SUSS MicroTec,半導體生產和試測器材的全球供應商

事宜列表

背景
納諾您的 MA6 屏蔽直線對準器新的 UV-NIL 成套工具啟用 nm 解決方法
功能和福利
UV-NIL : 遠期 Nanoimprinting

背景

主導的半導體製造商以及使有名望的研究所用於 SUSS MicroTec 設備做和測試科技目前進步水平微芯片和傳感器。 您在您的日常生活中使用例如 PDA 的許多產品, GPS 系統,等在某時由從 SUSS MicroTec 的設備涉及的移動電話。

作為生產和試測器材的一個全球供應商這個半導體的和相關行業 SUSS 是特別存在市場上包括先進包裝MEMS、納米技術、化合物半導體绝緣體上硅薄膜3D 互連。 產品包括精確度石版印刷工具 (屏蔽直線對準器空轉 & 浪花塗料工),薄酥餅 bonders測試系統

納諾您的 MA6 屏蔽直線對準器新的 UV-NIL 成套工具啟用 nm 解決方法

SUSS MA6/8 屏蔽直線對準器的功能現在提高與使您建立與功能的結構在納諾縮放比例級別的新的鑿出的裝飾。 單邊的版本記錄的 UV-NIL (Nanoimprint 石版印刷) 新的鑿出的裝飾可以現場升級用非常有限工作成績,提供 SUSS 客戶的一個直接的升級路徑能輸入這個納諾世界。

印技術支持的 SUSS 各種各樣的材料例如紫外膠漿、光致抗蝕劑或者聚合物。

SUSS UV-NIL 改進的直線對準器有能力在打印上抵抗厚度從少於 100 毫微米對與下來打印解決方法的幾百微米對一些 nm (印花稅受撫養者)。 原地頂層或底部副對準線和特定紫外治療的波長可以被選擇。 典型地這個印花稅或模子由像石英的紫外透明材料製成。 不透明的印花稅例如 Ni 或 Si 可能也使用與紫外透明薄酥餅。

在 SUSS MA6 屏蔽直線對準器的圖 1. 在 Amonil 打印的 SUSS MicroTec 徽標 MMS 4

圖 2. 擴大了在 SUSS 徽標的部分上

圖 3. 一個門手指的 SEM 評定場效應晶體管的由多晶硅製成。 印由步進的 S.E.T NPS300,寬度: 100nm 常規紫外平版印刷構建由 SUSS MA6 的流失和來源地區屏蔽直線對準器禮貌 Fraunhofer IISB,德國

圖 4。 遠期的關鍵字! SUSS 模板持有人和牛頸肉 Nanoimprint 石版印刷的准許打印解決方法在毫微米範圍

功能和福利

  • 新的 UV-NIL 成套工具在 SUSS MA6/MA8 屏蔽直線對準器可能容易地現在 fieldinstalled
  • 可變的印花稅和基體範圍允許最高的處理靈活性
  • 在紫外石版印刷和 nanoimprint 石版印刷之間的容易和快速切換
  • 「请抵抗」從 < 100 毫微米的厚度到少量 100µm
  • 最高的對準線精確度的在原處子µm 對準線
  • 充分地受控印刷週期 (壓、距離、速度,並行分隔) 與減到最小的運算符干預
  • 最高的成水平的精確度和殘餘的層均一

UV-NIL : 遠期 Nanoimprinting

低成本 nanostructures 的生產 UV-NIL 解決方法在開發中可能今天是下一代半導體、 MOEMS 和光電子技術的啟用的技術。 特別是, nanoimprint 石版印刷和其差異被開發,因為對高分辨率 e 射線石版印刷的有效替代打印子 50 毫微米幾何 (解決方法取決於印花稅并且抵抗)。

UV-NIL 是在紫外治療基礎上的 nanoimprint 方法。 根據應用程序要求,紫外敏感的聚合物是上漆的在或在對準線前以後。 在這塊印花稅/模板成了水平對這個基體并且被印了到可變的 UVNIL 材料用一張控制力和速度後,紫外治療硬化樹脂。 其次,這塊印花稅/模板從這個被印的基體分隔,導致印花稅的一件被硬化的複製品在這個基體的表面的。

圖 5。 可靠,多才多藝的 SUSS MA6 和 MA8 屏蔽直線對準器的組合與零技術做 R&D 的一個經濟和創新程序包

SUSS MicroTec 是生產和試測器材的一個全球供應商半導體行業的。 我們的產品包括精確度石版印刷工具、薄酥餅 bonders 以及測試系統。 我們的對優越性能的承諾,有效客戶服務部解決方法和高水平做 SUSS 市場和技術領導先鋒。

超過 30 個局部代表全世界服務與支持網絡準備協助解決您有您的薄酥餅處理和測試的需要的所有方面的。 從培訓的安裝和例行維修到自定義的解決方法,我們在那裡為您。 它是規定標準的我們的解決方法的另一個示例。

來源: SUSS MicroTec
關於此來源的更多信息请請參觀 SUSS MicroTec

Date Added: Apr 10, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:38

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit