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다루는 주제
배경
샘플 준비
검색 결과
Y 2 특성화 유리에 O 3
ZrO 2 Y 2 O 3 특성화
결론
배경
Y 2 O 3 필름은 알루미늄과 실버 미러 코팅, 와이드 밴드 보이는 AR 코팅과 XeCl 레이저 AR 및 유전체 거울 설계를위한 중간 계층의 보호 등 여러 응용 프로그램에서 사용하는 좋은 자료입니다. Y 2 O 3 필름 하드와 유리 높은 접착력과 함께 일반적으로 비정질 있으며, 게르마늄, 실리콘, 아연 황화물과뿐만 아니라 같은 알루미늄과 은색으로 금속으로 아연 셀렌. 어떤 경우에는, yttria 매우 얇은 층이 아닌 산화물 기판에 다층 코팅에 대한 준수업자로서 검색할 수 있습니다. 이 자료는 중간 색인과 IR (11ìm) 영역에 가까운 UV 범위 (300 NM)을 통해 매우 투명입니다.
많은 방법은 이러한 반응 열 증착, 전자 빔 증착, 이온 보조 증착 (선원) 및 마그네트론 스퍼터링으로 yttria 필름을 생산하는 데 사용되었습니다. 굴절 지수들은 이러한 티오 2와 강타 등 높은 인덱스 자료와 높은 굴절률 자료로서 그리고 조합에 사용되는 특히 높은 정밀도 광학 상수와 필름의 두께와 알고하는 것이 중요 프로세스에 의존으로 2 O 5.
이 노트는 방법에 대해 설명합니다 UVISEL Spectroscopic 위상 변조 타원계 에서 Horiba 과학이 비정질 유리 기판과에 성장 Y 2 O 3 필름의 광학 특성의 차이는 Y 2 O 3의 성장에 기판의 영향을 특성화하는 데 사용된 하나는 ZrO 2의 사전 증발 레이어에 성장.
샘플 준비
영화는 반응 산소 분위기에서 전자빔 증발에 의해 준비되었다. 시작 자료는 Y 2 O 3 입자했다. 유리 기판은 5mm 두께되었고 영화의 균일을 개선하기 위해 증착하는 동안 회전되었습니다. 처음 실행 두 베어 유리 기판은 챔버에 넣고 ZrO 2 필름은 입금되었습니다. 사전 증발 ZrO 2 첫 번째 실행에서 두 번째 실행 한 베어 유리 기판과 샘플 챔버에 배치되었고 Y 2 O 3 층 입금했습니다.
세 샘플은 다음과 같이 준비하고 특성화했다.
- Sample1 : ZrO 2 monolayer (응용 프로그램 참고 참조 참조 : SE06)를
- 샘플 2 : Y 2 O 3 monolayer,
- 샘플 3 : ZrO에 Y 2 O 3 2 사전 증발.
검색 결과
작업은 사용 수행된 Horiba 과학 UVISEL 보이는 Spectroscopic 타원계을 . Ellipsometric 측정은 스펙트럼 범위 300-830 nm의 전체 70 °의 발병률의 각도되었다. 굴절 인덱스와 두께 모두 SE 데이터 분석에서 추출한되었습니다. 광학 상수는 아래 로렌츠 오실레이터 수식을 사용하여 결정됩니다 :
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Y 2 특성화 유리에 O 3
Y 2 O 3 중간 색인과 낮은 흡수 소재입니다. 인덱스 inhomogeneity 중 일부 금액은 증가 층의 두께와 함께 나타날 수 있습니다. 효과가 증발하는 동안 충분한 산소 backfill을 제공하여 줄일 수있다. ZrO 2 샘플 (SE - 06)에 큰 개선과 마찬가지로 ÷ ² 값이 다공성되는 상위 레이어와 두 개의 레이어 모델 발견되었습니다. 효과적인 매체 근사치 (EMA) DeltaPsi2 (DP2) 소프트웨어가 기판의 레이어에 비해 다공성의 정도를 결정할 수 있으며이 경우에 25 %로 발견되었습니다을 사용합니다.
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그림 1. Y 2 O 3 / 유리
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그림 2. Y 2 O 3 광학 상수
ZrO 2 Y 2 O 3 특성화
첫 번째 단계로이 예제는 이전 결과에서 발견 광학 상수를 사용하여 묘사했다. 영화에 대한 좋은 값 얻어 있었지만, 그것은 결과가 약간 더 복잡한 구조의 사용으로 향상 될 수 있다고 발견되었습니다.
몇 가지 방법은 (두 영화 사이의 인터페이스 층) 다음 있지만, 크게 맞게 향상 최종 모델은 Y 2 O 3 두께, 색인 및 다공성 매개 변수의 최적화있었습니다. 최종 결과는 두 샘플 사이의 굴절률의 Y 2 O 3 편차는 0.02에 대해되었습니다.
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그림 3. Y 2 O 3 / ZrO 2 / 유리
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그림 4. 새 Y 2 O 3 광학 상수
결론
증착 조건에 의해 관찰된되었습니다 inhomogeneous 다공성 레이어 생성해야 UVISEL Spectroscopic 위상 변조 타원계을 . 또한, spectroscopic 측정 베어 기판에 성장 Y 2 O 3 필름의 광학 상수와 ZrO 2 영화에 성장 한 사이의 작은 차이의 결정 수 있습니다.
출처 : Horiba 과학 - 박막과
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