Determinazione dell'Indice Di Rifrazione di Y2O3 su Vetro e sui Substrati Pre Evaporati da Ellipsometry Spettroscopico Facendo Uso di Strumentazione da Horiba Scientifico - Pellicola Sottile

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Preparato del Campione
Risultati
Caratterizzazione di YO23 su Vetro
Caratterizzazione di YO23 su ZrO2
Conclusione

Sfondo

Le pellicole23 di YO sono buoni materiali per uso in molte applicazioni quale la protezione di alluminio ed i rivestimenti riflettenti dell'argento, livelli intermedi nei rivestimenti visibili dell'AR dell'ampia banda e per il laser AR e dielettrico di XeCl rispecchiano le progettazioni. Le pellicole23 di YO sono duro e solitamente amorfe con alta aderenza al seleniuro di vetro, del germanio, del silicio, del solfuro di zinco e dello zinco come pure ai metalli quali alluminio ed argento. In alcuni casi, molto un di strato sottile del yttria può servire da promotore di aderenza per i rivestimenti a più strati sui substrati dell'non ossido. Questo materiale è dell'media-indice analitico e molto trasparente sopra l'intervallo quasi-UV (300 nanometro) alla regione di IR (11ìm).

Molti metodi sono stati usati per produrre le pellicole di yttria come il deposito termico reattivo, il deposito del e-raggio, il deposito e polverizzazione (IAD) del magnetron assistiti ione. Poichè gli indici di rifrazione dipendono dal trattamento che è importante conoscere con alta precisione le costanti ottiche e gli spessori delle pellicole, particolarmente quando sono usati come alti materiali di Indice di rifrazione e congiuntamente agli più alti materiali di indice analitico quali TiO2 e TaO25.

Questa nota descrive come il UVISEL Ellipsometer Modulato Fase Spettroscopica da Horiba Scientifico è stato usato per caratterizzare l'influenza del substrato alla crescita di YO23, quello è la differenza dei beni ottici della pellicola23 di YO sviluppata sul substrato di vetro amorfo e di quella sviluppati sui livelli pre-evaporati di ZrO2.

Preparato del Campione

Le pellicole sono state preparate da evaporazione del fascio di elettroni in un'atmosfera reattiva dell'ossigeno. I prodotti base erano granuli di YO23. I substrati di vetro erano spessi 5 millimetri e sono stati girati durante il deposito per migliorare l'uniformità delle pellicole. Nel primo turno due i substrati di vetro nudi sono stati messi nella camera ed in una pellicola2 di ZrO depositate. Per seconda il substrato di vetro nudo di esecuzione una ed il campione dal primo turno con ZrO pre-evaporato2 sono stati collocati nella camera e un livello23 di YO è stato depositato.

Tre campioni sono stati preparati e caratterizzato stati come segue.

  • Sample1: Strato monomolecolare2 di ZrO (Vedi la Nota di Applicazione, Riferimento: SE06),
  • Campione 2: Strato monomolecolare23 di YO,
  • Campione 3: YO23 su ZrO2 pre-è evaporato.

Risultati

Il lavoro è stato realizzato facendo uso del Horiba UVISEL Ellipsometer Spettroscopico Visibile Scientifico. Le misure Ellissometriche sono state effettuate ad angolo dell'incidenza di 70° attraverso l'ampiezza dello spettro 300-830 nanometro. Gli Entrambi indici e spessori di rifrazione sono stati estratti dall'analisi di dati dell'ESPERTO IN INFORMATICA. Le costanti ottiche erano risolute facendo uso della formula dell'Oscillatore di Lorentz qui sotto:

Caratterizzazione di YO23 su Vetro

YO23 è un media-indice analitico e un materiale basso di assorbimento. Una Certa quantità di eterogeneità di indice analitico può comparire con l'aumento di spessore del livello. L'effetto può essere diminuito fornendo l'ossigeno sufficiente riempie durante l'evaporazione. Come con il campione2 di ZrO (UN SE-06) un grande miglioramento al valore del ² del ÷ è stato trovato con un'architettura a strati due, con il livello superiore che è poroso. Facendo Uso Efficace dell'Approssimazione Media (EMA) DeltaPsi2 (DP2) il software può determinare il grado di porosità confrontato al livello sul substrato ed in questo caso è stato trovato per essere 25%.

Figura 1. YO23 /Vetro

 

Figura 2. costanti23 Ottiche di YO

Caratterizzazione di YO23 su ZrO2

In un primo tempo questo campione è stato caratterizzato facendo uso delle costanti ottiche trovate dai risultati precedenti. I Buoni valori per le pellicole sono stati ottenuti, ma è stato trovato che i risultati potrebbero essere migliorati mediante l'uso di una struttura leggermente più complicata.

Parecchi approcci sono stati seguiti (livello dell'interfaccia fra le due pellicole), ma il modello definitivo che ha migliorato significativamente la misura, era l'ottimizzazione degli spessori23 di YO, degli indici analitici e dei parametri di porosità. Nei risultati finali la variazione23 di YO nell'Indice di rifrazione fra due campioni era circa 0,02.

Figura 3. YO23 /ZrO2 /Vetro

 

Figura 4. Nuove Costanti23 Ottiche di YO

Conclusione

Gli stati del deposito hanno generato i livelli porosi non omogenei che sono stati osservati dal UVISEL Ellipsometer Modulato Fase Spettroscopica. Inoltre, le misure spettroscopiche permettono la determinazione di piccole discrepanze fra le costanti ottiche di una pellicola23 di YO sviluppata al substrato nudo e quella sviluppata su una pellicola2 di ZrO.

Sorgente: Horiba Scientifico - Divisione delle Pellicole Sottili

Per ulteriori informazioni su questa sorgente visualizzi prego Horiba Scientifico - Divisione delle Pellicole Sottili

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:56

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