维数扫描从 Bruker 纳诺表面,世界的最多功能的 SPM 的探测显微镜

事宜列表

背景
NanoScope V - 世界的最佳的管理员
最大生产率的新的容易 AFM
未清灵活性和功能
最宽的应用适合
SPM 技术的广泛的范围
维数 V 说明
使用维数杂种 XYZ 题头
使用维数开放环路的题头
样本大小
范例持有人
阶段
技巧/悬臂式持有人
显微镜光学
技巧查看
隔振
管理员
功率需要量
显微镜重量

背景

Dimension® 范围执行所有主要扫描探测显微学技术和大范围标准和先进的描述特性应用,做它世界的最多功能的 SPM。 超过 15 年设计最优化和改进,维数聘用不匹配灵活性通过一个高速第五代管理员,选择闭环 XYZ 和开环扫描程序和许多想象模式选项的结果。 许多其他创新功能和未清性能做维数串联一在研究和行业的最追寻的 SPM 系统。

  • NanoScope® V 管理员评定技巧范例/悬臂式动力 (50MHz 数据捕获)
  • 减少寻找小的功能 (5120x5120 象素密度) 的时间
  • 显示 & 同时获取 8 个图象
  • 最佳性能的杂种 XYZ 扫描程序
  • 提供低 Z 传感器噪声
  • 先进的分光学的理想
  • 多功能模件平台
  • 允许大范围 SPM 技术
  • 大范例阶段
  • 小的图象 & 在液体或航空的大标本

图 1.Dimension V SPM

NanoScope V - 世界的最佳的管理员

Bruker 的新的 NanoScope V 管理员让维数用户离开 RMS 世界和在现在居住。 通过提供快速 50MHz 数据捕获,新的管理员允许技巧范例/悬臂式动力的评定,使研究员学习机械性能的影响对 probesample 交往物理。 作为技巧范例分隔功能,研究员能也探查悬臂式振动光谱。

不仅此先进的管理员的史无前例高速数据收集实现时标的考试以前不可访问对 SPM 用户,它允许布朗运动的评定识别悬臂式共振峰顶和校准悬臂弹簧常数。

NanoScope V 什么时候更好比与 512 x 512 象素的一个图象提供高的 pixeldensity 图象, 5120 x 5120,减少需时搜索低密度功能被分配在大区,消灭需要重新扫描继续处理在隐藏的功能的改进的详细资料和描述表面 100X。 此外,被重复的扫描的低估保留范例完整性。

NanoScope V 在实时使八个图象同时被显示 (和为分析获取) 以史无前例的信号噪音比。 这是可能获取并且显示在跟踪的摩擦图象并且折回的唯一的系统,以及高度和错误在多个 setpoints。 这个系统可能导致高度、偏折、金枪鱼和二条所有开发和同时所有扭力数据通道的通道摩擦,以及考试的图象。

NanoScope V 管理员的高速 FPGA 提供在 2µs 的反馈与独立收益和频率在数字式 Q 控制。 多个独立封锁行动放大器允许开发和扭力、一个高次垂直和侧向移动的泛音在 EFM 和观察。

图 2。 新 的 高速 数据 捕获 允许 这 个 用户 监控 技巧 范例 交往 在 拉 在 以前 不 是 可能 的 的 时间表 的 强制 期间 实验 。 图 b 是在图形 A. 形象盘旋的区的详细资料 c 是盘旋的区的进一步详细资料在图形 B. 的。

最大生产率的新的容易 AFM

对最终在效率化的可操作的简单,容易的 AFM™聘用直观,容易对按照新或不常见的 SPM 用户的图象用户接口。 它通过自动调整扫描参数和获得在航空图象的高质量减少最初的设置的时期 TappingMode™在多数范例在按钮的推进。 容易 AFM 对多用户环境是理想的。

未清灵活性和功能

提供各种各样的功能控制自定义实验和 nanoscale 研究的 (即,在 X、 Y 和 Z 的 nanomanipulation SPM; 自动化的扫描; 用不同的 tipsample 交往的 nanolithography)。 这些功能可能从可能作为微软的组件对象模型客户机,包括 LabVIEW 和 (COM) MATLAB™的所有编程语言也叫。 与杂种 XYZ 题头的未被超越的性能

维数系统提供与杂种 XYZ 题头或标准维数开放环路的题头的选择。 这些扫描程序中的每一个被修建严格,保证低噪声说明,当提供优越可靠性时的低振动材料。

维数杂种 XYZ 扫描程序提供更低的 Z 传感器噪声并且结合 industryleading 的管扫描程序技术的福利以一个唯一地被设计的 sensored Z 扫描程序提供在一个三轴的封闭式回路扫描程序的革命性能。 这些 先进 的 功能 使 成为 可能 执行 极为 准确 的 强制 曲线 和 "拉 " 技术 , , 当 仍然 提供 高 分辨率 图象 时 。 闭环 反馈 为 nanomanipulation 提供 准确 的 X - Y 的 控制 , 以 是 准确 的 线性 X - Y 的 抵销 的 扫描 和 独立 并且 浏览 范围 / 角度 。

由于扫描程序的唯一工程,准确地形学数据的收集比其他扫描程序要求较不常见和广泛的定标。

维数开放环路的题头浏览 90µm 在 X - Y 和 6µm 在 Z。 此扫描程序包括一个压电管扫描程序、激光和求积分法光学探测器。 它 使用 先进 激光 跟踪 保证 激光 反射 在 悬臂 的 同一 个 地点 在 光域 扫描 中 , 维护 在 整个 扫描 区 的 恒定 , 低 技巧 范例 强制 。 此 题头 也 维护 低噪声 级别 必要 为 解决 在 外延 薄膜 的 唯一 基本 步骤 或者 在 ultrasmooth 表面 的 评定 的 子 埃 地面粗糙度 。

最宽的应用适合

除优越扫描、电子和性能之外,维数使用许多其他创新,多功能设计特点。 一个大范例阶段允许浏览标本直径的 8 英寸和可任选地 4 英寸厚实。 它在航空或液体有这个能力浏览并且提供许多添加想象模式。 维数有各种各样的应用的非常好的评定和分析可靠性包括:

  • 电子材料
  • 薄膜
  • 高级材料
  • 摩擦学
  • MEMS/NEMS
  • 生物工艺学

SPM 技术的广泛的范围

维数为标准和先进的 SPM 扫瞄方式提供研究员最终,可伸缩的平台包括:

  • 联系模式
  • TappingMode
  • PhaseImaging
  • 侧力显微学 (LFM)
  • 磁力显微学 (MFM)
  • 强制模块化
  • 强制距离 (强制分光学)
  • 电力显微学 (EFM)
  • 扫描电容显微学 (SCM)
  • 浏览的扩展电阻显微学 (SSRM)
  • 挖洞基本强制显微学 (金枪鱼)
  • 导电性基本强制显微学 (CAFM)
  • 浏览的挖洞显微学 (STM)
  • 扭转力共鸣模式 (TRmode)

维数说明

使用维数杂种 XYZ 题头

  • X - Y 的扫描范围: 90µm 正方形; - Z 范围: 想象模式: 名词性的词 8µm ±6% 或更好
  • 强制曲线模式: 名词性的词 7µm ±6% 或更好
  • 垂直的噪声楼层: <0.05nm RMS (开环在适当的环境里)
  • 集成 X - Y 的非线形性: <1% 典型
  • 集成 Z 非线形性: <1% 典型
  • X - Y 的噪声级: 被激活的闭环反馈: <1.8nm RMS
  • X - Y 的传感器噪声级: 开放环路: <1.2nm Adev (镭)
  • Z 传感器噪声级: 强制曲线带宽 0.1Hz - 5KHz,最大的 0.1nm RMS。
  • 最大典型的想象的带宽 0.06nm RMS。

使用维数开放环路的题头

  • X - Y 的扫描范围: ~90µm 正方形
  • Z 范围: ~6µm
  • 典型侧向准确性在 1% 之内,最大。 2%
  • 在 所有 轴 提供 充分 的 16 位 解决 方法 为 所有 扫描 范围 和 抵销

样本大小

  • =150mm 直径 (与选项牛颈肉的 =200mm)
  • 浓厚 =12mm (适配器可用为更加厚实的范例)

范例持有人

  • 150mm 光盘、半导体片和其他范例的真空牛颈肉
  • 集中的光盘可互换的适配器
  • 可移动的薄酥饼位于的针
  • 真空泵
  • 范例 15mm 直径的磁性持有人和 6mm 厚实
  • 200mm 150mm 和 200mm 薄酥饼的真空牛颈肉 (选项)

阶段

  • 改进的动力化的确定
  • 125mm x 100mm inspectable 区
  • 2µm 解决方法
  • 单向 3µm 的反复性 (10µm 最大。)
  • 4µm 反复性双向为 X轴, 6µm Y轴的

技巧/悬臂式持有人

  • 开发/联系模式
  • 强制 modulation/STM 持有人 (选项)
  • 的流动细胞和技巧持有人与液体, 7mm 一起使用深 (选项)

显微镜光学

  • 150µm 到 675µm 查看的区
  • 动力化的缩放和重点
  • ~1.5µm 解决方法
  • 计算机控制的照明
  • 视频图象获取

技巧查看

  • 在轴,实时通过显微镜光学

隔振

  • 硅树脂振动填充
  • 隔振表 (选项)

管理员

  • NanoScope V

功率需要量

  • 700W; 100,单阶 120 或者的 240V; 50 或 60Hz

显微镜重量

  • ~150lb (68kg)

注意: 规范不预先通知是典型和随时变化。

 

此信息是来源,复核和适应从 Bruker 纳诺表面提供的材料。

关于此来源的更多信息请参观 Bruker 纳诺表面

Date Added: Apr 24, 2008 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:03

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