20% off DeltaTime Fluorescence Lifetime System Upgrade

There are 2 related live offers.

Horiba - DeltaTime - 20% Off | DeltaTime TCSPC Half Price | See All
Related Offers

Beslutsamhet av R.I.et av Y2O3 på Exponeringsglas och Pre Avdunstade Substrates vid Spectroscopic Ellipsometry genom Att Använda Utrustning från Vetenskapliga Horiba - Tunt Filma

Täckte Ämnen

Bakgrund
Ta Prov Förberedelsen
Resultat
Karakterisering av YO23 på Exponeringsglas
Karakterisering av YO23 på ZrO2
Avslutning

Bakgrund

YO23 filmar är bra material för bruk i många applikationer liksom skydd av aluminium och försilvrar avspeglar beläggningar, mellanliggande lagrar i synliga AR-beläggningar för det breda musikbandet, och för XeCl laser AR och dielectric avspegla designer. YOEN23 filmar är hårt, och vanligt amorphous med kickadhesion till exponeringsglas, germanium, silikoner, zincsulfid och zincselenide såväl som till belägger med metall liksom aluminium och försilvrar. I vissa fall kan ett mycket tunt lagrar av yttria serven som en adherencetillskyndare för multilayer beläggningar på non-oxiden substrates. Detta materiellt är av medel-index, och mycket genomskinligt över detUV spänna (300 nm) till regionen för IR (11ìm).

Många metoder har varit den van vid jordbruksprodukteryttriaen filmar liksom reactive termisk avlagring, e-strålar avlagring, jonen hjälpt avlagring (IAD) och fräsa för magnetron. Som de refractive indexen är anhörigen på det processaa, är det viktigt att veta med kickexakthet de optiska konstanterna, och tjocklekarna av filmar, när speciellt de används som material för kicken R.I. och i kombination med högre indexmaterial liksom TiO2 och TaO25.

Detta noterar beskriver hur de Spectroscopic UVISELNA Arrangerar Gradvis Modulerade Ellipsometer från Vetenskapliga Horiba var van vid karakteriserar påverkan av substraten till tillväxt av YO23, är det skillnaden av optisk rekvisita av YOEN23 filmar fullvuxet på den amorphous glass substraten och det som är fullvuxet på pre-avdunstade lagrar av ZrO2.

Ta Prov Förberedelsen

Filmar var förberett vid elektronen strålar avdunstning i en reactive syreatmosfär. De starta materialen var korn av YO23. De glass substratesna var en mm 5 tjockt och roterades under avlagring för att förbättra likformigheten av filmar. I första körning två kala glass sattes substratesna in i kammaren, och en ZrO2 filmar deponerat. För understödja som kördes en kal glass substrate och ta prov från den första körningen med pre-avdunstade ZrO, 2 förlades in i kammaren, och ett YO-23 lagrar sattes in.

Tre tar prov var förberedda och karakteriserade som följer.

  • Sample1: ZrO2 monolayer (Se Applikationen Notera, Referens: SE06),
  • Ta Prov 2: YO-23 monolayer,
  • Ta Prov 3: YO23 på ZrO2 pre-avdunstade.

Resultat

Arbetet utfördes genom att använda Horibaen Vetenskaplig UVISEL Synliga Spectroscopic Ellipsometer. De Ellipsometric mätningarna gjordes på en meta av förekomsten av 70° över det spektral- spänner 300-830 nm. De Båda refractive indexen och tjocklekarna drogs ut från SE-dataanalysen. De optiska konstanterna var beslutsamma genom att använda den nedanföra Lorentz Oscillatorformeln:

Karakterisering av YO23 på Exponeringsglas

YO23 är ett materiella medel-index och låg absorbering. Något belopp av indexinhomogeneity kan visas med ökande lagrartjocklek. Verkställa kan förminskas, genom att ge tillräckligt syre, backfill under avdunstning. Som med ZrOen2 ta prov (EN SE-06) en stor förbättring till ÷²en värderar fanns med ett två lagrar modellerar, med bästa lagrar som det är poröst. När Du Använder den Effektiva Medelprogramvaran (EMA) för Närhet DeltaPsi2 (DP2) kan bestämma graden av porositet som jämförs till lagrar på substraten, och i detta fall fanns den för att vara 25%.

Figurera 1. YO23 /Exponeringsglas

 

Figurera 2. Optiska23 konstanter för YO

Karakterisering av YO23 på ZrO2

Som en första steg som denna tar prov, karakteriserades genom att använda de optiska konstanterna som fanns från de föregående resultaten. Godan värderar för filmar erhölls, men det fanns att resultaten kunde förbättras av bruket av ett litet mer invecklad strukturerar.

Flera att närma sig följdes (ha kontakt lagrar mellan tvåna filmar), men finalen modellerar att markant förbättrad passformen, var optimisationen av YO-23 tjocklekarna, indexen och porositetparametrarna. I finalen resulterar YO-23 variationen i R.I. mellan två tar prov var omkring 0,02.

Figurera 3. YO23 /ZrO2 /Exponeringsglas

 

Figurera 4. Nya Optiska23 Konstanter för YO

Avslutning

Avlagringen villkorar har frambragt inhomogeneous porösa lagrar som har observerats av den Spectroscopic UVISELEN Arrangerar Gradvis Modulerade Ellipsometer. Dessutom låter de spectroscopic mätningarna beslutsamhet av de små diskrepanserna mellan de optiska konstanterna av en YO23 filmar fullvuxet på den kala substraten, och den som är fullvuxen på en ZrO, 2 filmar.

Källa: Vetenskapliga Horiba - Tunt Filmar Uppdelning

För mer information på denna källa behaga besök Vetenskapliga Horiba - Tunt Filmar Uppdelning

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 18:32

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit