:: AZoNanotechnology סעיף
.jpg)
נושא רשימה
רקע
Microspectroscopy של פרוסות מוליכים למחצה
תוצאות ניסויית
רקע
CRAIC טכנולוגיות היא מפתחת מובילה של עולמות UV-גלוי ניר מגוון מכשירים מדעיים עבור microanalysis. אלה כוללים את סדרת QDI UV-גלוי ניר מכשירים microspectrophotometer נועד לעזור לכם שאינם destructively למדוד את התכונות האופטיות של דגימות מיקרוסקופיות. CRAIC של מיקרוסקופים UVM סדרת כיסוי UV, גלוי מגוון ניר ולעזור לך לנתח עם מיקרון משנה החלטות הרבה מעבר לתחום הנראה. CRAIC טכנולוגיות יש גם את סדרת הקליקים ראמאן microspectrometer לניתוח שאינו הרסני של דגימות מיקרוסקופיות. ואל תשכחו כי CRAIC בגאווה גבנו microspectrometer ומוצרים מיקרוסקופ עם שירות ותמיכה ללא תחרות.
Microspectroscopy של פרוסות מוליכים למחצה
UV-גלוי ניר ניתוח microspectroscopic של סרטים דקים על פרוסות מוליכים למחצה הוא אחד היישומים הנפוצים ביותר של הטכניקה. בטווח UV-גלוי ניר, הספקטרום התערבות ניתן להשתמש כדי לקבוע את עובי של סרטים שהופקדו על פרוסות סיליקון. בין היתרונות של השיטה היא העובדה כי יותר לתוך UV המדידות נעשות, מדלל את הסרטים כי ניתן לנתח. סרט עבה לעומת זאת, המכשיר יכול גם לקבוע את עובי ידי הזזת נוספת לתוך האזורים גל אדום או יותר של הספקטרום. בנוסף, UV-גלוי ניר microspectroscopy הוא הרסני ואת הכנת המדגם הוא מזערי. מטרת מאמר זה היא לפרט את תוכנית השירות של הטכניקה וכדי להראות כמה תוצאות המדגם.
תוצאות ניסויית
מוליכים למחצה מודפס שבב הבדיקה משמשת מדגם. סיליקון חשופות משמש הפניה. הכנה לא נדרש עוד. המדגם עכשיו הוא מוכן לנתח דרך microspectroscopy.
QDI 100 ™-UV לעין ניר טווח microspectrophotometer שימש לניתוח. מכשיר איתור קוונטית סדרה (QDI) של microspectrophotometers נועד לזהות את השינויים הקטנים ביותר בספקטרום של דגימות מיקרוסקופיות. QDI 100 ™ microspectrophotometer תכונות מדעית כיתה מערך ה-CCD גלאי, TE קירור, ברזולוציה ספקטרלית גבוהה, יציבות לטווח ארוך, רעש נמוך, ויכולת לרכוש השידור, ההחזרה, ואת ספקטרום הקרינה של דגימות קטן כמו 1 X 1 מיקרון.
מדגם ממוקם על QDI 100 ™ ו התמונה הנרכשת. המיקרוסקופ מוגדר קוהלר תאורה עם תאורה ההחזרה. איור 1 מציג תמונה של שבבים מוליכים למחצה מנותח. התוכנה באופן אוטומטי מייעל את המכשיר ואת ספקטרום נרכשים פשוט על ידי הצבת ריבוע שחור על פני שטח של שכבת צבע כדי להיות מנותח. קשת היא רכשה את התוצאה מאוחסן במחשב לצורך ניתוח מאוחר יותר.
.gif)
באיור 1. מקדימה של שבבים מוליכים למחצה. ריבוע שחור הוא הצמצם microspectrophotometer.
איור 2 מראה את תוצאות סריקת כל חלק בצבע השבב. איור 2 הוא ספקטרום כיסוי של ספקטרום ההחזרה של חלקים כחול אדום ולבן. טווח ספקטרלי הוא 200-850 ננומטר באמצעות קסנון התייצב המנורה גלאי CCD. הספקטרום הוא ממוצע של 50 סריקות ב 100 מילישניות לכל לסרוק עם צמצם של 10 x 10 מיקרון.