Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence - Sistema de Correspondencia del PL de la Temperatura ambiente de Nanometrics

Temas Revestidos

Antecedentes
Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics
Dotación Física
Configuraciones de Sistema
Excitación y Detección
El Software de la REVOLUCIÓN POR MINUTO
Correspondencia Alto-Espacial de la Resolución
Fourier Que Filtra para GaN LED

Antecedentes

Photoluminescence es una técnica establecida, sin contacto, no destructiva usada en el revelado y un mando de proceso de semiconductores, con las correspondencias del fulminante del PL de la temperatura ambiente dando la información vital sobre la uniformidad de la composición de la aleación, de la calidad material y de los defectos en substratos, epilayers y estructuras del dispositivo.

Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence de Nanometrics

El Cartógrafo Rápido de RPM2000 Photoluminescence es un sistema rápido, de la temperatura ambiente (PL) del photoluminescence de correspondencia conveniente para el uso en ambientes del R&D, de la producción y del control de calidad.

El RPM2000 se ha diseñado específicamente para obtener correspondencias enteras del PL del fulminante en una simple fracción del tiempo asociado previamente a esta clase de medición, dando la capacidad de medir y de evaluar los fulminantes entre las campañas de producción. La ventaja primaria es que el feedback y la aplicación de medidas correctivas rápidos pueden ser ejecutados si los parámetros del fulminante están fuera del pliego de condiciones, evitando campañas de producción, así tiempo del ahorro y costos perdidos. Además, la velocidad de la medición hace el examen y la aptitud entrantes de fulminantes comprados una tarea rápida y fácil.

Usando un diseño único, el sistema logra velocidades de correspondencia rápidas estupendas sin el compromiso de la resolución espectral y espacial. Por ejemplo, una inspección rápida de la señal integrada del PL en un fulminante de 2 pulgadas en la resolución espacial de 1m m se puede realizar en solamente 19 segundos. Eso es una correspondencia de 2026 puntas en menos de 20 segundos. Espectral Completo correlacionando, en la misma resolución espacial, dando la posición máxima, intensidad máxima, FWHM e intensidad integrada tardaría solamente 25 segundos. En 100 segundos inferiores, el RPM2000 puede producir las correspondencias integradas de un fulminante de 2 pulgadas en la resolución espacial de 0.2m m, un total de sobre 50.000 puntas, o correspondencias espectrales en la resolución espacial de 0.5m m que da 8.000 puntas.

El RPM2000 puede también proporcionar a la calidad PL de la imagen verdadera que correlaciona en las altas resoluciones espaciales y espectrales, dando la capacidad de examinar cientos de miles de puntas en los fulminantes hasta el diámetro de 150m m: Es posible correlacionar en la resolución espacial de 0.1m m en los fulminantes hasta el diámetro de 100m m y 0.2m m en los fulminantes hasta 150m m. Para los fulminantes de 150m m una resolución espacial de 1m m correspondencia integrada tardaría solamente 56 segundos y una calidad 0.2m m de la imagen que la resolución espacial integró la correspondencia, correspondiente sobre a 455.800 puntas tardaría solamente 8 minutos.

Dotación Física

El RPM2000 utiliza un R creado para requisitos particulares, È, el escenario de Z que sujeta los fulminantes del diámetro y de los espesores hasta de 150m m hasta 1m m. Los monitores de potencia de la Temperatura y del laser se ajustan como patrón. El casquillo de la muestra comprende dos porciones: el escenario de la exploración y un rápido y fácil de cambiar el mandril del fulminante, elegido para corresponder con el diámetro del fulminante. El fulminante es sujetado por vacío permitiendo que las pequeñas muestras de la dimensión de una variable irregular sean acomodadas. La correspondencia del PL es generada moviendo el fulminante mientras que el haz de la excitación del laser sigue siendo estacionario. Usando detectores del arsenal, todas las longitudes de onda se pueden detectar simultáneamente.

Configuraciones de Sistema

El RPM2000 se puede configurar para revestir un rango espectral ancho, definido por la opción de las rejillas, de los laseres de la excitación, de los detectores y de la orden clasificación los filtros. Nuestros científicos pueden aconsejar sobre configuraciones de encargo.

Excitación y Detección

Hasta dos laseres internamente montados de la excitación y un laser acoplado de fibra óptica externo de la excitación pueden ser acomodados. Los rayos laser de la Excitación golpearon la superficie de la muestra en ángulo para proporcionar a la filtración espacial de la luz laser. El haz se enfoca normalmente a un diámetro de la mancha del aproximadamente 100µm y, típicamente, se guarda la potencia del laser bajo bastante de eliminar cualquier cambio de espectros. El PL producido por la muestra cerco por la óptica reflexiva, acoplada a los 0.3m un monocromador, dando la producción excelente a través del rango espectral. Hasta tres rejillas controladas por ordenador, siete filtros y dos detectores del arsenal pueden ser instalados.

Un tercer detector se utiliza para medir señales integradas del PL. Los Laseres, los detectores, los filtros y las rejillas son todos a elección del software sin la necesidad de configurar de nuevo la dotación física. Una opción de la reflectividad está también disponible para que los sistemas espectrales determinen espesor del film y para el reflector de Bragg y la caracterización de VCSEL.

El Software de la REVOLUCIÓN POR MINUTO

La aplicación RPM2000 se ha desarrollado durante muchos años y es robusta y versátil. Todas Las funciones requeridas del mando y del análisis están directamente disponibles como parte de la aplicación. Las Funciones se presentan de una manera lógica e intuitiva. La aplicación viene completo con un Editor de la Receta y un Manual completo de la Ayuda En Línea.

Correspondencia Alto-Espacial de la Resolución

El RPM2000 puede cerco hasta 200 puntos de referencias por segundo en modo espectral completo con Procesamiento de Señales Digitales a bordo (DSP) o 2000 puntas asombrosas por segundo en modo de integración espectral. Esto activa la resolución espacial muy alta “imágenes del fulminante” de cerco. Estas imágenes pueden revelar a menudo los pequeños defectos del incremento que irían de otra manera desapercibidos. La Alta resolución espacial en una exploración de la r-theta trae otra ventaja, La capacidad a la imagen la región del borde de un fulminante con gran detalle.

El RPM2000 puede cerco hasta 2000 puntos de referencias por segundo en modo no-espectral. La imagen revela los pequeños defectos del incremento que son imperceptibles cuando el fulminante se explora en la resolución espacial inferior.

Fourier Que Filtra para GaN LED

Los datos Sin Procesar del PL de un GaN MQW LED son torcidos a menudo por la presencia de franjas de interferencia. Un algoritmo de Filtración sofisticado del software de Fourier quita matemáticamente el efecto de las franjas - revelar el espectro verdadero del PL.

El Nuevo software de Filtración de Fourier quita franjar efectos en los espectros de GaN LED.

Fuente: LOTE Mirador

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Date Added: Mar 24, 2009 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:26

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