紫外可視 NIR 反射率 Microspectroscopy 使用設備的半導體片從 CRAIC 技術

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背景
半導體片 Microspectroscopy
實驗和結果

背景

CRAIC 技術是導致紫外可視NIR 為微量分析的範圍科學儀表的開發員世界。 這些包括被設計的 QDI 串聯紫外可視NIR 顯微分光光度計儀器幫助您非破壞性評定微觀範例光學性能。 CRAIC 的 UVM 串聯顯微鏡報道紫外,可視和 NIR 範圍并且幫助您分析與亞顯微解決方法在這個可視範圍之外。 CRAIC 技術也有對微觀範例的非破壞性的分析的 CTR 串聯喇曼 microspectrometer。 并且不要忘記 CRAIC 驕傲地返回我們的與不匹配服務與支持的 microspectrometer 和顯微鏡產品。

半導體片 Microspectroscopy

對在半導體片的薄膜的紫外可視NIR microspectroscopic 分析是其中一種這個技術的最公用的應用。  在這個紫外可視NIR 範圍,干涉光譜可以用於確定在硅片存款的影片的厚度。   在這個技術中的好處是這個情況進一步到紫外評定做,這種稀釋劑可以分析的影片。  相反地,儀器可能通過搬入也確定濃厚塗膜厚度進一步這個光譜的紅色或長波長地區。  另外,紫外可視NIR microspectroscopy 是非破壞性的,并且範例準備是最小的。  本文的目的將詳述這個技術的實用程序和顯示一些範例結果。

實驗和結果

一個被打印的測試半導體籌碼使用作為範例。  僅有的硅作為參考使用。  沒有需要進一步準備。  這個範例現在準備通過 microspectroscopy 分析。

QDI 100™紫外可視NIR 範圍顯微分光光度計為這個分析使用了。  Quantum 檢測儀器系列 (QDI) 顯微分光光度計被設計檢測在範圍的零錢微觀範例。  QDI 100™顯微分光光度計以一臺科學成績列陣 CCD 探測器, TE 冷卻的,高光譜分辨率為特色,長期穩定性,低噪聲和這個能力獲取傳輸、反射率和熒光範圍範例一樣小像 1 x 1 微米。  

這個範例在 QDI 100™被安置,并且這個圖像獲取。  顯微鏡為與反射率照明的 Koehler 照明被設置。  圖 1 顯示被分析的半導體籌碼的圖像。  這個軟件自動地優選儀器,并且光譜通過安置在油漆層的區的黑角規獲取將被分析的。  光譜獲取,并且這個結果在最新分析的計算機存儲。

圖 1. 半導體籌碼圖像。  黑角規是顯微分光光度計開口。

圖 2 在這個籌碼顯示瀏覽每個色的部分的結果。  圖 2 是反射率範圍的重疊光譜藍色,紅色和空白部分。  使用一個被穩定的氙氣燈和 CCD 探測器,這個光譜範圍是從 200 到 850 毫微米。  這個光譜是平均數 50 掃描在每掃描 100 毫秒與 10 x 10 微米開口。


圖 2. 躺在的劇情反射率範圍紅色空白和藍色部分。

圖 3 在這個籌碼的五個不同地點顯示採取藍色部分的光譜的結果。  這證明儀器的高穩定性和增殖率。  如果必須,影片的厚度每個部分的能然後是確定的。

圖 3. 躺在的劇情反射率範圍藍色層被採取在五個不同地點。

是簡單的獲取光譜信息,并且從多種地點的干擾圖半導體的切削非破壞性。  結果的質量從 QDI 100™顯微分光光度計的,根據光譜和高分辨率圖像,返回此主張。  使用選項軟件,影片的厚度存款在每個地點能也是確定的,除建立 QC 的一個數據庫之外打算。

主要作者: 保羅・馬丁博士
來源: 紫外可視NIR 反射率 Microspectroscopy 半導體片
關於此來源的更多信息请請參觀 CRAIC 技術

Date Added: Apr 28, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:38

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