扫描近域显微学 (SNOM) - 原则和操作模式由 NT-MDT

包括的事宜

背景
简介
剪切力显微学
SNOM 的关键字元
SNOM 传输方式
SNOM 反映模式
SNOM 发光学模式

背景

NT-MDT Co. 在 1991年被设立了以这个目的运用所有被累计的经验和知识在领域的纳米技术于用品研究员有适当的仪器的解决放置在毫微米缩放比例维数的所有可能的任务。 这家公司 NT-MDT 在 Zelenograd - 俄国微电子学的中心被创办了。 产品开发在 MEMS 技术的现代软件的组合,对高端微电子学要素的功率,使用和精确度机械零件基础上。 商业企业 NT-MDT Co. 从 1993年存在。

简介

古典光学显微镜的分辨能力由神父的对大约的衍射极限限于光学波长一半的。Howevwr,解决此限额是可能的。

如果在金属板的一个 subwavelength 漏洞浏览接近对象,一个超解决的图象可以从穿过这个漏洞的检测光被加强。 扫描在此原则基础上的近域显微学由 Synge 首先建议并且被展示了以微波频率由灰和 Nicholls 有 l/60 的解决方法的。 在可视波长此原则 (光学 stethoscopy,近域光学扫描显微学SNOM) 等是由 Pohl 展示的。 在 Betzig 等给图象展示了使用纤维探测与一定数量不同的对比结构的各种各样的范例。

要使这个系统更加容易对 orbitrary 地势范例使用和扩大其适用性,是有利的有距离监管机制能够自动化初步手段和维护开口在从范例的固定的远处在扫描的整个路线。 几个结构以前建议对 SNOM 和涉及的短暂域技术,包括挖洞的电子,电容,挖洞的光子,近域反映。

当前探测范例距离管理规定最使用的方法依靠剪切力的检测在近域探测的末端和这个范例之间的。 剪切力基于系统允许剪切力显微学或者单独同时剪切力和近域想象,包括透明范例的传输方式,不透明的范例的反映模式和范例的另外的描述特性的发光学模式。

一个联合的剪切力和近域的图 1. 浏览光学显微镜的概要。

剪切力显微学

当前探测范例距离管理规定最使用的方法依靠剪切力的检测在近域探测的末端和这个范例之间的。 剪切力基于系统允许剪切力显微学或者同时剪切力和单独近归档的想象,包括传输方式透明范例的,反映模式不透明的范例的和发光学模式范例的另外的描述特性的。

光学探测在与石英音叉的表面 nonoptical 模式附近作为传感器使用要拿着。 与光学暂挂的模式比较,它准许增加有用的针对噪音的信号比例。 是非常重要的在与限制解决方法的运算。 并且 photoinduced 承运人没出现。 当半导体有些属性调查时,它是必要的需求。

在获得的 nonoptical 方法中心关于表面谎言想法的信息使用石英音叉回应附有了光纤在与表面的交往。 系统纤维石英在横向振动被激发在外部传递要素帮助下在石英共鸣频率的。 使用进一步 piezoeffect : 在机械动摆面前石英电子输出有电压回应,使用作为关于高度的信息信号纤维动摆。

剪切力显微学接下来认识到。 Piezodriver 通过石英音叉激发纤维探测的动摆与若干最初的高度的。 石英的适当的输出值是 Ao。 在处理范例以后出现高度纤维探测动摆伸手可及的距离若干调整点值,并且石英输出到达值 A。 以后浏览范例表面执行与坚持此值由反馈系统。

SNOM 的关键字元

近域扫描显微镜 (SNOM) 的关键字元是沿在非常几乎接近,典型地少于 10 毫微米的范例 (激光在我们的情况的被阐明的纤维探测的末端) 浏览的微小的开口。

当前探测范例距离管理规定最使用的方法依靠剪切力的检测在近域探测的末端和这个范例之间的。 剪切力基于系统允许同时剪切力和近归档的想象,包括传输方式透明范例的,反映模式不透明的范例的和发光学模式得到的范例的另外的描述特性。

在获得的 nonoptical 方法中心关于表面谎言想法的信息使用石英音叉回应附有了光纤在与表面的交往。 系统纤维石英在横向振动被激发在外部传递要素帮助下在石英共鸣频率的。 使用进一步 piezoeffect : 在机械动摆面前石英电子输出有电压回应,使用作为关于高度的信息信号纤维动摆。

SNOM 传输方式

SNOM 传输方式同时认识到与剪切力显微学,接下来反过来认识到。 Piezodriver 通过石英音叉激发纤维探测的动摆与若干最初的高度的。 石英的适当的输出值是 A。0 在处理范例以后出现高度纤维探测动摆伸手可及的距离若干调整点值,并且石英输出到达值 A。 以后浏览范例表面执行与坚持此值由反馈系统。

在扫描下这个范例由纤维探测照亮,并且通过范例光通过目的在光电倍增管处理。

图 2. 传输方式。

SNOM 反映模式

SNOM 反映模式同时认识到与剪切力显微学,接下来反过来认识到。 Piezodriver 通过石英音叉激发纤维探测的动摆与若干最初的高度的。 石英的适当的输出值是 A。0 在处理范例以后出现高度纤维探测动摆伸手可及的距离若干调整点值,并且石英输出到达值 A。 以后浏览范例表面执行与坚持此值由反馈系统。

在扫描下这个范例由纤维探测照亮,并且分散的光是由镜子处理的通过在光电倍增管的目的。

图 3. 反映模式。

SNOM 发光学模式

SNOM 发光学模式同时认识到与剪切力显微学,接下来反过来认识到。 Piezodriver 通过石英音叉激发纤维探测的动摆与若干最初的高度的。 石英的适当的输出值是 A。0 在处理范例以后出现高度纤维探测动摆伸手可及的距离若干调整点值,并且石英输出到达值 A。 以后浏览范例表面执行与坚持此值由反馈系统。

在扫描下这个范例由纤维探测照亮,并且通过范例光通过目的和陷波滤波器在光电倍增管处理。

图 4. 发光学模式。

来源:NT-MDT Co。

关于此来源的更多信息请参观 NT-MDT Co。

Date Added: Oct 27, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:46

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