Reflexión Visible Ultravioleta Microspectroscopy de NIR de Fulminantes de Semiconductor Usando el Equipo de Tecnologías de CRAIC

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Antecedentes
Microspectroscopy de los Fulminantes de Semiconductor
Experimental y Resultados

Antecedentes

Las Tecnologías de CRAIC son los mundos que llevan el revelador de los instrumentos científicos del rango Ultravioleta-visible-NIR para el microanálisis. Éstos incluyen los instrumentos Ultravioleta-visibles-NIR del microspectrophotometer de la serie de QDI diseñados para ayudarle non-destructively a medir las propiedades ópticas de muestras microscópicas. Los microscopios de la serie del UVM de CRAIC revisten el rango ULTRAVIOLETA, visible y de NIR y le ayudan a analizar con resoluciones del submicron mucho más alla del rango visible. Las Tecnologías de CRAIC también tienen el microspectrometer de Raman de la serie del CTR para el análisis no destructivo de muestras microscópicas. Y no olvide que CRAIC retrocede orgulloso nuestros productos del microspectrometer y del microscopio con servicio y atención incomparable.

Microspectroscopy de los Fulminantes de Semiconductor

el análisis microspectroscopic Ultravioleta-visible-NIR de películas finas en los fulminantes de semiconductor es una de las aplicaciones mas comunes de la técnica.  En el rango Ultravioleta-visible-NIR, los espectros de la interferencia se pueden utilizar para determinar el espesor de las películas depositadas en una oblea de silicio.   Entre las ventajas de la técnica es el hecho de que el más futuros en el ULTRAVIOLETA las mediciones están hechos, el diluente las películas que pueden ser analizadas.  Inversamente, el instrumento puede también determinar espesores del film gruesos trasladándose más lejos a las regiones de la longitud de onda roja o más larga del espectro.  Además, microspectroscopy Ultravioleta-visible-NIR es no destructivo y la preparación de la muestra es mínima.  El propósito de este papel es detallar el utilitario de la técnica y mostrar algunos resultados de la muestra.

Experimental y Resultados

Una viruta impresa del semiconductor de la prueba se utiliza como muestra.  El silicio Descubierto se utiliza como la referencia.  No se requiere Ninguna otra preparación.  La muestra está lista ahora para analizar vía microspectroscopy.

Un microspectrophotometer Ultravioleta-visible-NIR del rango de QDI 100™ fue utilizado para el análisis.  La serie del Instrumento de la Detección de Quantum (QDI) de microspectrophotometers se diseña para detectar los cambios más pequeños de los espectros de muestras microscópicas.  El microspectrophotometer de QDI 100™ ofrece un detector científico del CCD del arsenal del grado, resolución espectral de enfriamiento, alta de TE, estabilidad, de poco ruido a largo plazo, y la capacidad de detectar la transmisión, la reflexión, y espectros de la fluorescencia de las muestras tan pequeñas como 1 x 1 micrón.  

La muestra se coloca en el QDI 100™ y se detecta la imagen.  El microscopio se fija para la iluminación de Koehler con la iluminación de la reflexión.  El Cuadro 1 visualiza una imagen de la viruta del semiconductor analizada.  El software optimiza automáticamente el instrumento y los espectros son detectados simple poniendo la casilla negra sobre el área de la capa de pintura que se analizará.  Se detecta un espectro y el resultado se salva en el ordenador para el análisis posterior.

Cuadro 1. Imagen de la viruta del semiconductor.  La casilla negra es la apertura del microspectrophotometer.

El Cuadro 2 muestra los resultados de explorar cada sección coloreada en la viruta.  El Cuadro 2 es espectros de un papel del espectro de la reflexión de secciones azules, rojas y blancas.  El rango espectral es a partir del 200 a 850 nanómetro usando una lámpara de xenón estabilizada y un detector del CCD.  El espectro es el promedio de 50 exploraciones en 100 milisegundos por la exploración con una apertura de 10 x 10 micrones.


Cuadro 2. gráfico Cubierto de los espectros de la reflexión de las secciones blancas y azules rojas.

El Cuadro 3 muestra los resultados de tomar espectros de la sección azul en cinco ubicaciones diferentes en la viruta.  Esto prueba la altas estabilidad y reproductibilidad del instrumento.  Si procede, el espesor de las películas para cada sección podía entonces ser resuelto.

Cuadro 3. gráfico Cubierto de los espectros de la reflexión de las capas del azul tomadas en cinco ubicaciones diferentes.

Es simple detectar la información espectral y los modelos de interferencia de diversas ubicaciones en un semiconductor saltaran non-destructively.  La calidad de los resultados del microspectrophotometer de QDI 100™, en términos de espectros e imágenes de alta resolución, dorso esta aserción.  Usando software opcional, el espesor de las películas depositadas en cada ubicación podía también ser resuelto, además de construir una base de datos para el CONTROL DE CALIDAD purposes.

Autor Primario: El Dr. Paul Martin
Fuente: Reflexión Ultravioleta-Visible-NIR Microspectroscopy de Fulminantes de Semiconductor
Para más información sobre esta fuente visite por favor las Tecnologías de CRAIC

Date Added: Apr 28, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 18:28

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