.gif)
Aiheet
Tausta
Näytteiden esikäsittely
Tulokset
Karakterisointi Y 2 O 3 Glass
Karakterisointi Y 2 O 3 ZrO 2
Johtopäätös
Tausta
Y 2 O 3 elokuvat ovat hyviä materiaaleja käytettäväksi moniin sovelluksiin, kuten suojelu alumiini ja hopea peili pinnoitteet, välikerrokset vuonna wide band näkyvissä AR pinnoitteet ja XeCl laser AR ja dielektriset peili malleja. Y 2 O 3 elokuvat ovat kovia ja yleensä amorfinen kanssa hyvä tarttuvuus lasiin, germanium, pii, sinkkisulfidi ja sinkkiselenidi sekä metallit kuten alumiini ja hopea. Joissakin tapauksissa erittäin ohut kerros yttriumoksidilla voi toimia noudattamista edistäjänä on monikerroksinen pinnoitteet ei-oksidi alustoille. Tämä materiaali on keski-indeksi ja erittäin läpinäkyvä yli lähes UV-alue (300 nm) ja IR (11ìm) alueella.
Monia menetelmiä on käytetty tuottamaan yttriumoksidilla elokuvia kuten reaktiivinen lämpö laskeuma, e-beam laskeuma, ioni avustaa laskeuma (IAD) ja magnetroni paukahtelevan. Kuten taitekerrointen riippuvat prosessissa on tärkeää tietää suurella tarkkuudella optinen vakioita ja paksuudet elokuvia, varsinkin kun niitä käytetään korkea taitekerroin materiaaleja ja yhdessä korkeamman indeksin materiaalien kuten TiO 2 ja Ta 2 O 5.
Tässä muistiossa kuvataan UVISEL Spektroskooppiset vaihe Modulated Ellipsometer päässä Horiba Tieteellinen käytettiin kuvaamaan vaikutusta alustan kasvun Y 2 O 3, joka on ero optisten ominaisuuksien Y 2 O 3 elokuva kasvaneet amorfinen lasi substraatti ja yksi kasvanut ennalta haihtunut kerrosten ZrO 2.
Näytteiden esikäsittely
Elokuvat valmistettiin elektronisuihku haihtumisen reaktiivista happea. Lähtöaineet olivat jyvät Y 2 O 3. Lasi substraattien olivat 5 mm paksuja ja olivat kääntää aikana laskeuma parantamaan yhdenmukaisuutta elokuvia. Ensimmäisessä pyörittää kahta paljas lasi substraattien pantiin kammioon ja ZrO 2 elokuva talletetaan. Toisen ajaa paljaalla lasialustalla ja näyte ensimmäisen kierroksen valmiiksi haihtunut ZrO 2 sijoitettiin kammioon ja Y 2 O 3 kerros oli talletettu.
Kolme näytettä valmisteltu ja luonnehtia seuraavasti.
- Sample1: ZrO 2 yksikerroksista (ks. Application Note, Ref: SE06)
- Näyte 2: Y 2 O 3 yksikerrosviljelmässä,
- Näyte 3: Y 2 O 3 ZrO 2 pre-haihtunut.
Tulokset
Teos käyttäen Horiba Tieteellinen UVISEL Visible Spektroskooppiset Ellipsometer . Ellipsometric mittaukset tehtiin tulokulmassa 70 ° poikki Aallonpituusalue 300-830 nm. Molemmat taitekerroin indeksit ja paksuudet olivat uutetaan SE tietojen analysointia. Optiset vakiot määritettiin käyttäen Lorentzin Oscillator kaavalla:
.jpg)