Abmessung Scannen-Fühler-Mikroskop von Nano-Oberflächen Bruker, das MehrfunktionalsteSPM der Welt

Thema Liste

Hintergrund
NanoScope V - Der Beste Controller der Welt
Neues Einfach-FLUGHANDBUCH für Maximale Produktivität
Hervorragende Flexibilität und Funktionalität
Breiteste Anwendungs-Eignung
Umfangreiche Reichweite SPM-Techniken
Abmessung V Bedingungen
Mit Abmessung Hybridem XYZ-Kopf
Mit Abmessungs-Offenem Regelkreis- Kopf
Stichprobengröße
BeispielHalterungen
Stufe
Spitze/Freitragende Halterungen
Mikroskop Optik
Spitzen-Betrachtung
Schwingung Isolierung
Controller
Leistungsbedarf
Mikroskop Gewicht

Hintergrund

Die Dimension®-Reichweite führt alle bedeutenden Scannenfühler-Mikroskopietechniken und die breiteste Reichweite des Standards und der hoch entwickelten Kennzeichnungsanwendungen durch und macht es mehrfunktionalsteSPM der Welt das. Das Ergebnis mehr als 15 Jahre der Auslegungsoptimierung und -verbesserung, der nicht angepassten Flexibilität der Abmessungsangebote über einen Hochgeschwindigkeitscontroller der fünften Generation, der Wahl von Regel-XYZ und von Scannern der offenen Schleife und der zahlreichen Aufnahmemodusoptionen. Ein Hauptrechner anderer innovativer Merkmale und hervorragende Leistung machen die Abmessungsserie eine von höchst suchen-nach SPM-Anlagen in der Forschung und in der Industrie.

  • Controller NanoScope® V Misst Spitzeprobe/freitragende Dynamik (Datenerfassung 50MHz)
  • Verringert die Zeit, die sucht nach kleinen Merkmalen (Dichte des Pixels 5120x5120)
  • Bildschirmanzeigen u. erwirbt 8 Bilder gleichzeitig
  • Hybrider XYZ-Scanner für Höchstleistung
  • Entbindet niedrige Z-Fühlergeräusche
  • Ideal für hoch entwickelte Spektroskopie
  • Mehrfunktionale modulare Plattform
  • Ermöglicht große Auswahl von SPM-Techniken
  • Große Beispielstufe
  • Bilder klein u. große Probenmaterialien in der Flüssigkeit oder in einer Luft

Abbildung 1.Dimension V SPM

NanoScope V - Der Beste Controller der Welt

Brukers lässt neuer Controller NanoScope V Abmessungsbenutzer eine EFFEKTIVWERT-Welt verlassen und im Now leben. Indem er schnelle Datenerfassung 50MHz bereitstellt, erlaubt der neue Controller Maß der Spitzeprobe/der freitragenden Dynamik und aktiviert Forscher, den Einfluss von mechanischen Eigenschaften auf die Physik von probesample Interaktionen zu studieren. Forscher können freitragende Schwingungsspektren als Funktion Spitzeprobe Trennung auch prüfen.

Nicht nur ermöglicht beispiellose Hochgeschwindigkeitsdatenerfassung dieses hoch entwickelten Controllers die Prüfung von den Zeiträumen, die zu SPM-Benutzern vorher unzugänglich sind, lässt sie Maß der Brownischen Bewegung freitragende Resonanzspitzen kennzeichnen und die freitragende Federkonstante kalibrieren.

Das NanoScope V entbindet hoch--pixeldensity Bilder, bis 5120 x 5120 und verringert die Zeit, die benötigt wird, um nach Merkmalen zu suchen den von geringer Dichte, die über die großen Gebiete verteilt werden und beseitigt den Bedarf, wieder abzulichten, wann, erhöhtes Detail über versteckte Merkmale ausübend, und die Oberfläche 100X beschreibend besser als ein Bild mit 512 x 512 Pixeln. Außerdem konserviert die Reduzierung des wiederholten Scannens Beispielintegrität.

Das NanoScope V aktiviert bis acht Bilder, in der Istzeit (und für Analyse erworben zu werden) mit beispiellosem störsignalisierendem Verhältnis gleichzeitig angezeigt zu werden. Dieses ist die einzige Anlage, die erfassen kann und ein Reibungsbild in der Spur anzeigt und zurückverfolgt, zusammen mit Höhe und Fehler an den mehrfachen setpoints. Die Anlage kann Bilder der Höhe, des Ausschlags, des THUNFISCHS und zwei Kanäle Reibung sowie der Prüfung allem gleichzeitig von klopfen und von allen DrehungsNachrichtenkanälen produzieren.

Hochgeschwindigkeits-FPGA des NanoScope V Controllers entbindet Feed-back in 2µs mit unabhängiger Verstärkung und Frequenz auf digitaler Q-Regelung. Die Mehrfachverbindungsstelle, die Verriegelung-in den Verstärkern unabhängig ist, ermöglichen Klopfen und Drehung, Harmonik in EFM und Beobachtung einer vertikalen und seitlichen Bewegung höherer Ordnung.

Abbildung 2. Die neue Hochgeschwindigkeitsdatenerfassung erlaubt dem Benutzer, Spitzeprobe Interaktionen während einer Kraft zu überwachen, die Experiment in einer Zeitschuppe zieht, die nicht vorher möglich war. Abbildung b ist ein Detail des Bereiches, der in Diagramm A. Abbildung c eingekreist wird, ist weiteres Detail des eingekreisten Bereiches im Diagramm B.

Neues Einfach-FLUGHANDBUCH für Maximale Produktivität

Für das entscheidende in der stromlinienförmigen Betriebseinfachheit, einfach-zu-folgen Einfache-AFM™ Angebote ein intuitives, grafischer Benutzerschnittstelle für neue oder seltene SPM-Benutzer. Es verringert die Zeit für Anfangsinstallation, indem es automatisch die Scannenparameter einstellt, und Qualität TappingMode™ in den Luftbildern auf den meisten Proben an einem Stoß einer Taste erreicht. Einfach-FLUGHANDBUCH ist für Gemeinschaftsumgebungen ideal.

Hervorragende Flexibilität und Funktionalität

Eine große Reichweite der Funktionen wird zur Verfügung gestellt, um das SPM für kundenspezifische Experimente und nanoscale Forschung zu steuern (z.B., nanomanipulation in X, in O und in Z; automatisiertes Scannen; nanolithography mit verschiedenen tipsample Interaktionen). Diese Funktionen können von jeder möglicher Programmiersprache auch gerufen werden, die als ein Kunde Microsofts des TeilNachrichten-Baumusters, einschließlich (COM) LabVIEW und MATLAB™ auftreten kann. Unübertroffene Leistung mit dem Hybriden XYZ-Kopf

Die Abmessungsanlage wird mit einer Wahl des Hybriden XYZ-Kopfes oder des offenen Regelkreis- Kopfes der StandardAbmessung angeboten. Jeder dieser Scanner wird aus den steifen, vibrationsarmen Materialien konstruiert, die lärmarmen Bedingungen bei der Lieferung der überlegenen Zuverlässigkeit garantieren.

Der Abmessung Hybride XYZ-Scanner bietet niedrigere Z-Fühlergeräusche an und kombiniert den Nutzen der industryleading Gefäßscanner-Technologie mit einem eindeutig konstruierten sensored Z-Scanner, um revolutionäre Leistung in einem Dreiachsenclosedloopscanner zu entbinden. Diese hoch entwickelten Fähigkeiten machen es möglich, in hohem Grade genaue Kraftkurven und „das Ziehen“ von Techniken durchzuführen, beim hochauflösende Bilder noch entbinden. Regelfeedback versieht genaue X-Yregelung für nanomanipulation, mit linearen Scans, die genau sind und Unabhängigem des X-Yausgleichs und scannt Größe/Winkel.

Wegen der eindeutigen Technik des Scanners, benötigt die Sammlung von genauen topographischen Daten weniger häufige und umfangreiche Kalibrierung als andere Scanner.

Der offene Regelkreis- Kopf der Abmessung scannt bis 90µm in X-Y und bis 6µm in Z. Dieser Scanner enthält einen piezoelektrischen Gefäßscanner, einen Laser und einen Quadraturphotosensor. Er verwendet hoch entwickelten Lasergleichlauf, um zu garantieren, dass das Laserstrahl weg von der gleichen Stelle auf dem Kragbalken während der Rasterverfahren sich reflektiert und eine konstante, niedrige Spitzeprobe Kraft über dem gesamten Scan-Bereich beibehält. Dieser Kopf behält auch die lärmarmen Stufen bei, die für das Lösen von einzelnen Atomschritten auf Epitaxial- Dünnfilmen notwendig sind, oder messende UnterÅngström Oberflächenrauigkeit auf ultrasmooth Oberflächen.

Breiteste Anwendungs-Eignung

Zusätzlich zum überlegenen Scannen, zur Elektronik und zur Leistung verwendet die Abmessung viele anderen innovativen, Multifunktionsausrüstungsbeschreibungen. Eine große Beispielstufe ermöglicht, Probenmaterialien bis 8 Inches im Durchmesser und wahlweise 4 Inches zu scannen stark. Sie hat die Fähigkeit, in einer Luft oder in der Flüssigkeit zu scannen und bietet einen Hauptrechner von Zusatzhardwareaufnahmemodi an. Die Abmessung hat ausgezeichnete Maß- und Analysezuverlässigkeit für eine beträchtliche Benutzungsmöglichkeit einschließlich:

  • Elektronische Materialien
  • Dünnfilme
  • Fortgeschrittener Werkstoff
  • Tribologie
  • MEMS/NEMS
  • Biotechnologie

Umfangreiche Reichweite SPM-Techniken

Die Abmessung stellt Forscher die entscheidende, dehnbare Plattform für die Standard- und hoch entwickelten SPM-Scannenmodi einschließlich bereit:

  • Kontakt-Modus
  • TappingMode
  • PhaseImaging
  • Seitliche Kraft-Mikroskopie (LFM)
  • Magnetische Kraft-Mikroskopie (MFM)
  • Kraft Modulation
  • Kraft Abstand (Kraft-Spektroskopie)
  • Elektrische Kraft-Mikroskopie (EFM)
  • Scannen Kapazitanz-Mikroskopie (SCM)
  • Scannende Ausbreitungswiderstand-Mikroskopie (SSRM)
  • Tunnelbau-AtomKraft-Mikroskopie (THUNFISCH)
  • Leitfähige AtomKraft-Mikroskopie (CAFM)
  • Scannende Tunnelbau-Mikroskopie (STM)
  • Dreh- Resonanz-Modus (TRmode)

Abmessung Bedingungen

Mit Abmessung Hybridem XYZ-Kopf

  • X-Yarbeitsbereich: 90µm Quadrat; - Z-Reichweite: Aufnahmemodus: Nominal 8µm ±6% oder besseres
  • Kraft Kurvenmodus: Nominal 7µm ±6% oder besseres
  • Vertikaler Geräuschboden: <0.05nm EFFEKTIVWERT (offene Schleife in der passenden Umgebung)
  • Integrale X-Ynichtlinearität: <1% typisch
  • Integrale Z-Nichtlinearität: <1% typisch
  • X-Ygeräuschpegel: Regelfeedback aktiviert: <1.8nm EFFEKTIVWERT
  • X-YFühlerGeräuschpegel: Offen Regelkreis-: <1.2nm Adev (Ra)
  • Z-FühlerGeräuschpegel: Kraft Kurvenbandweite von 0.1Hz - 5KHz, Maximum EFFEKTIVWERT-0.1nm.
  • Typisches Darstellungsbandweite 0.06nm EFFEKTIVWERT-Maximum.

Mit Abmessungs-Offenem Regelkreis- Kopf

  • X-Yarbeitsbereich: ~90µm-Quadrat
  • Z-Reichweite: ~6µm
  • Seitliche Genauigkeit gewöhnlich innerhalb 1%, Maximum 2%
  • Stellt volle 16-Bit-Auflösung auf allen Äxten während aller Scan-Größen und -ausgleich zur Verfügung

Stichprobengröße

  • =150mm-Durchmesser (=200mm mit wahlweisefutter)
  • =12mm dick (Adapter erhältlich für stärkere Proben)

BeispielHalterungen

  • 150mm Unterdruckspannvorrichtung für Festplatten, Halbleiterwafer und andere Proben
  • Austauschbare Adapter für das Zentrieren von Festplatten
  • Entfernbare Wafer-befindene Kontaktstifte
  • Vakuumpumpe
  • Magnetische Halterung für Durchmesser der Beispiel 15mm und 6mm stark
  • 200mm Unterdruckspannvorrichtung für 150mm und 200mm Wafers (wahlweise)

Stufe

  • Erhöhte motorisierte Positionierung
  • 125mm x 100mm inspectable Bereich
  • 2µm Auflösung
  • 3µm Wiederholbarkeit unidirektional (10µm Maximum)
  • 4µm Wiederholbarkeit bidirektional für X-Schwerpunkt, 6µm für O-Schwerpunkt

Spitze/Freitragende Halterungen

  • Klopfen/Kontaktmodi
  • Halterungen der Kraft modulation/STM (wahlweise)
  • Flüssige Zell- und Spitzenhalterung für das Arbeiten mit Flüssigkeit, 7mm tief (wahlweise)

Mikroskop Optik

  • 150µm bis 675µm Sendegebiet
  • Motorisiertes lautes Summen und Fokus
  • ~1.5µm-Auflösung
  • rechnergesteuerte Beleuchtung
  • Videobilderfassung

Spitzen-Betrachtung

  • Auf-Schwerpunkt, Echtzeit über Mikroskopoptik

Schwingung Isolierung

  • Silikonschwingungsauflage
  • Schwingungsisolierungstisch (wahlweise)

Controller

  • NanoScope V

Leistungsbedarf

  • 700W; 100, 120 oder 240V einphasig; 50 oder 60Hz

Mikroskop Gewicht

  • ~150lb (68kg)

Anmerkung: Leistungsangaben sind und abhängig von Änderung ohne vorherige Ankündigung typisch.

 

Diese Informationen sind Ursprungs- angepasst gewesen, wiederholt und von den Materialien, die von Nano-Oberflächen Bruker bereitgestellt werden.

Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte Nano-Oberflächen Bruker.

Date Added: Apr 24, 2008 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:11

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