紫外可视 NIR 反射率 Microspectroscopy 使用设备的半导体片从 CRAIC 技术

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背景
半导体片 Microspectroscopy
实验和结果

背景

CRAIC 技术是导致紫外可视NIR 为微量分析的范围科学仪表的开发员世界。 这些包括被设计的 QDI 串联紫外可视NIR 显微分光光度计仪器帮助您非破坏性评定微观范例光学性能。 CRAIC 的 UVM 串联显微镜报道紫外,可视和 NIR 范围并且帮助您分析与亚显微解决方法在这个可视范围之外。 CRAIC 技术也有对微观范例的非破坏性的分析的 CTR 串联喇曼 microspectrometer。 并且不要忘记 CRAIC 骄傲地返回我们的与不匹配服务与支持的 microspectrometer 和显微镜产品。

半导体片 Microspectroscopy

对在半导体片的薄膜的紫外可视NIR microspectroscopic 分析是其中一种这个技术的最公用的应用。  在这个紫外可视NIR 范围,干涉光谱可以用于确定在硅片存款的影片的厚度。   在这个技术中的好处是这个情况进一步到紫外评定做,这种稀释剂可以分析的影片。  相反地,仪器可能通过搬入也确定浓厚涂膜厚度进一步这个光谱的红色或长波长地区。  另外,紫外可视NIR microspectroscopy 是非破坏性的,并且范例准备是最小的。  本文的目的将详述这个技术的实用程序和显示一些范例结果。

实验和结果

一个被打印的测试半导体筹码使用作为范例。  仅有的硅作为参考使用。  没有需要进一步准备。  这个范例现在准备通过 microspectroscopy 分析。

QDI 100™紫外可视NIR 范围显微分光光度计为这个分析使用了。  Quantum 检测仪器系列 (QDI) 显微分光光度计被设计检测在范围的零钱微观范例。  QDI 100™显微分光光度计以一台科学成绩列阵 CCD 探测器, TE 冷却的,高光谱分辨率为特色,长期稳定性,低噪声和这个能力获取传输、反射率和荧光范围范例一样小象 1 x 1 微米。  

这个范例在 QDI 100™被安置,并且这个图象获取。  显微镜为与反射率照明的 Koehler 照明被设置。  图 1 显示被分析的半导体筹码的图象。  这个软件自动地优选仪器,并且光谱通过安置在油漆层的区的黑角规获取将被分析的。  光谱获取,并且这个结果在最新分析的计算机存储。

图 1. 半导体筹码图象。  黑角规是显微分光光度计开口。

图 2 在这个筹码显示浏览每个色的部分的结果。  图 2 是反射率范围的重叠光谱蓝色,红色和空白部分。  使用一个被稳定的氙气灯和 CCD 探测器,这个光谱范围是从 200 到 850 毫微米。  这个光谱是平均数 50 扫描在每扫描 100 毫秒与 10 x 10 微米开口。


图 2. 躺在的剧情反射率范围红色空白和蓝色部分。

图 3 在这个筹码的五个不同地点显示采取蓝色部分的光谱的结果。  这证明仪器的高稳定性和增殖率。  如果必须,影片的厚度每个部分的能然后是确定的。

图 3. 躺在的剧情反射率范围蓝色层被采取在五个不同地点。

是简单的获取光谱信息,并且从多种地点的干扰图半导体的切削非破坏性。  结果的质量从 QDI 100™显微分光光度计的,根据光谱和高分辨率图象,返回此主张。  使用选项软件,影片的厚度存款在每个地点能也是确定的,除建立 QC 的一个数据库之外打算。

主要作者: 保罗・马丁博士
来源: 紫外可视NIR 反射率 Microspectroscopy 半导体片
关于此来源的更多信息请参观 CRAIC 技术

Date Added: Apr 28, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:34

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