Riflessione Visibile Ultravioletta Microspectroscopy di NIR dei Wafer A Semiconduttore Facendo Uso di Strumentazione dalle Tecnologie di CRAIC

Lista di Argomento

Sfondo
Microspectroscopy dei Wafer A Semiconduttore
Sperimentale e Risultati

Sfondo

Le Tecnologie di CRAIC è i mondi che piombo il rivelatore degli strumenti scientifici dell'intervallo UV-visibile-NIR per microanalisi. Questi includono gli strumenti UV-visibili-NIR del microspectrophotometer di serie di QDI destinati per aiutarvi la misura non-distruttivo i beni ottici dei campioni microscopici. I microscopi di serie del UVM di CRAIC coprono l'intervallo UV, visibile e di NIR e vi aiutano ad analizzare con le risoluzioni di submicron molto al di là dell'intervallo visibile. Le Tecnologie di CRAIC egualmente ha il microspectrometer di Raman di serie del CTR per l'analisi non distruttiva dei campioni microscopici. E non dimentichi che CRAIC appoggia fiero i nostri prodotti del microscopio e di microspectrometer con servizio e supporto ineguagliati.

Microspectroscopy dei Wafer A Semiconduttore

l'analisi microspectroscopic UV-visibile-NIR delle pellicole sottili sui wafer a semiconduttore è una delle applicazioni più comuni della tecnica.  Nell'intervallo UV-visibile-NIR, gli spettri di interferenza possono essere usati per determinare lo spessore delle pellicole depositate su una lastra di silicio.   Fra i vantaggi della tecnica è il fatto che l'ulteriori nel UV le misure sono fatti, il diluente le pellicole che possono essere analizzate.  Per Contro, lo strumento può anche determinare gli spessori di pellicola spessa entrando più ulteriormente nelle regioni di lunghezza d'onda rossa o più lunga dello spettro.  Inoltre, microspectroscopy UV-visibile-NIR è non distruttivo ed il preparato del campione è minimo.  Lo scopo di questo documento è di dettagliare l'utilità della tecnica e di mostrare alcuni risultati del campione.

Sperimentale e Risultati

Un chip stampato a semiconduttore della prova è usato come campione.  Il silicio Nudo è usato come il riferimento.  Nessun ulteriore preparato è richiesto.  Il campione ora è pronto ad analizzare via microspectroscopy.

Un microspectrophotometer UV-visibile-NIR dell'intervallo di QDI 100™ è stato utilizzato per l'analisi.  La serie dello Strumento di Rilevazione di Quantum (QDI) di microspectrophotometers è destinata per individuare i più piccoli cambiamenti nelle gamme di campioni microscopici.  Il microspectrophotometer di QDI 100™ caratterizza un rivelatore scientifico del CCD di schiera del grado, risoluzione spettrale di raffreddamento e alta di TE, la stabilità, a basso rumore a lungo termine e la capacità acquistare la trasmissione, la riflessione e le gamme della fluorescenza di campioni piccoli quanto 1 x 1 micron.  

Il campione è collocato sul QDI 100™ e l'immagine si acquista.  Il microscopio è installato per l'illuminazione di Koehler con l'illuminazione di riflessione.  Figura 1 video un'immagine del chip a semiconduttore analizzato.  Il software ottimizza automaticamente lo strumento e gli spettri si acquistano semplicemente collocando il quadrato nero sopra l'area del livello di vernice da analizzare.  Uno spettro si acquista ed il risultato è memorizzato sul computer per l'analisi successiva.

Figura 1. Immagine del chip a semiconduttore.  Il quadrato nero è l'apertura diaframma del microspectrophotometer.

Figura 2 mostra i risultati di scansione dell'ogni sezione colorata nel chip.  Figura 2 è spettri di un foglio di prova della gamma di riflessione di sezioni blu, rosse e bianche.  L'ampiezza dello spettro proviene da 200 a 850 nanometro facendo uso di una lampada allo xeno stabilizzata e di un rivelatore del CCD.  Lo spettro è la media di 50 scansioni a 100 millisecondi per scansione con un'apertura diaframma di 10 x 10 micron.


Figura 2. tracciato Ricoperto delle gamme di riflessione di sezioni bianche e blu rosse.

Figura 3 mostra i risultati di cattura degli spettri della sezione blu in cinque posizioni differenti sul chip.  Ciò prova l'alte stabilità e riproducibilità dello strumento.  A richiesta, lo spessore delle pellicole per ogni sezione ha potuto poi essere risoluto.

Figura 3. tracciato Ricoperto delle gamme di riflessione di livelli del blu catturati a cinque posizioni differenti.

È semplice da acquisire le informazioni spettrali ed i reticoli di interferenza dalle varie posizioni su un semiconduttore scheggiano non-distruttivo.  La qualità dei risultati dal microspectrophotometer di QDI 100™, sia in termini di spettri che immagini ad alta definizione, parte posteriore questa asserzione.  Facendo Uso di software facoltativo, lo spessore delle pellicole depositate ad ogni posizione ha potuto anche essere risoluto, oltre a sviluppare un database per il CONTROLLO DI QUALITÀ purposes.

Autore Primario: Dott. Paul Martin
Sorgente: Riflessione Ultravioletto-Visibile-NIR Microspectroscopy dei Wafer A Semiconduttore
Per ulteriori informazioni su questa sorgente visualizzi prego le Tecnologie di CRAIC

Date Added: Apr 28, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit