維數掃描從 Bruker 納諾表面,世界的最多功能的 SPM 的探測顯微鏡

事宜列表

背景
NanoScope V - 世界的最佳的管理員
最大生產率的新的容易 AFM
未清靈活性和功能
最寬的應用適合
SPM 技術的廣泛的範圍
維數 V 說明
使用維數雜種 XYZ 題頭
使用維數開放環路的題頭
樣本大小
範例持有人
階段
技巧/懸臂式持有人
顯微鏡光學
技巧查看
隔振
管理員
功率需要量
顯微鏡重量

背景

Dimension® 範圍執行所有主要掃描探測顯微學技術和大範圍標準和先進的描述特性應用,做它世界的最多功能的 SPM。 超過 15 年設計最優化和改進,維數聘用不匹配靈活性通過一個高速第五代管理員,選擇閉環 XYZ 和開環掃描程序和許多想像模式選項的結果。 許多其他創新功能和未清性能做維數串聯一在研究和行業的最追尋的 SPM 系統。

  • NanoScope® V 管理員評定技巧範例/懸臂式動力 (50MHz 數據捕獲)
  • 減少尋找小的功能 (5120x5120 像素密度) 的時間
  • 顯示 & 同時獲取 8 個圖像
  • 最佳性能的雜種 XYZ 掃描程序
  • 提供低 Z 傳感器噪聲
  • 先進的分光學的理想
  • 多功能模件平臺
  • 允許大範圍 SPM 技術
  • 大範例階段
  • 小的圖像 & 在液體或航空的大標本

圖 1.Dimension V SPM

NanoScope V - 世界的最佳的管理員

Bruker 的新的 NanoScope V 管理員讓維數用戶離開 RMS 世界和在現在居住。 通過提供快速 50MHz 數據捕獲,新的管理員允許技巧範例/懸臂式動力的評定,使研究員學習機械性能的影響對 probesample 交往物理。 作為技巧範例分隔功能,研究員能也探查懸臂式振動光譜。

不僅此先進的管理員的史無前例高速數據收集實現時標的考試以前不可訪問對 SPM 用戶,它允許布朗運動的評定識別懸臂式共振峰頂和校準懸臂彈簧常數。

NanoScope V 什麼時候更好比與 512 x 512 像素的一個圖像提供高的 pixeldensity 圖像, 5120 x 5120,減少需時搜索低密度功能被分配在大區,消滅需要重新掃描繼續處理在隱藏的功能的改進的詳細資料和描述表面 100X。 此外,被重複的掃描的低估保留範例完整性。

NanoScope V 在實時使八個圖像同時被顯示 (和為分析獲取) 以史無前例的信號噪音比。 這 是 可能 獲取 并且 顯示 在 跟蹤 的 摩擦 圖像 并且 折回 的 唯一 的 系統 , 以及 高度 和 錯誤 在 多個 setpoints 。 這 個 系統 可能 導致 高度 、 偏折 、 金槍魚 和 二 條 所有 開發 和 同時 所有 扭力 數據 通道 的 通道 摩擦 , 以及 考試 的 圖像 。

NanoScope V 管理員的高速 FPGA 提供在 2µs 的反饋與獨立收益和頻率在數字式 Q 控制。 多個獨立封鎖行動放大器允許開發和扭力、一個高次垂直和側向移動的泛音在 EFM 和觀察。

圖 2。 新的高速數據捕獲允許這個用戶監控技巧範例交往在拉在以前不是可能的時間表的強制期間實驗。 圖 b 是在圖形 A. 形象盤旋的區的詳細資料 c 是盤旋的區的進一步詳細資料在圖形 B. 的。

最大生產率的新的容易 AFM

对最終在效率化的可操作的簡單,容易的 AFM™聘用直觀,容易對按照新或不常見的 SPM 用戶的圖像用戶接口。 它通過自動調整掃描參數和獲得在航空圖像的高質量減少最初的設置的時期 TappingMode™在多數範例在按鈕的推進。 容易 AFM 對多用戶環境是理想的。

未清靈活性和功能

提供各種各樣的功能控制自定義實驗和 nanoscale 研究的 (即,在 X、 Y 和 Z 的 nanomanipulation SPM; 自動化的掃描; 用不同的 tipsample 交往的 nanolithography)。 這些功能可能從可能作為微軟的組件對象模型客戶機,包括 LabVIEW 和 (COM) MATLAB™的所有編程語言也叫。 與雜種 XYZ 題頭的未被超越的性能

維數系統提供與雜種 XYZ 題頭或標準維數開放環路的題頭的選擇。 這些掃描程序中的每一個被修建嚴格,保證低噪聲說明,當提供優越可靠性時的低振動材料。

維數雜種 XYZ 掃描程序提供更低的 Z 傳感器噪聲并且結合 industryleading 的管掃描程序技術的福利以一個唯一地被設計的 sensored Z 掃描程序提供在一個三軸的封閉式回路掃描程序的革命性能。 這些先進的功能使成為可能執行極為準確的強制曲線和 「拉」技術,當仍然提供高分辨率圖像時。 閉環反饋為 nanomanipulation 提供準確的 X - Y 的控制,以是準確的線性 X - Y 的抵銷的掃描和獨立并且瀏覽範圍/角度。

