Y2O3 R.i. 的確定在玻璃和前被蒸發的基體的使用設備的分光鏡 Ellipsometry 從科學的 Horiba - 薄膜

包括的事宜

背景
範例準備
結果
YO 的描述特性23 在玻璃的
YO 的描述特性23 在 ZrO 的2
結論

背景

YO23 影片是好材料用於許多應用例如鋁和銀鏡膜層,在寬範圍可視 AR 塗層的中間層的保護和 XeCl 激光 AR 和電介質鏡子設計的。 YO23 影片是艱苦和通常無定形的與高黏性對玻璃、鍺、硅、鋅硫化物和鋅硒化物以及對金屬例如鋁和銀。 有時,一非常薄層 yttria 可能起緊持促進者作用對於在非氧化物基體的多層塗層。 此材料是媒體索引和非常透明在這個近紫外範圍 (300 毫微米) 對紅外線 (11ìm) 區域。

許多方法用於製作 yttria 電影例如易反應的熱量證言、 e 射線證言,離子協助解決的證言 (IAD)和磁控管飛濺。 因為折射率依靠的進程認識與高精確度光學常數和影片的厚度是重要的,特別是當他們使用作為高 R.i. 材料和與更高的索引材料的組合例如 TiO2 和陶25

此附註描述 UVISEL 分光鏡階段科學的 Horiba 的被調整的 Ellipsometer 如何用於分析基體的影響到 YO 增長23,那是在 ZrO 前被蒸發的層 YO 影片23 增長在無定形的玻璃基體和那個增長的光學性能區別2

範例準備

影片由在易反應的氧氣氣氛的電子束蒸發準備。 原材料是 YO 穀物23。 玻璃基體是 5 mm 厚實的和在證言時被轉動改進影片的均一。 在頭次運行二僅有的玻璃基體被放到存款的這個房間和 2 ZrO 影片。 對於第二運行一僅有的玻璃基體和範例從頭次運行與前被蒸發的 ZrO2 被安置了到這個房間,并且 YO23 層存款。

三個範例如下準備并且被分析了。

  • Sample1 : ZrO2 單層 (參見應用註解, Ref : SE06),
  • 範例 2 : YO23 單層,
  • 範例 3 : 在23 ZrO 的 YO2 前蒸發了。

結果

使用 Horiba 科學 UVISEL 可視分光鏡 Ellipsometer,這個工作進行了。 Ellipsometric 評定有一個角度由 70° 製成的入射在這個光譜範圍 300-830 毫微米間的。 兩個折射率和厚度從 SE 數據分析被提取了。 光學常數使用下面 Lorentz 振盪器配方是確定的:

YO 的描述特性23 在玻璃的

YO23 是媒體索引和低吸收材料。 隨著層厚度的增加,某相當數量索引多相性可能出現。 這個作用可以被提供滿足的氧氣減少在蒸發時重新填沒。 與 ZrO2 範例 (SE-06) 對 ÷ ² 值的巨大改善找到與二分層模型,当這個頂層是多孔的。 使用有效媒體近似值 (EMA) DeltaPsi2 (DP2) 軟件可能確定程度多孔性與在這個基體的層比較,并且在這種情況下發現 25%。

圖 1. YO23 /玻璃

 

圖 2. YO23 光學常數

YO 的描述特性23 在 ZrO 的2

首先此範例被分析了使用從早先結果找到的光學常數。 影片的值得買得到了,但是發現結果可能被改進使用一個輕微更加複雜的結構。

幾個途徑按照 (在二部影片之間的界面層),但是極大改進適應的最終設計,是 YO 厚度、索引23 和多孔性參數的優化。 在決賽成績在 R.i. 上的23 YO 變化在二個範例之間約為 0.02。

圖 3. YO23 /ZrO2 /玻璃

 

圖 4。 新的 YO23 光學常數

結論

證言條件生成了由 UVISEL 分光鏡階段被調整的 Ellipsometer 觀察了的不同類的多孔層。 而且,分光鏡評定允許小的差異的確定 YO 影片的光學常數23 增長在僅有的基體和在 ZrO 影片增長的2 那個之間的。

來源: 科學的 Horiba - 薄膜分部

關於此來源的更多信息请請參觀科學的 Horiba - 薄膜分部

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 17:38

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