Y2O3 R.i. 的确定在玻璃和前被蒸发的基体的使用设备的分光镜 Ellipsometry 从科学的 Horiba - 薄膜

包括的事宜

背景
范例准备
结果
YO 的描述特性23 在玻璃的
YO 的描述特性23 在 ZrO 的2
结论

背景

YO23 影片是好材料用于许多应用例如铝和银镜膜层,在宽范围可视 AR 涂层的中间层的保护和 XeCl 激光 AR 和电介质镜子设计的。 YO23 影片是艰苦和通常无定形的与高黏性对玻璃、锗、硅、锌硫化物和锌硒化物以及对金属例如铝和银。 有时,一非常薄层 yttria 可能起紧持促进者作用对于在非氧化物基体的多层涂层。 此材料是媒体索引和非常透明在这个近紫外范围 (300 毫微米) 对红外线 (11ìm) 区域。

许多方法用于制作 yttria 电影例如易反应的热量证言、 e 射线证言,离子协助解决的证言 (IAD)和磁控管飞溅。 因为折射率依靠的进程认识与高精确度光学常数和影片的厚度是重要的,特别是当他们使用作为高 R.i. 材料和与更高的索引材料的组合例如 TiO2 和陶25

此附注描述 UVISEL 分光镜阶段科学的 Horiba 的被调整的 Ellipsometer 如何用于分析基体的影响到 YO 增长23,那是在 ZrO 前被蒸发的层 YO 影片23 增长在无定形的玻璃基体和那个增长的光学性能区别2

范例准备

影片由在易反应的氧气气氛的电子束蒸发准备。 原材料是 YO 谷物23。 玻璃基体是 5 mm 厚实的和在证言时被转动改进影片的均一。 在头次运行二仅有的玻璃基体被放到存款的这个房间和 2 ZrO 影片。 对于第二运行一仅有的玻璃基体和范例从头次运行与前被蒸发的 ZrO2 被安置了到这个房间,并且 YO23 层存款。

三个范例如下准备并且被分析了。

  • Sample1 : ZrO2 单层 (参见应用注解, Ref : SE06),
  • 范例 2 : YO23 单层,
  • 范例 3 : 在23 ZrO 的 YO2 前蒸发了。

结果

使用 Horiba 科学 UVISEL 可视分光镜 Ellipsometer,这个工作进行了。 Ellipsometric 评定有一个角度由 70° 制成的入射在这个光谱范围 300-830 毫微米间的。 两个折射率和厚度从 SE 数据分析被提取了。 光学常数使用下面 Lorentz 振荡器配方是确定的:

YO 的描述特性23 在玻璃的

YO23 是媒体索引和低吸收材料。 随着层厚度的增加,某相当数量索引多相性可能出现。 这个作用可以被提供满足的氧气减少在蒸发时重新填没。 与 ZrO2 范例 (SE-06) 对 ÷ ² 值的巨大改善找到与二分层模型,当这个顶层是多孔的。 使用有效媒体近似值 (EMA) DeltaPsi2 (DP2) 软件可能确定程度多孔性与在这个基体的层比较,并且在这种情况下发现 25%。

图 1. YO23 /玻璃

 

图 2. YO23 光学常数

YO 的描述特性23 在 ZrO 的2

首先此范例被分析了使用从早先结果找到的光学常数。 影片的值得买得到了,但是发现结果可能被改进使用一个轻微更加复杂的结构。

几个途径按照 (在二部影片之间的界面层),但是极大改进适应的最终设计,是 YO 厚度、索引23 和多孔性参数的优化。 在决赛成绩在 R.i. 上的23 YO 变化在二个范例之间约为 0.02。

图 3. YO23 /ZrO2 /玻璃

 

图 4。 新的 YO23 光学常数

结论

证言条件生成了由 UVISEL 分光镜阶段被调整的 Ellipsometer 观察了的不同类的多孔层。 而且,分光镜评定允许小的差异的确定 YO 影片的光学常数23 增长在仅有的基体和在 ZrO 影片增长的2 那个之间的。

来源: 科学的 Horiba - 薄膜分部

关于此来源的更多信息请参观科学的 Horiba - 薄膜分部

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:45

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