由於掃描程序的唯一工程,準確地形學數據的收集比其他掃描程序要求較不常見和廣泛的定標。

維數開放環路的題頭瀏覽 90µm 在 X - Y 和 6µm 在 Z。 此掃描程序包括一個壓電管掃描程序、激光和求積分法光學探測器。 它使用先進激光跟蹤保證激光反射在懸臂的同一個地點在光域掃描中,維護在整個掃描區的恆定,低技巧範例強制。 此題頭也維護低噪聲級別必要為解決在外延薄膜的唯一基本步驟或者在 ultrasmooth 表面的評定的子埃地面粗糙度。

最寬的應用適合

除優越掃描、電子和性能之外,維數使用許多其他創新,多功能設計特點。 一個大範例階段允許瀏覽標本直徑的 8 英寸和可任選地 4 英寸厚實。 它在航空或液體有這個能力瀏覽并且提供許多添加想像模式。 維數有各種各樣的應用的非常好的評定和分析可靠性包括:

  • 電子材料
  • 薄膜
  • 高級材料
  • 摩擦學
  • MEMS/NEMS
  • 生物工藝學

SPM 技術的廣泛的範圍

維數為標準和先進的 SPM 掃瞄方式提供研究員最終,可伸縮的平臺包括:

  • 聯繫模式
  • TappingMode
  • PhaseImaging
  • 側力顯微學 (LFM)
  • 磁力顯微學 (MFM)
  • 強制模塊化
  • 強制距離 (強制分光學)
  • 電力顯微學 (EFM)
  • 掃描電容顯微學 (SCM)
  • 瀏覽的擴展電阻顯微學 (SSRM)
  • 挖洞基本強制顯微學 (金槍魚)
  • 導電性基本強制顯微學 (CAFM)
  • 瀏覽的挖洞顯微學 (STM)
  • 扭轉力共鳴模式 (TRmode)

維數說明

使用維數雜種 XYZ 題頭

  • X - Y 的掃描範圍: 90µm 正方形; - Z 範圍: 想像模式: 名詞性的詞 8µm ±6% 或更好
  • 強制曲線模式: 名詞性的詞 7µm ±6% 或更好
  • 垂直的噪聲樓層: <0.05nm RMS (開環在適當的環境裡)
  • 集成 X - Y 的非線形性: <1% 典型
  • 集成 Z 非線形性: <1% 典型
  • X - Y 的噪聲級: 被激活的閉環反饋: <1.8nm RMS
  • X - Y 的傳感器噪聲級: 開放環路: <1.2nm Adev (鐳)
  • Z 傳感器噪聲級: 強制曲線帶寬 0.1Hz - 5KHz,最大的 0.1nm RMS。
  • 最大典型的想像的帶寬 0.06nm RMS。

使用維數開放環路的題頭

  • X - Y 的掃描範圍: ~90µm 正方形
  • Z 範圍: ~6µm
  • 典型側向準確性在 1% 之內,最大。 2%
  • 在所有軸提供充分的 16 位解決方法為所有掃描範圍和抵銷

樣本大小

  • =150mm 直徑 (與選項牛頸肉的 =200mm)
  • 濃厚 =12mm (適配器可用為更加厚實的範例)

範例持有人

  • 150mm 光盤、半導體片和其他範例的真空牛頸肉
  • 集中的光盤可互換的適配器
  • 可移動的薄酥餅位於的針
  • 真空泵
  • 範例 15mm 直徑的磁性持有人和 6mm 厚實
  • 200mm 150mm 和 200mm 薄酥餅的真空牛頸肉 (選項)

階段

  • 改進的動力化的確定
  • 125mm x 100mm inspectable 區
  • 2µm 解決方法
  • 單向 3µm 的反覆性 (10µm 最大。)
  • 4µm 反覆性雙向為 X軸, 6µm Y軸的

技巧/懸臂式持有人

  • 開發/聯繫模式
  • 強制 modulation/STM 持有人 (選項)
  • 的流動細胞和技巧持有人與液體, 7mm 一起使用深 (選項)

顯微鏡光學

  • 150µm 到 675µm 查看的區
  • 動力化的縮放和重點
  • ~1.5µm 解決方法
  • 計算機控制的照明
  • 視頻圖像獲取

技巧查看

  • 在軸,實時通過顯微鏡光學

隔振

  • 硅樹脂振動填充
  • 隔振表 (選項)

管理員

  • NanoScope V

功率需要量

  • 700W; 100,單階 120 或者的 240V; 50 或 60Hz

顯微鏡重量

  • ~150lb (68kg)

注意: 規範不預先通知是典型和隨時變化。

 

此信息是來源,覆核和適應從 Bruker 納諾表面提供的材料。

關於此來源的更多信息请請參觀 Bruker 納諾表面

Date Added: Apr 24, 2008 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:05

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