20% off DeltaTime Fluorescence Lifetime System Upgrade

There are 2 related live offers.

Horiba - DeltaTime - 20% Off | DeltaTime TCSPC Half Price | See All
Related Offers

科学 Horiba からの装置を使用して分光 Ellipsometry 著ガラスそして前に蒸発させた基板の Y2O3 の R.i. の決定 - 薄膜

カバーされるトピック

背景
サンプル準備
結果
ガラスの YO23 の性格描写
ZrO の YO23 の性格描写2
結論

背景

YO の23 フィルムはアルミニウムおよび銀ミラーコーティング、広いバンド目に見える AR のコーティングの中間層の保護のような多くのアプリケーションの使用と XeCl レーザー AR および誘電体ミラーデザインのためのよい材料です。 YO の23 フィルムはガラス、ゲルマニウム、ケイ素、亜鉛硫化および亜鉛セレン化物に、またアルミニウムおよび銀のような金属に高い付着と懸命そして通常無定形です。 場合によっては、 yttria の非常に薄層は非酸化物の基板の多層コーティングのための付着促進者として役立つことができます。 この材料は媒体指標 IR (11ìm) 領域に対してほぼ紫外線範囲 (300 nm) に非常に透過であり。

多くの方法が反応熱沈殿、 e ビーム沈殿、イオンによって助けられる沈殿およびマグネトロンの放出させることのような yttria の (IAD)フィルムを作り出すのに使用されていました。 屈折率がによって高精度とフィルムの光学定数そして厚さを知っていることは重要であるプロセスに依存しているので特に高い R.i. 材料としてそして TiO およびタオのようなより高い指標材料と組み合わせて2 使用される時25

このノートは YO の成長に基板の影響を特徴付けるのに科学 Horiba からの UVISEL 分光段階によって調整された Ellipsometer がどのように使用されたか23それです ZrO の前蒸発させた層で育つ無定形のガラス基板23 で育つ YO のフィルムおよびものの光学的性質の相違記述します2

サンプル準備

フィルムは反応酸素の大気の電子ビームの蒸発によって準備されました。 開始材料は YO の穀物でした23。 ガラス基板は 5 つの mm 厚く、沈殿の間にフィルムの均等性を改善するために回りました。 封切り 2 で裸のガラス基板は沈殿した区域および ZrO のフィルムに2 入りました。 前蒸発させた ZrO の封切りからの第 2 実行 1 の裸のガラス基板そしてサンプルのために2 区域に置かれ、 YO の23 層は沈殿しました。

3 つのサンプルは次の通り準備され、特徴付けられました。

  • Sample1: ZrO の2 単一層 (アプリケーションノート、 Ref を見て下さい: SE06)、
  • サンプル 2: YO の23 単一層、
  • サンプル 3: ZrO23 の YO は2 前蒸発しました。

結果

作業は Horiba 科学的な UVISEL 目に見える分光 Ellipsometer を使用して行われました。 Ellipsometric 測定はスペクトル領域 300-830 nm を渡る 70° の発生からの斜めに成っていました。 両方の屈折率および厚さは SE のデータ解析から得られました。 光学定数は下記のように Lorentz の発振器の方式を使用して断固としたでした:

ガラスの YO23 の性格描写

YO は23 媒体指標および低い吸収材料です。 指標異種の量は増加する層の厚さと現われることができます。 効果は十分な酸素の提供によって蒸発の間に埋め戻します減らすことができます。 ZrO のサンプル (2 SE-06) と同じように ÷ の ² 値への大きい改善は多孔性で最上層が 2 層モデルと、見つけられました。 有効な中型の近似 DeltaPsi2 (EMA) (DP2) を使用してソフトウェアは基板の層と比較される気孔率の程度を定めることができこの場合 25% であることを見つけました。

図 1. YO23 /ガラス

 

図 2. YO の23 光学定数

ZrO の YO23 の性格描写2

手始めとしてこのサンプルは前の結果から見つけられた光学定数を使用して特徴付けられました。 フィルムのための好ましい値は得られましたが、結果がわずかにより複雑な構造の使用によって改善できることが分られました。

複数のアプローチは (2 つのフィルム間のインターフェイス層) 続かれましたが、かなり適合を改善した最終的なモデルは、 YO の厚さ、指標および23 気孔率パラメータの最適化でした。 最終結果で 2 つのサンプル23 間の R.i. の YO の変化は約 0.02 でした。

図 3. YO23 /ZrO2 /ガラス

 

図 4。 新しい YO の23 光学定数

結論

沈殿状態は UVISEL 分光段階によって調整される Ellipsometer によって観察された異種の多孔性の層を生成しました。 さらに、分光測定は裸の基板で育つ YO のフィルムの光学定数と ZrO の23 フィルムで育つもの間の小さい矛盾の決定を2 可能にします。

ソース: 科学 Horiba - 薄膜部

このソースのより多くの情報のために科学 Horiba を - 薄膜部訪問して下さい

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:06

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit