Halbleiter und die Ultraviolette Mikroskopie von Kopierten Halbleitern durch CRAIC-Technologien

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Hintergrund
Ultraviolette Mikroskopie von Kopierten Halbleitern


Hintergrund

CRAIC-Technologien ist die Welten, die Entwickler von wissenschaftlichen Instrumenten der UV-sichtbaren-NIR Reichweite für Mikroanalyse führen. Diese enthalten die UV-sichtbaren-NIR Mikrospektralfotometerinstrumente QDI-Serie, die konstruiert werden, um Ihnen zu helfen nicht--destruktiv Maßnahme die optischen Eigenschaften von mikroskopischen Proben. UVM-Serienmikroskope CRAICS umfassen die UV-, sichtbare und NIR-Reichweite und helfen Ihnen, mit Submikronauflösungen weit darüber hinaus den Bereich des Sichtbaren zu analysieren. CRAIC-Technologien hat auch das CTR-Serie Raman-microspectrometer für zerstörungsfreie Analyse von mikroskopischen Proben. Und vergessen Sie nicht, dass CRAIC stolz unsere microspectrometer und Mikroskopprodukte mit nicht angepasstem Service gegenzeichnet.

Ultraviolette Mikroskopie von Kopierten Halbleitern

CRAIC-Technologien hat ein breites Spektralbereichmikroskop, das Mikroskop des Ultraviolett-UVM-1 entwickelt.  Dieses eindeutige Mikroskop ist für Darstellung der hohen Auflösung in den ultraviolett-, sichtbaren und naheninfrarotspektralbereichen bestimmt.  Wegen der Flexibilität seiner Auslegung, ist diese Anlage zur Darstellung von den einzelnen Wellenlängen zu den breiten Spektralbereichen in der Lage.  Diese Reichweiten machen ausgewählt und durch den Benutzer leicht geändert ein.

Einer der Erstanträge dieser Anlage war zu den Halbleiterschaltungen des Bildkleinen maßstabs.  Ist Unten ein Bild eines Bereiches eines kopierten Wafers, der im Wellenlängenbereich 279 bis 367 nm (FWHM) mit Spiegelvorfallbeleuchtung abgebildet ist.  Dieses erlaubt dem Geldstrafendetail den Operator des Bildes extrem und andernfalls farblose Materialien zu studieren, die in der UVregion absorbieren.

Abbildung 2. Kopierter Wafer

Hauptautor: Dr. Paul Martin
Quelle: Ultraviolette Mikroskopie von Kopierten Halbleitern durch CRAIC-Technologien.
Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte CRAIC-Technologien

Date Added: Apr 28, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:52

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