掃描近域顯微學 (SNOM) - 原則和操作模式由 NT-MDT

包括的事宜

背景
簡介
剪切力顯微學
SNOM 的關鍵字元
SNOM 傳輸方式
SNOM 反映模式
SNOM 發光學模式

背景

NT-MDT Co. 在 1991年被設立了以這個目的運用所有被累計的經驗和知識在領域的納米技術於用品研究員有適當的儀器的解決放置在毫微米縮放比例維數的所有可能的任務。 這家公司 NT-MDT 在 Zelenograd - 俄國微電子學的中心被創辦了。 產品開發在 MEMS 技術的現代軟件的組合,對高端微電子學要素的功率,使用和精確度機械零件基礎上。 商業企業 NT-MDT Co. 從 1993年存在。

簡介

古典光學顯微鏡的分辨能力由神父的對大約的衍射極限限於光學波長一半的。Howevwr,解決此限額是可能的。

如果在金屬板的一個 subwavelength 漏洞瀏覽接近對象,一個超解決的圖像可以從穿過這個漏洞的檢測光被加強。 掃描在此原則基礎上的近域顯微學由 Synge 首先建議并且被展示了以微波頻率由灰和 Nicholls 有 l/60 的解決方法的。 在可視波長此原則 (光學 stethoscopy,近域光學掃描顯微學SNOM) 等是由 Pohl 展示的。 在 Betzig 等給圖像展示了使用纖維探測與一定數量不同的對比結構的各種各樣的範例。

要使這個系統更加容易對 orbitrary 地勢範例使用和擴大其適用性,是有利的有距離監管機制能够自動化初步手段和維護開口在從範例的固定的遠處在掃描的整個路線。 幾個結構以前建議對 SNOM 和涉及的短暫域技術,包括挖洞的電子,電容,挖洞的光子,近域反映。

當前探測範例距離管理規定最使用的方法依靠剪切力的檢測在近域探測的末端和這個範例之間的。 剪切力基於系統允許剪切力顯微學或者單獨同時剪切力和近域想像,包括透明範例的傳輸方式,不透明的範例的反映模式和範例的另外的描述特性的發光學模式。

一個聯合的剪切力和近域的圖 1. 瀏覽光學顯微鏡的概要。

剪切力顯微學

當前探測範例距離管理規定最使用的方法依靠剪切力的檢測在近域探測的末端和這個範例之間的。 剪切力基於系統允許剪切力顯微學或者同時剪切力和單獨近歸檔的想像,包括傳輸方式透明範例的,反映模式不透明的範例的和發光學模式範例的另外的描述特性的。

光學探測在與石英音叉的表面 nonoptical 模式附近作為傳感器使用要拿著。 與光學暫掛的模式比較,它准許增加有用的針對噪音的信號比例。 是非常重要的在與限制解決方法的運算。 並且 photoinduced 承運人沒出現。 當半導體有些屬性調查時,它是必要的需求。

在獲得的 nonoptical 方法中心關於表面謊言想法的信息使用石英音叉回應附有了光纖在與表面的交往。 系統纖維石英在橫向振動被激發在外部傳遞要素幫助下在石英共鳴頻率的。 使用進一步 piezoeffect : 在機械動擺面前石英電子輸出有電壓回應,使用作為關於高度的信息信號纖維動擺。

剪切力顯微學接下來認識到。 Piezodriver 通過石英音叉激發纖維探測的動擺與若乾最初的高度的。 石英的適當的輸出值是 Ao。 在處理範例以後出現高度纖維探測動擺伸手可及的距離若乾調整點值,并且石英輸出到達值 A。 以後瀏覽範例表面執行與堅持此值由反饋系統。

SNOM 的關鍵字元

近域掃描顯微鏡 (SNOM) 的關鍵字元是沿在非常幾乎接近,典型地少於 10 毫微米的範例 (激光在我們的情況的被闡明的纖維探測的末端) 瀏覽的微小的開口。

當前探測範例距離管理規定最使用的方法依靠剪切力的檢測在近域探測的末端和這個範例之間的。 剪切力基於系統允許同時剪切力和近歸檔的想像,包括傳輸方式透明範例的,反映模式不透明的範例的和發光學模式得到的範例的另外的描述特性。

在獲得的 nonoptical 方法中心關於表面謊言想法的信息使用石英音叉回應附有了光纖在與表面的交往。 系統纖維石英在橫向振動被激發在外部傳遞要素幫助下在石英共鳴頻率的。 使用進一步 piezoeffect : 在機械動擺面前石英電子輸出有電壓回應,使用作為關於高度的信息信號纖維動擺。

SNOM 傳輸方式

SNOM 傳輸方式同時認識到與剪切力顯微學,接下來反過來認識到。 Piezodriver 通過石英音叉激發纖維探測的動擺與若乾最初的高度的。 石英的適當的輸出值是 A。0 在處理範例以後出現高度纖維探測動擺伸手可及的距離若乾調整點值,并且石英輸出到達值 A。 以後瀏覽範例表面執行與堅持此值由反饋系統。

在掃描下這個範例由纖維探測照亮,并且通過範例光通過目的在光電倍增管處理。

圖 2. 傳輸方式。

SNOM 反映模式

SNOM 反映模式同時認識到與剪切力顯微學,接下來反過來認識到。 Piezodriver 通過石英音叉激發纖維探測的動擺與若乾最初的高度的。 石英的適當的輸出值是 A。0 在處理範例以後出現高度纖維探測動擺伸手可及的距離若乾調整點值,并且石英輸出到達值 A。 以後瀏覽範例表面執行與堅持此值由反饋系統。

在掃描下這個範例由纖維探測照亮,并且分散的光是由鏡子處理的通過在光電倍增管的目的。

圖 3. 反映模式。

SNOM 發光學模式

SNOM 發光學模式同時認識到與剪切力顯微學,接下來反過來認識到。 Piezodriver 通過石英音叉激發纖維探測的動擺與若乾最初的高度的。 石英的適當的輸出值是 A。0 在處理範例以後出現高度纖維探測動擺伸手可及的距離若乾調整點值,并且石英輸出到達值 A。 以後瀏覽範例表面執行與堅持此值由反饋系統。

在掃描下這個範例由纖維探測照亮,并且通過範例光通過目的和陷波濾波器在光電倍增管處理。

圖 4. 發光學模式。

來源:NT-MDT Co。

關於此來源的更多信息请請參觀 NT-MDT Co。

Date Added: Oct 27, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 20:49

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