Buy a new FL3-22 spectrofluorometer and get a DeltaTime TCSPC upgrade for half price

There are 2 related live offers.

DeltaTime TCSPC Half Price | Horiba - DeltaTime - 20% Off | See All
Related Offers

Bepaling van R.i van Y2O3 op Glas en Pre Verdampte Substraten die door Spectroscopische Ellipsometry Apparatuur van Wetenschappelijke Horiba Met Behulp Van - Dunne Film

Besproken Onderwerpen

Achtergrond
De Voorbereiding van de Steekproef
Resultaten
Karakterisering van YO23 op Glas
Karakterisering van YO23 op ZrO2
Conclusie

Achtergrond

YO23 de films zijn goede materialen voor gebruik in vele toepassingen zoals bescherming van aluminium en zilveren spiegeldeklagen, middenlagen in de brede deklagen van band zichtbare AR en voor XeCl laser AR en diëlektrische spiegelontwerpen. De films23 YO zijn hard en gewoonlijk amorf met hoge adhesie aan glas, germanium, silicium, zinksulfide en zinkselenide evenals aan metalen zoals aluminium en zilver. In sommige gevallen, kan een zeer dunne laag van yttria als aanhankelijkheidspromotor voor multilayer deklagen op niet-oxydesubstraten dienen. Dit materiaal is van middelgroot-index en zeer transparant over de dichtbijgelegen-uvwaaier (300 NM) 11ìm) gebied aan van IRL (.

Vele methodes zijn gebruikt om yttriafilms zoals reactief thermisch deposito, e-straal deposito, ion te produceren het bijgestane deposito (IAD) en magnetron sputteren. Aangezien de brekingsindexen van het proces afhankelijk zijn is het belangrijk om met hoge nauwkeurigheid de optische constanten en de dikten van de films te kennen, vooral wanneer zij als hoge r.i materialen en in combinatie met hogere indexmaterialen zoals TiO en2 TaO worden gebruikt25.

Deze nota beschrijft hoe UVISEL Spectroscopische Fase Gemoduleerde Ellipsometer van Wetenschappelijke Horiba werd gebruikt om de invloed van substraat aan de groei van YO te kenmerken23, is dat het verschil van optische die eigenschappen van de film23 YO op amorf glassubstraat wordt gekweekt en gekweekt op pre-verdampte lagen van ZrO2.

De Voorbereiding van de Steekproef

De films werden voorbereid door elektronenstraalverdamping in een reactieve zuurstofatmosfeer. De beginnende materialen waren korrels van YO23. De glassubstraten waren 5 mm dik en werden geroteerd tijdens deposito om de uniformiteit van de films te verbeteren. In eerste looppas twee werden de naakte glassubstraten gezet in de gedeponeerde kamer en een2 film ZrO. Voor tweede looppas één werden het naakte glassubstraat en de steekproef van de eerste looppas met pre-verdampte ZrO2 geplaatst in de kamer en een laag23 YO werd gedeponeerd.

Drie steekproeven werden als volgt voorbereid en werden gekenmerkt.

  • Sample1: Monolayer2 van ZrO (Zie de Nota van de Toepassing, Ref: SE06),
  • Steekproef 2: YO23 monolayer,
  • Steekproef 3: YO23 op pre-verdampte2 ZrO.

Resultaten

Het werk werd uitgevoerd gebruikend Horiba Wetenschappelijke UVISEL Zichtbare Spectroscopische Ellipsometer. De Ellipsometrische metingen werden gemaakt schuin van weerslag van 70° over de spectrale waaier tot 300-830 NM. Zowel werden de brekingsindexen als de dikten gehaald uit de SE- gegevensanalyse. De optische constanten werden bepaald gebruikend de formule van de Oscillator Lorentz hieronder:

Karakterisering van YO23 op Glas

YO23 is een middelgroot-index en een laag absorptiemateriaal. Één Of Andere hoeveelheid indexniet-homogeen karakter kan met stijgende laagdikte verschijnen. Het effect kan worden verminderd door voldoende zuurstofvulgrond tijdens verdamping te verstrekken. Zoals met de2 steekproef ZrO (SE-06) een grote verbetering aan de waarde ÷ werd ² gevonden met een twee laagmodel, met de hoogste laag die poreus zijn. Het Gebruiken van de Efficiënte software Middelgrote (EMA) van de Benadering DeltaPsi2 (DP2) kan de graad van poreusheid bepalen in vergelijking met de laag op het substraat, en in dit geval werd het gevonden om 25% te zijn.

Figuur 1. YO23 /Glas

 

Figuur 2. YO23 Optische constanten

Karakterisering van YO23 op ZrO2

Als eerste stap werd deze steekproef gekenmerkt gebruikend de optische die constanten van de vorige resultaten worden gevonden. De Goede waarden voor de films werden verkregen, maar men vond dat de resultaten door het gebruik van een lichtjes ingewikkeldere structuur zouden kunnen worden verbeterd.

Verscheidene benaderingen werden gevolgd (interfacelaag tussen de twee films), maar het definitieve model dat beduidend de pasvorm verbeterde, was de optimalisering van de dikten23 YO, de indexen en de poreusheidsparameters. In de eindresultaten was de23 variatie YO in r.i tussen twee steekproeven ongeveer 0.02.

Figuur 3. YO23 /ZrO2 /Glas

 

Figuur 4. Nieuwe Optische23 Constanten YO

Conclusie

De depositovoorwaarden hebben niet homogene poreuze lagen geproduceerd die door UVISEL Spectroscopische Fase Gemoduleerde Ellipsometer zijn waargenomen. Voorts staan de spectroscopische metingen bepaling van de kleine discrepantie tussen de optische die constanten van een film23 YO bij naakt substraat wordt gekweekt en toe gekweekt op een film2 ZrO.

Bron: Wetenschappelijke Horiba - de Afdeling van Dunne Films

Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Wetenschappelijke Horiba - de Afdeling van Dunne Films

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:43

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit