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과학 Horiba에서 장비를 사용하는 분광 Ellipsometry의 유리 그리고 전 증발된 기질에 Y2O3의 R.i.의 결심 - 박막

커버되는 토픽

배경
견본 준비
결과
유리에 YO23 의 특성
ZrO에 YO23 의 특성2
결론

배경

YO23 필름은 알루미늄과 은 미러 코팅 넓은 악대 눈에 보이는 AR 코팅에 있는 중간 레이어의 보호와 같은 많은 응용에 있는 사용과 XeCl 레이저 AR와 유전체 미러 디자인을 위한 좋은 물자입니다. YO23 필름은 유리, 게르마늄, 실리콘, 아연 황하물 및 아연 셀렌에 뿐 아니라 알루미늄과 은과 같은 금속에 높은 접착에 열심히 그리고 일반적으로 무조직 입니다. 어떤 경우에, yttria의 아주 얇은 층은 비 산화물 기질에 다중층 코팅 위한 부착 증진제 역할을 하 할 수 있습니다. 이 물자는 매체 색인의 IR (11ìm) 지구에 가깝 UV 범위 (300 nm)에 아주 투명한 이고.

많은 방법은 민감하는 열 공술서 e 光速 공술서, 이온에 의하여 지원된 공술서 및 자전관 침을 튀기기와 같은 yttria (IAD) 영화를 제작하기 위하여 이용되었습니다. 굴절률이 고정확도로 필름의 광학적인 불변의 것 그리고 간격을 아는 것이 중요한 프로세스 에 의지하고 있기 때문에, 특히 높은 R.i. 물자로 그리고 TiO와 TaO와 같은 더 높은 색인 물자와 조화하여2 사용될 때25.

이 주는 YO의 성장에 기질의 영향을 성격을 나타내기 위하여 과학 Horiba에서 UVISEL 분광 단계에 의하여 조절된 Ellipsometer가 어떻게 이용된지,23 그것입니다 ZrO의 전 증발한 층에 증가된 무조직 유리제 기질23 에 증가된 YO 필름 및 것의 광학적 성질의 다름 기술합니다2.

견본 준비

필름은 민감하는 산소 대기권에 있는 전자빔 증발에 의해 준비되었습니다. 시작 물자는 YO의 곡물이었습니다23. 유리제 기질은 5개 mm 두껍공술서 도중 필름의 균등성을 향상하기 위하여 자전했습니다. 개봉 2에서 벌거벗은 유리제 기질은 예금된 약실 및 ZrO 필름으로2 끼워넣었습니다. 전 증발된 ZrO에서 개봉에서 두번째 실행 하나 벌거벗은 유리제 기질 그리고 견본을 위해2 약실로 두고 YO23 층은 예금되었습니다.

3개 견본은 다음과 같이 준비되고 성격을 나타냈습니다.

  • Sample1: ZrO2 단층 (응용 주, Ref를 보십시오: SE06),
  • 견본 2: YO23 단층,
  • 견본 3: ZrO23 에 YO는2 전 증발했습니다.

결과

일은 Horiba 과학적인 UVISEL 눈에 보이는 분광 Ellipsometer를 사용하여 실행되었습니다. Ellipsometric 측정은 괴기한 범위 300-830 nm를 통해 70°의 부각으로 비스듬히 만들었습니다. 두 굴절률 및 간격 다 SE 데이터 분석에서 추출되었습니다. 광학적인 불변의 것은 아래와 같이 Lorentz 진동자 공식을 사용하여 결의가 굳었습니다:

유리에 YO23 의 특성

YO는23 매체 색인 및 낮은 흡수 물자입니다. 색인 이질성 어떤 양은 층 간격 증가와 함께 나타날 수 있습니다. 효력은 충분한 산소를 제공해서 증발 도중 도로 메웁니다 감소될 수 있습니다. ZrO 견본 (2 SE-06)로 것과 같이 ÷ ² 가치에 중대한 개선은 꼭대기 층이 2 레이어 모델로, 다공성 인 상태에서 찾아냈습니다. 효과적인 중간 근사 DeltaPsi2 (EMA) (DP2)를 사용하여 소프트웨어는 기질에 층과 비교된 유공성의 정도를 결정할 수 있고, 이 경우에는 25%이기 위하여 찾아냈습니다.

숫자 1. YO23 /유리

 

숫자 2. YO23 광학적인 불변의 것

ZrO에 YO23 의 특성2

첫번째 단계로서 이 견본은 이전 결과에서 찾아낸 광학적인 불변의 것을 사용하여 성격을 나타냈습니다. 필름을 위한 좋은 가치는 장악되었습니다, 그러나 결과가 경미하게 더 복잡한 구조물의 사용에 의해 향상될 수 있었다는 것을 것을 발견되었습니다.

몇몇 접근은 (2개의 필름 사이 공용영역 층) 지켜졌습니다, 그러나 중요하게 적합을 향상한 마지막 모형은, YO 간격, 색인 및23 유공성 매개변수의 최적화이었습니다. 마지막 결과에서 2개 견본23 사이 R.i.에 있는 YO 변이는 대략 0.02이었습니다.

숫자 3. YO23 /ZrO2 /유리

 

숫자 4. 새로운 YO23 광학적인 불변의 것

결론

공술서 조건은 UVISEL 분광 단계에 의하여 조절된 Ellipsometer에 의해 관찰된 동질이 아닌 다공성 층을 생성했습니다. 더욱, 분광 측정은 벌거벗은 기질에 증가된 YO 필름의 광학적인 불변의 것과 ZrO23 필름에 증가된 것 사이 작은 어긋남의 결심을2 허용합니다.

근원: 과학 Horiba - 박막 부

이 근원에 추가 정보를 위해 과학 Horiba를 - 박막 부 방문하십시오

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 18:04

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