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Behandelte Themen
Hintergrund
Probenvorbereitung
Ergebnisse
Charakterisierung von Y 2 O 3 auf Glas
Charakterisierung von Y 2 O 3 auf ZrO 2
Abschluss
Hintergrund
Y 2 O 3 Filme sind gute Materialien für den Einsatz in vielen Anwendungen wie z. B. Schutz von Aluminium und Silber Spiegel Beschichtungen, Zwischenlagen in breiten Band sichtbar AR-Beschichtungen und für XeCl Laser AR und dielektrische Spiegel. Die Y 2 O 3-Schichten sind hart und meist amorph mit hoher Haftung auf Glas, Germanium, Silizium, Zink-Sulfid-und Zink-Selenid sowie Metalle wie Aluminium und Silber. In einigen Fällen kann eine sehr dünne Schicht von Yttriumoxid als ein Festhalten Promotor für Multilayer-Beschichtungen auf nicht-oxidische Substrate dienen. Dieses Material ist von mittel-Index und sehr transparent über die nahen UV-Bereich (300 nm) bis IR (11ìm) Region.
Viele Methoden wurden verwendet, um Yttrium Filmen wie reaktive thermische Deposition, e-beam deposition, Ion Assisted Deposition (IAD) und Magnetronsputtern produzieren. Da der Brechungsindex sind abhängig von der Prozess ist es wichtig, mit hoher Genauigkeit die optischen Konstanten und die Dicke der Filme kennen, besonders wenn sie so einen hohen Brechungsindex und Materialien in Kombination mit höheren Index Materialien wie TiO 2 und Ta verwendet 2 O 5.
Diese Notiz beschreibt, wie die UVISEL Spektroskopische phasenmodulierten Ellipsometer von Horiba Scientific verwendet wurde, um den Einfluss des Substrats auf das Wachstum von Y 2 O 3, dass die Differenz der optischen Eigenschaften des Y 2 O 3-Film auf Basis von amorphem Glas-Substrat und die angebaut wird, charakterisieren eine auf vorverdampft Schichten von ZrO 2 gewachsen.
Probenvorbereitung
Die Filme wurden durch Elektronenstrahlverdampfung in einer reaktiven Sauerstoff-Atmosphäre vorbereitet. Die Ausgangsmaterialien wurden Körner von Y 2 O 3. Das Glas-Substrate wurden 5 mm dick und wurden gedreht während der Abscheidung, die Einheitlichkeit der Filme zu verbessern. Im ersten Durchgang zwei blanke Glas-Substrate wurden in die Kammer gestellt und ein ZrO 2-Schicht aufgebracht. Für den zweiten Lauf einen kahlen Glassubstrat und die Probe aus dem ersten Lauf mit vorverdampft ZrO 2 wurden in die Kammer gestellt und ein Y 2 O 3-Schicht abgeschieden.
Drei Proben wurden präpariert und wie folgt charakterisiert.
- Sample1: ZrO 2 Monolayer (Siehe Application Note, Ref.: SE06),
- Beispiel 2: Y 2 O 3-Monoschicht,
- Beispiel 3: Y 2 O 3 auf ZrO 2 vorverdampft.
Ergebnisse
Die Arbeit wurde mit dem Horiba Scientific UVISEL Visible Spektroskopische Ellipsometer . Die Ellipsometrische Messungen wurden bei einem Einfallswinkel von 70 ° über den Spektralbereich 300-830 nm hergestellt. Sowohl die Brechungsindizes und Dicken wurden von der SE Datenanalyse extrahiert. Die optischen Konstanten wurden mit Hilfe der Lorentz-Oszillator nach folgender Formel:
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