Magnetisk Läsning och Handstil Bearbetar med Dammsuger ScanningSondMicroscopy (SPM) vid NT-MDT

Täckte Ämnen

Bakgrund
Inledning
Förberedelsen och Karakteriseringen av Tar Prov
Dela upp i faktorer Påverka MFM-Handstil, och Läsning Bearbetar

Bakgrund

NT-MDT Co. var etablerad i 1991 med ämna att applicera ackumulerat allt erfar, och kunskap i sätta in av nanotechnology som levererar forskare med, instrumenterar passande att lösa någon möjlighetuppgift som lägger i nanometerfjäll, dimensionerar. Företaget NT-MDT grundades i Zelenograd - centrera av Rysk Microelectronics. Produktutvecklingen baseras på kombinationen av MEMS-teknologin, driver av modern programvara, kick-avslutar bruk av microelectronic delar och mekaniska delar för precision. Som ett reklamfilmföretag NT-MDT Co. finns från 1993.

Inledning

Bruket av dammsuger SPM förbättrar känslighet av magnetiska och elektrostatiska växelverkannon-kontakten mätningar markant. Den förhöjda känsligheten är uppnått ökande av den kvalitets- cantileveren dela upp i faktorer tack vare (Q-Dela upp i faktorer), dammsuger in miljön.

Q-Dela upp i faktorer förhöjningar i mer, än 10 tider på pressar nedanföra 10-1 torr, som är uppnåelig även vid forvacuum pumpar hjälpmedel. Men, efter dammsuga efter den jämna grothcantileveren, Q-Dela upp i faktorer ändringar långsamt.

NTS-MDTS Aura för HV och för NTEGRA för utrustningSolver låter bära ut mätningar dammsuger in under de nedanföra 10 torrna-1 för pressa.

Förberedelsen och Karakteriseringen av Tar Prov

Ta prov som används i efter experimenten, är ferromagnetic partiklar beställd samling av efter parametrarna: ~35-40 nm-diameter, period för 120 nm, höjd 7 nm (se för att Figurera. 1). En Sådan samling gjordes av elektronen strålar lithography på CoPten filmar av 7 nm-höjd med vinkelrät magnetisk anisotropy.

Figurera 1. SEM 2000 avbildar av tar prov

Figurera 2. MFM avbildar av tar prov

Figurera 2 shows tar prov MFM avbildar erhållande by en-passerar tekniken, det låter nå MSM avbildar rätt, efter första har passerat. För detta ämna de magnetiska mätningarna utförs på den bestämda Z-Bildläsaren placerar utan återkoppling kontrollerar. (Det finns standart två-passerar metoden, som inkluderar topografimätningar under först passerar och lång-spänner växelverkan under understöder passerar). Fördelen av en-passerar teknik är frånvaro av spets-tar prov kontakten, det förminskar probabilityen av ovillig omsvängningsmagnetization under scanning. Således tar prov förberedande åtgärdjusteringen av sluttar är nödvändig för sådan teknik, för att förminska skillnaden spets-tar prov in avskiljande på olikt X, Y-Placerar. Detta kan lätt göras, genom att mäta huvudet, lägger benen på ryggen justering.

I Figurera 3 du kan se att MFMNA att avbilda nått på det olikt distanserar mellan spetsen och tar prov. Ljuspunkterna Figurerar in 2 motsvarar till avskystyrka, när spetsmagnetizationriktningen är motsats till den av den magnetiska partikeln. Mörkerfläckarna motsvarar till dragningsstyrka nära partiklar med magnetization som arrangera i rak linje i den samma riktningen som magnetiskt ögonblick för spets.

Dela upp i faktorer Påverka MFM-Handstil, och Läsning Bearbetar

De viktigaste parametrarna som påverkar MFM-handstil och läsning, bearbetar är spets-tar prov avskiljande och tjocklek av det magnetiska lagrar på spetsen. Det För tjockt magnetiska lagrar på spetsen eller för lilla spets-tar prov distanserar bly- till den obehärskada magnetiska omsvängningen. Å andra sidan spets-tar prov det för tunna spetslagrar eller för stora distanserar gör systemet olämpligt för handstil.

Figurera 3 visar detta läge klart. Cantileveren som täckas av 50 som, nm CoCr-legerar, filmar kopplar lätt magnetiskt påstår av partiklar: under scanning blir avskyn dragningen på några partiklar (Fig. 3a). (Den Långsamma scanningen var buren ut botten-upp), ökande spets-tar prov Distanserar blytak till att avläsa, utan att koppla, emellertid i detta fall som upplösningen av finalen avbildar, är fattigt (Fig. 3b).

Figurera 3. MFM föreställer erhållande på olikt spets-tar prov distanserar

För att utföra bita-vid-bet handstil, ta prov magnetiserades indledande i riktningsmotsats till spetsmagnetization. Därefter avbildar MFMNA avsky för shows endast.

Intrigen av controllable växling av partikelmagnetization vid spets visas i Fig. 4. Lokaländringarna av det magnetiska ögonblicket för partikeln bärs ut av den magnetiska spetsen som att närma sig till ta prov. Den Magnetiska omsvängningen uppstår, när den magnetiska lokalen sätter in av spetsen överskrider partikelcoercitivityen. Resultatet är synligt på MFM avbildar som mörkerfläckar (dragning) på ljus bakgrund (avsky). Således bärs datahandstil ut av magnetisk omsvängning för bestämda partiklar. Dataläsning utförs by en-passerar scanning.

Figurera 4. Intrig av magnetisk handstil

Efter försiktigt passande av magnetisk lagrartjocklek för spets som det 30 nm-lagrar av CoCr-legerar, fanns som mest passande för magnetisk växling för controllable lokal.

För testa för resultat ämna individen fyra som partiklar som lokaliseras i beslutsamt, placerar, kopplades av den sådan spetsen (Fig. 5). Detta experiment visar att kickpålitlighet och känsligheten av nano-skalapp partiklar som read/write bearbetar utfört in dammsuger.

Figurera 5. Controllable växling i beställd samling för magnetiska partiklar

En färdig uppsättning av hänvisar till är tillgänglig ser till källdokumentet.

Källa: NT-MDT Co.

För mer information på denna källa behaga besök NT-MDT Co.

Date Added: Oct 27, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:30

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit