图 1. 在 Amonil 打印的 SUSS MicroTec 徽标 MMS 4

图 2. 扩大了在 SUSS 徽标的部分上

图 3. 一个门手指的 SEM 评定场效应晶体管的由多晶硅制成。 印由步进的 S.E.T NPS300,宽度: 100nm 常规紫外平版印刷构建由 SUSS MA6 的流失和来源地区屏蔽直线对准器礼貌 Fraunhofer IISB,德国

图 4。 远期的关键字! SUSS 模板持有人和牛颈肉 Nanoimprint 石版印刷的准许打印解决方法在毫微米范围

功能和福利

  • 新的 UV-NIL 成套工具在 SUSS MA6/MA8 屏蔽直线对准器可能容易地现在 fieldinstalled
  • 可变的印花税和基体范围允许最高的处理灵活性
  • 在紫外石版印刷和 nanoimprint 石版印刷之间的容易和快速切换
  • “请抵抗”从 < 100 毫微米的厚度到少量 100µm
  • 最高的对准线精确度的在原处子µm 对准线
  • 充分地受控印刷周期 (压、距离、速度,并行分隔) 与减到最小的运算符干预
  • 最高的成水平的精确度和残余的层均一

UV-NIL : 远期 Nanoimprinting

低成本 nanostructures 的生产 UV-NIL 解决方法在开发中可能今天是下一代半导体、 MOEMS 和光电子技术的启用的技术。 特别是, nanoimprint 石版印刷和其差异被开发,因为对高分辨率 e 射线石版印刷的有效替代打印子 50 毫微米几何 (解决方法取决于印花税并且抵抗)。

UV-NIL 是在紫外治疗基础上的 nanoimprint 方法。 根据应用程序要求,紫外敏感的聚合物是上漆的在或在对准线前以后。 在这块印花税/模板成了水平对这个基体并且被印了到可变的 UVNIL 材料用一张控制力和速度后,紫外治疗硬化树脂。 其次,这块印花税/模板从这个被印的基体分隔,导致印花税的一件被硬化的复制品在这个基体的表面的。

图 5。 可靠,多才多艺的 SUSS MA6 和 MA8 屏蔽直线对准器的组合与零技术做 R&D 的一个经济和创新程序包

SUSS MicroTec 是生产和试测器材的一个全球供应商半导体行业的。 我们的产品包括精确度石版印刷工具、薄酥饼 bonders 以及测试系统。 我们的对优越性能的承诺,有效客户服务部解决方法和高水平做 SUSS 市场和技术领导先锋。

超过 30 个局部代表全世界服务与支持网络准备协助解决您有您的薄酥饼处理和测试的需要的所有方面的。 从培训的安装和例行维修到自定义的解决方法,我们在那里为您。 它是规定标准的我们的解决方法的另一个示例。

来源: SUSS MicroTec
关于此来源的更多信息请参观 SUSS MicroTec

Date Added: Apr 10, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:34

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